ピエゾステージ

  1. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …
  2. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  3. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  4. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  5. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  6. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  7. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  8. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  9. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  10. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  1. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…

  2. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  3. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  4. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  5. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  6. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  7. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  8. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2
  9. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  10. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
2026年4月
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