ピエゾステージ

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  2. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  3. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
  4. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  5. 冷却水循環装置（空冷チラー）EYELA製　CA-3110 &#82…
  6. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  7. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  8. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  9. ドライポンプ　樫山　NeoDry-30E

  10. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  1. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  2. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…
  3. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…
  4. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  5. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  6. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  7. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  8. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  10. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
2025年12月
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