ピエゾステージ

  1. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  2. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  3. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  4. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  5. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  6. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  7. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  8. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  9. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  10. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  1. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  2. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  3. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
  4. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…
  5. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
  6. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  7. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  8. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  9. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  10. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…
2026年2月
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