ピエゾステージ

  1. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  2. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  3. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  5. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  6. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  7. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  8. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  9. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  10. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  2. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  3. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  4. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  5. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  6. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  7. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  8. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…

  9. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…
  10. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…
2026年4月
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