ピエゾステージ

  1. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  2. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3
  3. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  4. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  6. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  7. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  8. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  9. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  10. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  1. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  3. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  4. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  5. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  6. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  7. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  8. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…
  9. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  10. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…
2026年3月
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