ピエゾステージ

  1. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  2. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  3. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  4. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  5. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  6. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  7. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  8. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  9. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  10. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  1. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  2. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  3. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  4. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  5. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  6. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  7. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  8. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  9. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  10. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2
2026年4月
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