ピエゾステージ

  1. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  2. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  3. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  4. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530
  5. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  6. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  7. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…
  8. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  9. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  10. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  1. スクリュウーコンプレッサー　コベルコ技研　SUKESAN…

  2. 露光装置　日本電池　MAN250NLJ/MRL250SM

  3. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  4. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  5. ターボ分子ポンプ　ファイファー　THM262/TC100

  6. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  7. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  8. 遠心エバポレーター　アズワン　CVE-2AS

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  10. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…
2026年5月
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