ピエゾステージ

  1. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  2. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  3. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  4. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  5. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  6. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  7. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B
  8. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  9. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…
  10. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  1. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  2. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
  3. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  5. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  6. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  7. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  8. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  9. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100
  10. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
2026年2月
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