ピエゾステージ

  1. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
  2. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …
  3. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…
  4. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…
  5. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  6. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  8. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  9. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  10. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  2. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  3. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  4. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  5. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  6. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  7. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  8. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  9. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  10. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…
2025年12月
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