ピエゾステージ

  1. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  2. 真空蒸着装置　アネルバ　EVC-1701
  3. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  4. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  5. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
  6. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  7. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  8. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  9. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  10. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  1. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
  2. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  3. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  4. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  5. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  6. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  7. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  10. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…
2025年12月
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