ピエゾステージ

  1. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  2. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100
  3. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …
  4. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  5. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  6. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  7. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  8. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  9. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  10. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  1. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
  2. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…
  3. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  4. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  5. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  6. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  8. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…
  9. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  10. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
2026年2月
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