ピエゾステージ

  1. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  2. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
  3. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  4. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  5. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  6. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  7. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  8. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]
  9. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  10. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  1. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  2. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  3. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
  4. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  5. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  6. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  7. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  8. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
  9. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  10. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2
2026年3月
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