ピエゾステージ

  1. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  2. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  3. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  4. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　MAG2000／MAG.DRIVE 200…

  5. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  6. インテリジェントX線測定器　東洋メテック　RaySafe …

  7. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3
  8. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  9. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  10. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  1. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  2. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  3. 連続式リフロー炉　グローバル　AFD-101A

  4. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  5. 卓上型クリーンブース　アズワン　ピュアスペースPS0…

  6. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  7. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  8. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  9. イオンゲージ　電離真空計　アネルバ　M-430HG

  10. 液晶重ね合わせ装置　中央精機　LCM-ST
2026年6月
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