ピエゾステージ

  1. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…
  2. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  3. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  4. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  5. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  6. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  7. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  8. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720
  9. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…
  10. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  1. 連続式リフロー炉　グローバル　AFD-101A
  2. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  3. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  4. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  5. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  6. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…
  7. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  8. 遠心エバポレーター　アズワン　CVE-2AS

  9. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　
  10. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
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