ピエゾステージ

  1. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  2. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  3. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  4. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  5. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  6. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  7. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  8. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  9. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  10. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  1. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  2. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  3. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  4. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  5. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  6. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
  7. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  8. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  9. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  10. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …
2025年12月
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