ピエゾステージ

  1. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020

  2. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  3. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  4. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  5. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  6. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  7. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600
  8. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  9. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  10. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  2. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  3. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  4. RF電源　RFPP　RF10S

  5. ロータリポンプ　エドワーズ　E2M40

  6. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  7. ロータリーエバポレーター　EYELA　N-1100　付属機器…

  8. ターボ分子ポンプ　ファイファー　THM262/TC100

  9. デジタル・エレクトロメーターDIGTAL ELECTROMETER　…

  10. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050
2026年6月
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