ピエゾステージ

  1. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  2. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  3. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  4. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  5. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  6. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  7. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  8. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
  9. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …
  10. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  1. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  2. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  3. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…
  4. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  5. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  6. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410
  8. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  9. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…
  10. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…
2026年3月
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