ピエゾステージ

  1. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  2. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  3. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  4. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…
  5. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  6. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  7. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  8. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  9. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  10. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  1. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  2. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  3. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530
  4. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  6. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  7. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  9. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…
  10. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
2026年4月
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