ピエゾステージ

  1. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  2. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  3. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  4. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  6. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  7. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  8. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  9. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  10. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  1. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  2. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  4. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  5. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  6. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  7. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  8. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  9. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  10. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
2026年4月
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