ピエゾステージ

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  2. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  3. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
  4. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  5. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  6. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  7. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  8. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  9. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  10. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  1. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  2. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  3. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  4. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  5. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  6. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  7. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  9. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
  10. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…
2026年3月
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