ピエゾステージ

  1. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
  2. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  3. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  4. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH

  5. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  6. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  7. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  8. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  9. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  10. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  1. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  2. 遠心エバポレーター　アズワン　CVE-2AS

  3. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH261/TC600

  4. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530
  5. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  6. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  7. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  8. 電気マッフル炉　島津製作所　MP-15

  9. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  10. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
2026年5月
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