ピエゾステージ

  1. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  2. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  3. ターボ分子ポンプ　大阪真空　TG1003VW／TC1003（コ…

  4. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  5. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  6. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  7. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  8. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  9. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  10. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  1. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  2. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  3. ターボ分子ポンプ　BOC EDWARDS　STP-300

  4. 真空凍結乾燥機　日本フリーザー　BFD-6F2

  5. 四重極質量分析計（Q-MASS）　ファイファー　 QME200
  6. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  8. ロータリポンプ　エドワーズ　E2M40

  9. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  10. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
2026年5月
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