ピエゾステージ

  1. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  2. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  3. 真空オーブン　ヤマト科学　ADP200

  4. マイクロ波電源／発振器　IDX　IMG-2503
  5. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  6. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  7. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  8. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  9. ヒュームフード（ドラフトチャンバー）ヤマト科学　M…

  10. ロックインアンプ　エヌエフ回路設計　5610B

  1. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…
  2. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  3. マイクロ波電源／発振器　IDX　IMG-2503

  4. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  5. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  6. 検査用光源ユニット　ウシオ電機　Optical Modulex　…

  7. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-151/EI-151G（コ…

  8. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  9. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  10. イオンゲージ　電離真空計　アネルバ　M-430HG
2026年6月
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