ピエゾステージ

  1. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3
  2. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  3. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  4. バンプボンダー　新川　SBB-110super – [M2309…

  5. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  6. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  7. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  8. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…
  9. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  10. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  1. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
  2. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  3. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  4. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  5. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
  6. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  7. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  8. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  9. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  10. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z
2026年1月
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