ピエゾステージ

  1. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…
  2. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  3. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  4. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  5. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  6. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  7. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  8. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  9. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  10. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  2. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  3. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  4. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  5. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  6. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  7. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  8. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  9. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)
  10. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…
2026年3月
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