ピエゾステージ

  1. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  2. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  3. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  4. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  5. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  6. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
  7. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  8. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  9. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC
  10. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  1. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  2. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  3. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  5. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  6. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  7. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  8. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …
  9. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  10. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
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