ピエゾステージ

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  2. イオンコーター・日立・E-1010

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  3. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  4. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

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  7. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

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  9. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  10. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
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  2. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…
  3. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  4. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  5. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
  6. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  8. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…
  9. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…
  10. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…
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