ピエゾステージ

  1. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  2. 複合ガス検知器　MultiRAE IR（Multi-GAS MONITOR）…

  3. RF電源　RFPP　RF20S

  4. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  5. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  6. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  7. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  8. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  9. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…
  10. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  1. 複合ガス検知器　MultiRAE IR（Multi-GAS MONITOR）…

  2. インテリジェントX線測定器　東洋メテック　RaySafe …

  3. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  4. オゾンガスモニター　APPLICS　OZG-EM-010K

  5. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  6. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  7. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  8. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020

  9. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  10. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
2026年6月
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