ピエゾステージ

  1. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP
  2. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …
  3. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  4. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  5. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  6. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  8. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  9. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  10. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  1. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-151/EI-151G（コ…

  2. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  3. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  4. ターボ分子ポンプ　BOC EDWARDS　STP-300

  5. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  6. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  7. 遠心エバポレーター　アズワン　CVE-2AS

  8. クリーンベンチ　日本エアーテック　KTV-840KS
  9. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  10. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
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