ピエゾステージ

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  2. ヒュームフード（ドラフトチャンバー）ヤマト科学　M…

  3. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  4. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  5. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  6. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  7. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…
  8. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  9. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  10. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  1. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  2. ロータリポンプ　エドワーズ　E2M40

  3. ターボ分子ポンプ　ファイファー　THM262/TC100
  4. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  5. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  6. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle 10kW

  7. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  8. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  9. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
  10. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
2026年5月
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