ピエゾステージ

  1. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  2. ターボ分子ポンプ　大阪真空　TG1003VW／TC1003（コ…
  3. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製　E-1010

  4. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …

  5. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  6. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  7. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  8. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  9. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  10. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  1. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  2. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  4. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  5. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  6. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  7. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  8. 超音波洗浄装置　カイジョー　HCW-111-25

  9. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  10. 露光装置　日本電池　MAN250NLJ/MRL250SM
2026年6月
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