ピエゾステージ

  1. ダイサー　ディスコ　DAD522

  2. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  3. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  4. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  5. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  6. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  7. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  8. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　MAG2000／MAG.DRIVE 200…

  9. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  10. 真空オーブン　ヤマト科学　ADP200

  1. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  2. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  3. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  4. ウェハーマウンター　日東電工　M286N

  5. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  6. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  7. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  8. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …

  9. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  10. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…
2026年5月
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