ピエゾステージ

  1. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…

  2. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG
  3. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…
  4. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  5. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  6. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  7. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH

  8. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  9. ダイサー　ディスコ　DAD522

  10. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  1. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-151/EI-151G（コ…

  2. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  3. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  4. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  5. スクリュウーコンプレッサー　コベルコ技研　SUKESAN…

  6. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  7. ロータリポンプ　エドワーズ　E2M40

  8. チラー 冷却水循環装置　アズワン　LCT-450A

  9. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  10. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …
2026年5月
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