ピエゾステージ

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  2. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC
  3. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  4. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  5. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  6. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  7. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  8. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  9. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  10. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  1. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
  2. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  3. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  4. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  5. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  7. ターボ分子ポンプ　ファイファー　THM262/TC100
  8. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  9. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  10. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
2026年5月
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