ピエゾステージ

  1. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  3. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
  4. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  5. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  6. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]
  7. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  8. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  9. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  10. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  1. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  2. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  3. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  4. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  5. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
  6. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  7. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  8. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  10. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…
2026年4月
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