ピエゾステージ

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  2. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  3. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…
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  5. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  6. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  7. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  8. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  9. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  10. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  1. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  2. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  3. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  4. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  6. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…
  7. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  8. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  9. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  10. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2
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