ピエゾステージ

  1. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  2. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  4. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  5. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  6. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…
  7. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  8. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  9. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  10. バンプボンダー　新川　SBB-110super – [M2309…

  1. 超低温フリーザー　日本フリーザー製　CLN-35C-[M230…

  2. 真空蒸着装置　アルバック製　VPC-410-[M240325A01]

  3. 電気炉-マッフル炉　ヤマダ電機　Y-2025-P[M240904A1…
  4. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  5. プラズマ窒化装置　ワイエス工業製-[M240517A03]

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  7. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  8. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  9. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…
  10. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
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