ピエゾステージ

  1. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  2. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  3. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  4. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  5. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  6. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  7. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  8. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  9. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  10. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  1. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000
  2. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  3. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  4. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  6. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  7. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  8. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  10. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…
2026年3月
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