ピエゾステージ

  1. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  2. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  3. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  4. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  5. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  6. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  7. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  8. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  9. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  10. 遠心エバポレーター　アズワン　CVE-2AS
  1. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  2. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  3. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  4. 卓上型クリーンブース　アズワン　ピュアスペースPS0…
  5. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  6. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-500B

  7. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  8. 検査用光源ユニット　ウシオ電機　Optical Modulex　…

  9. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  10. スクリュウーコンプレッサー　コベルコ技研　SUKESAN…
2026年6月
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