ピエゾステージ

  1. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  2. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  3. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  5. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  6. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  7. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  8. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  9. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  10. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  1. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  2. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  3. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  4. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  5. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…
  6. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  7. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  8. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  9. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
  10. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
2025年12月
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