ピエゾステージ

  1. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  2. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  3. RF電源　RFPP　RF20S

  4. 真空凍結乾燥機　日本フリーザー　BFD-6F2

  5. 真空オーブン　ヤマト科学　ADP200

  6. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  7. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-151/EI-151G（コ…

  8. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  9. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  10. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  1. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  2. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  3. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  4. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  5. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  6. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N
  7. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  8. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  9. マッチングコントローラー　AS-TECH　RC-11

  10. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…
2026年5月
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