ピエゾステージ

  1. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  2. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  3. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  4. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  5. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  6. 真空オーブン　ヤマト科学　ADP200

  7. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  8. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  9. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  10. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  1. ロータリポンプ　エドワーズ　E2M40

  2. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  3. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  4. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  5. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  6. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050
  7. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  8. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40
  9. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  10. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A
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