ピエゾステージ

  1. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  2. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  3. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  4. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  5. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  6. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  7. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  8. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  9. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…
  10. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  1. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  2. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  3. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  4. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  5. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  6. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  7. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  8. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  9. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
  10. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…
2026年5月
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