ピエゾステージ

  1. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  2. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  3. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  5. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  6. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  7. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  8. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  9. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  10. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  1. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…
  2. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  3. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  4. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  5. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …
  6. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  7. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  8. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  9. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  10. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
2026年2月
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