ピエゾステージ

  1. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C
  2. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  3. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  4. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  5. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  6. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  7. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  8. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  9. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  10. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  1. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  2. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  3. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050
  4. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…
  5. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  6. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  7. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  8. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  9. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
  10. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…
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