ピエゾステージ

  1. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  2. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114
  3. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  4. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  5. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  6. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  7. クイックコーター　サンユー電子　SC-701
  8. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  9. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  10. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  1. マイクロ波電源／発振器　IDX　IMG-2503

  2. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  3. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  4. ウェハーマウンター　日東電工　M286N
  5. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  6. ドライポンプ　Kashiyama　NeoDry15E

  7. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  8. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  9. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  10. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020
2026年6月
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