ピエゾステージ

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  6. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  7. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

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  9. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  10. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  2. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  3. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  4. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  5. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  6. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  7. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  8. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…
  9. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…
  10. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
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