ピエゾステージ

  1. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  2. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  3. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  4. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  5. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  6. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  7. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  8. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  9. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
  10. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  1. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  2. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  4. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  5. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
  6. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  7. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  8. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  9. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
  10. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…
2026年3月
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