ピエゾステージ

  1. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  2. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  3. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  4. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  5. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  6. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  7. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
  8. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  9. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  10. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  1. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  2. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  3. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  4. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  5. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  6. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  7. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2
  8. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…
  9. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  10. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250
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