ピエゾステージ

  1. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
  2. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  3. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  4. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  5. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  6. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  7. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  8. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  9. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  10. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  1. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  2. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  4. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  5. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  7. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…
  8. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  9. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  10. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
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