ピエゾステージ

  1. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  2. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  3. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…
  4. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  5. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  6. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  7. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  8. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  9. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…
  10. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  1. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  2. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  3. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050
  4. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  5. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  6. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  7. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  8. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  9. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  10. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
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