ピエゾステージ

  1. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  2. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  3. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  4. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  5. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  6. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
  7. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  8. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  9. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  10. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  1. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  2. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  3. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  4. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  5. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  6. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  7. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  8. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  9. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  10. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
2026年2月
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