ピエゾステージ

  1. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  2. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3
  3. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  4. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  5. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  6. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  7. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  8. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  10. デジタルマイクロスコープ　キーエンス　VW-6000 &#8…

  1. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  2. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  4. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050
  5. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  7. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  8. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  9. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z
  10. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…
2026年3月
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