ピエゾステージ

  1. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  2. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  3. マイクロ波電源／発振器　IDX　IMG-2503

  4. レーザー装置-YAGレーザー　Spectra Physics　Millen…

  5. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  6. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  7. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  8. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  9. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  10. 恒温槽　エスペック　PH-402

  1. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  2. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  3. RF電源　RFPP　RF10S
  4. イオンスパッタ装置、日立、E1030

    イオンスパッタ装置　日立製　E-1030

  5. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  6. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  7. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…
  8. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  9. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  10. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
2026年6月
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