ピエゾステージ

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  2. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  3. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  4. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  5. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  6. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  7. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  8. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  9. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  10. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  1. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  2. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  3. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  4. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
  5. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  6. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  7. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  8. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  9. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410
2026年4月
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