ピエゾステージ

  1. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  2. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  3. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  4. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  5. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  6. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  7. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  8. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
  9. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  10. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  1. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  2. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  3. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…
  4. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  5. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  6. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  7. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  8. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  9. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  10. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2
2026年4月
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