ピエゾステージ

  1. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  2. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  3. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  4. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  5. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  6. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  7. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  8. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  9. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  10. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  1. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…
  2. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  3. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  4. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  5. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…

  6. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  7. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  8. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  9. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  10. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530
2026年4月
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