ピエゾステージ

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  2. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  3. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  4. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  5. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  6. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  7. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  8. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  9. ヒュームフード（ドラフトチャンバー）ヤマト科学　M…

  10. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  1. イオンゲージ　電離真空計　アネルバ　M-430HG

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  3. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  4. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  5. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  6. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  7. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
  8. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  9. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  10. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-500B
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