ピエゾステージ

  1. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  2. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  3. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  4. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]
  5. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…
  6. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  7. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  8. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…
  9. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  10. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  2. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  3. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  4. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  5. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  6. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  7. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  8. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  9. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  10. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
2026年4月
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