ピエゾステージ

  1. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B
  2. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  3. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  4. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  5. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  6. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  7. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…
  8. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  9. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  10. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  1. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  2. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  3. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  4. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  5. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  6. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  7. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  8. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  9. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  10. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z
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