ピエゾステージ

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  2. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  3. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410
  5. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  6. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z
  7. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  8. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  9. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  10. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  1. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  2. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  3. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …
  4. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  5. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410
  7. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  8. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  9. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  10. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…
2026年3月
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