ピエゾステージ

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  1. 真空乾燥機　アズワン　AVO-310V
  2. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

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  3. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  4. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  5. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

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  7. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)
  8. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

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  10. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

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