ピエゾステージ

  1. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
  2. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  3. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  4. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  5. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  6. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  7. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  8. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  9. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…
  10. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…
  1. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  2. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2
  3. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  4. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  5. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  6. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  7. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  8. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  9. 真空乾燥機　アズワン　AVO-310V
  10. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
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