ピエゾステージ

  1. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  2. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  3. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
  4. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  5. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  6. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  7. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  8. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  9. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  10. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  1. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  2. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  3. ロータリポンプ　エドワーズ　E2M40

  4. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  5. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  6. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  7. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  8. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
  9. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  10. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …
2026年5月
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