ピエゾステージ

  1. クイックコーター　サンユー電子　SC-701

  2. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  3. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  4. 複合ガス検知器　MultiRAE IR（Multi-GAS MONITOR）…

  5. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  6. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  7. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  8. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  9. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  10. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  1. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  2. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  3. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  4. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  5. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  6. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  7. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle 12kW

  8. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  9. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-151/EI-151G（コ…

  10. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…
2026年6月
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