ピエゾステージ

  1. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  2. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  3. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  4. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…
  5. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
  6. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  7. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  8. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  9. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  10. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  1. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
  2. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  3. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  4. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  5. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  6. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  7. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  8. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250
  9. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  10. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
2026年1月
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