ピエゾステージ

  1. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  2. ターボ分子ポンプ　大阪真空　TG1003VW／TC1003（コ…

  3. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  4. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  5. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  6. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  7. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  8. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  9. RO純水製造装置　東洋紡エンジニアリング　TRO-60A

  10. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  1. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ
  2. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  3. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  4. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  5. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  6. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  7. 真空凍結乾燥機　日本フリーザー　BFD-6F2

  8. 超音波洗浄装置　カイジョー　HCW-111-25

  9. イオンゲージ　電離真空計　アネルバ　M-430HG

  10. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…
2026年5月
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