ピエゾステージ

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  3. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  4. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  5. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

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  10. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
  1. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

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  2. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  3. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  5. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  6. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  7. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
  8. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  9. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  10. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…
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