ピエゾステージ

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  2. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  3. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…
  4. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  5. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  6. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  7. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  8. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…

  9. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  10. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  2. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  3. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  4. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  5. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  6. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  7. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  8. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720
  9. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  10. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…
2026年4月
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