ピエゾステージ

  1. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  2. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  3. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  4. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH

  5. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  6. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B
  7. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  8. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  9. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  10. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  1. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  2. ロータリポンプ　エドワーズ　E2M40

  3. チラー 冷却水循環装置　アズワン　LCT-450A

  4. スクリュウーコンプレッサー　コベルコ技研　SUKESAN…

  5. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  6. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  7. ターボ分子ポンプ　ファイファー　THM262/TC100

  8. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  9. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-151/EI-151G（コ…
  10. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…
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