ピエゾステージ

  1. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
  2. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…
  3. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  4. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  5. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  6. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  7. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  8. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  9. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  10. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  1. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  2. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
  3. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  4. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  5. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  6. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  7. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  8. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  9. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…
  10. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
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