ピエゾステージ

  1. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  2. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  3. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  4. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  5. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  6. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  7. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  8. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  9. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  10. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  1. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  2. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  3. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  4. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  5. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  6. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410
  8. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  9. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  10. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
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