ピエゾステージ

  1. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  2. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…
  3. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  4. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  5. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  6. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  7. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  8. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  9. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  10. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  1. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03
  2. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  3. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  4. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  5. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  6. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  7. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  8. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  9. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
2025年12月
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