ピエゾステージ

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410
  2. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  3. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  4. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  5. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720
  6. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  7. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  8. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  9. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  10. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  1. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  2. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  3. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  4. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  5. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  6. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  7. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  8. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  9. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  10. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…
2026年4月
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