ピエゾステージ

  1. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  2. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  3. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  4. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  5. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  6. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  7. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  8. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  9. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  10. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  1. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  2. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  3. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  4. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…
  5. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  6. ウェハーマウンター　日東電工　M286N

  7. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  8. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  9. ターボ分子ポンプ　BOC EDWARDS　STP-300

  10. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…
2026年5月
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