ピエゾステージ

  1. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  2. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  3. ウルトラミクロ電子天秤　メトラートレド　XP2U

  4. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
  5. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  6. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  7. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  8. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  9. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  10. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  1. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  2. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  3. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  4. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  5. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  6. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  7. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…
  8. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…
  9. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
  10. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…
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