ピエゾステージ

  1. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  2. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  3. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  4. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  5. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  6. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  7. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  8. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  9. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  10. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  1. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  2. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…
  3. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  4. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  5. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  6. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  8. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…
  9. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  10. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050
2026年1月
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