ピエゾステージ

  1. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  2. 真空凍結乾燥機　日本フリーザー　BFD-6F2

  3. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  4. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  5. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  6. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  7. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  8. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  9. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…
  10. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  1. 連続式リフロー炉　グローバル　AFD-101A

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  3. ターボ分子ポンプ　ファイファー　THM262/TC100

  4. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  5. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  6. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  7. 検査用光源ユニット　ウシオ電機　Optical Modulex　…

  8. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  9. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  10. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
2026年5月
月 火 水 木 金 土 日
 123
45678910
11121314151617
18192021222324
25262728293031