ピエゾステージ

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  2. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  3. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  4. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  5. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  6. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  7. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  8. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]
  9. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  10. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  1. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  2. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100
  3. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  4. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  5. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  6. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  7. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  8. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  9. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  10. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
2026年4月
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