ピエゾステージ

  1. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  2. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  3. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  4. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  5. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  6. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  7. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…
  8. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  9. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…
  10. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  1. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  3. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  4. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  5. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
  6. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  7. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  8. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
  9. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  10. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100
2026年3月
月 火 水 木 金 土 日
 1
2345678
9101112131415
16171819202122
23242526272829
3031