ピエゾステージ

  1. ウルトラミクロ電子天秤　メトラートレド　XP2U

  2. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  3. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  4. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  5. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  6. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  7. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
  8. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  10. 冷却水循環装置（空冷チラー）EYELA製　CA-3110 &#82…

  1. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
  2. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  3. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
  4. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  5. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  6. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
  7. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  8. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  9. 真空乾燥機　アズワン　AVO-310V

  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
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