ピエゾステージ

  1. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  2. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  3. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  4. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  5. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  6. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  7. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  8. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  9. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  10. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  1. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  3. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  4. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050
  5. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…
  6. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  7. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  9. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…
  10. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03
2026年4月
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