ピエゾステージ

  1. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  2. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  3. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  4. 低温恒温槽　エスペック製　MC-711T

  5. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  6. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  7. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  8. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  9. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  10. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  1. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  2. 遠心エバポレーター　アズワン　CVE-2AS

  3. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  4. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  5. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…

  6. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  7. イオンゲージ　電離真空計　アネルバ　M-430HG
  8. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
  9. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  10. 露光装置　日本電池　MAN250NLJ/MRL250SM
2026年5月
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