ピエゾステージ

  1. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  2. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  3. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  4. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  5. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […
  6. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  7. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
  8. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  9. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  10. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  1. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  2. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  3. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  4. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  5. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…
  6. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  7. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  8. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  9. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)
  10. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
2026年1月
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