ピエゾステージ

  1. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  2. ターボ分子ポンプ　大阪真空　TG1003VW／TC1003（コ…

  3. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  4. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　MAG2000／MAG.DRIVE 200…

  5. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  6. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  7. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  8. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…
  9. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…
  10. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  1. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  2. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …
  3. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  4. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  5. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  6. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  7. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  8. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  9. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  10. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…
2026年5月
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