ピエゾステージ

  1. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  2. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)
  3. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  4. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  5. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  6. デジタルマイクロスコープ　キーエンス　VW-6000 &#8…

  7. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  8. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  9. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  10. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  1. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
  2. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  3. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  4. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…
  5. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  6. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…
  7. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  9. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  10. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
2026年3月
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