ピエゾステージ

  1. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  2. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  3. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  4. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)
  5. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…
  6. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…
  7. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…
  8. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  9. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  10. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  1. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  2. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  4. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  5. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  6. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  7. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  8. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  9. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  10. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
2026年2月
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