ピエゾステージ

  1. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  2. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP
  3. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  4. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  5. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  6. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  7. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E
  8. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  9. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  10. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  1. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  2. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  3. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  4. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  5. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  6. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  7. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
  8. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  9. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  10. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
2025年12月
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