ピエゾステージ

  1. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  2. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  3. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  4. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  5. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  6. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  7. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  8. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  9. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  10. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100
  1. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  2. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  3. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  4. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  5. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  6. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  7. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  8. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250
  9. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  10. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
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