ピエゾステージ

  1. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  2. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  3. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  4. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  5. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  6. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  7. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  8. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  9. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  10. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  1. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  3. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  4. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  5. 四重極質量分析計（Q-MASS）　ファイファー　 QME200

  6. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  7. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  9. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  10. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP
2026年5月
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