ピエゾステージ

  1. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  2. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  3. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  4. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  6. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  7. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  8. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  9. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  10. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  1. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  2. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2
  3. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  4. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  6. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
  7. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…
  8. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  9. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  10. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
2025年12月
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