ピエゾステージ

  1. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  2. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  3. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  4. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  6. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  7. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  8. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  9. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  10. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-151/EI-151G（コ…

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  2. チラー 冷却水循環装置　アズワン　LCT-450A

  3. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  4. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  5. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  6. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  7. 真空凍結乾燥機　日本フリーザー　BFD-6F2

  8. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  10. ウェハーマウンター　日東電工　M286N
2026年5月
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