ピエゾステージ

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  2. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

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  4. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
  5. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…
  6. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

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  7. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

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  9. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…
  10. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

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  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  2. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  3. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  4. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  5. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  6. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …
  7. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
  8. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  9. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  10. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250
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