ピエゾステージ

  1. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  2. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  3. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  4. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B
  5. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  6. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  7. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  8. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  9. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  10. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  1. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  2. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  3. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  4. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  5. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  6. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  7. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…
  8. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  9. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  10. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2
2026年4月
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