ピエゾステージ

  1. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410
  3. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  4. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  5. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  6. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  7. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  8. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  9. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  10. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  1. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…
  2. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  3. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  4. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  5. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  6. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  7. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  8. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  9. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  10. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…
2026年4月
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