ピエゾステージ

  1. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  2. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  3. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  4. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900
  5. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  6. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  7. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  8. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  9. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  10. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  1. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000
  2. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  3. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  4. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  5. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  7. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  8. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250
  9. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  10. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …
2026年3月
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