ピエゾステージ

  1. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  2. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  3. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  4. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  5. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  6. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  7. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…
  8. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…
  9. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  10. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  1. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  3. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  4. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  5. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  6. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  7. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  8. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  9. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  10. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
2026年2月
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