ピエゾステージ

  1. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  2. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  4. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  5. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  6. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  7. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  8. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  9. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  10. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410
  2. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…
  3. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  4. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […
  5. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  6. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  7. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
  8. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  9. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  10. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…
2026年4月
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