ピエゾステージ

  1. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  2. ウルトラミクロ電子天秤　メトラートレド　XP2U
  3. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  4. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  5. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  6. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  7. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  8. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  9. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  10. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  1. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  2. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  3. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  4. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
  5. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…
  6. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
  7. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  8. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  9. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  10. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z
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