ピエゾステージ

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  2. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

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  4. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
  5. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

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  6. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  7. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  8. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

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  10. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  1. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…
  2. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  3. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…
  4. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

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  5. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  6. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  7. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
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  9. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  10. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …
2026年3月
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