ピエゾステージ

  1. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]
  2. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…
  3. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  4. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  5. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  6. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  7. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  8. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  9. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  10. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  2. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  3. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…

  4. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  5. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  7. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  8. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  9. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  10. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…
2026年4月
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