ピエゾステージ

  1. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  2. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  3. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  4. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  5. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  6. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  7. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  8. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…
  9. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  10. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900
  1. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…
  2. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  3. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  4. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　
  5. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  6. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  7. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  8. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  9. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  10. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
2026年4月
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