ピエゾステージ

  1. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  2. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  3. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…
  4. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  5. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  6. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  7. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  8. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  9. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  10. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP
  1. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  2. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  3. 液晶重ね合わせ装置　中央精機　LCM-ST

  4. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  5. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-500B

  6. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  7. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  8. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
  9. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  10. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
2026年5月
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