ピエゾステージ

  1. 真空オーブン　ヤマト科学　ADP200

  2. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  3. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  4. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  5. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  6. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  7. ヒュームフード（ドラフトチャンバー）ヤマト科学　M…

  8. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  9. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  10. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…
  1. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  2. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  3. 連続式リフロー炉　グローバル　AFD-101A

  4. 液晶重ね合わせ装置　中央精機　LCM-ST

  5. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle 12kW

  6. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-151/EI-151G（コ…

  7. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  8. サーモカップル真空計　アネルバ　MTG-012
  9. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…
  10. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03
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