ピエゾステージ

  1. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  2. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  3. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  4. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  5. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  6. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  7. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  8. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  9. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100
  10. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …
  1. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…
  2. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
  3. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  4. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  5. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  6. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  7. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  8. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  9. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  10. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
2026年3月
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