ピエゾステージ

  1. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  2. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…
  3. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  4. RF電源　RF POWER PRODUCTS　RF5S

  5. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  6. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  7. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  8. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  9. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  10. 高度加速寿命試験装置（HAST装置）エスペック　EHS-4…

  1. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle 12kW

  2. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  3. チラー 冷却水循環装置　アズワン　LCT-450A

  4. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  5. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  6. サーモカップル真空計　アネルバ　MTG-012

  7. 卓上型クリーンブース　アズワン　ピュアスペースPS0…

  8. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  9. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH261/TC600

  10. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050
2026年5月
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