ピエゾステージ

  1. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…
  2. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…
  3. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  4. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  5. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  6. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  7. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114
  8. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  9. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  10. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900
  1. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  2. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  3. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  4. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
  5. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…
  6. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  7. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  8. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  9. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  10. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
2026年4月
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