ピエゾステージ

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  2. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  3. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  4. ターボ分子ポンプ　大阪真空　TG1003VW／TC1003（コ…

  5. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  6. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  7. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  8. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  9. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…
  10. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  1. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-500B

  2. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  3. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
  4. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  5. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  6. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  7. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  8. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  9. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  10. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…
2026年5月
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