ピエゾステージ

  1. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  2. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  3. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  4. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  5. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  6. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  7. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  8. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  9. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  10. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  1. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  2. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  3. 電気マッフル炉　島津製作所　MP-15

  4. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  5. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  6. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  7. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  8. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  9. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  10. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…
2026年5月
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