ピエゾステージ

  1. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  2. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  3. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  4. ウルトラミクロ電子天秤　メトラートレド　XP2U

  5. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  6. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  7. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  8. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  9. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  10. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  1. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  2. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  3. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  4. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  5. 真空乾燥機　アズワン　AVO-310V
  6. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  8. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  9. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  10. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
2026年1月
月 火 水 木 金 土 日
 1234
567891011
12131415161718
19202122232425
262728293031