ピエゾステージ

  1. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  4. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  5. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  6. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081-[M23041…

  7. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  8. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-90…

  9. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  10. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  1. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  2. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  3. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…
  4. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  5. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  6. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  7. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  8. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
  9. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  10. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
2025年12月
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