ピエゾステージ

  1. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  2. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG
  3. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  5. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  6. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  7. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  8. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  10. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…
  1. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  2. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  3. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  4. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  5. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  7. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
  8. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  9. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  10. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000
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