ピエゾステージ

  1. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  2. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  3. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  4. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  5. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…
  6. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  7. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  8. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  9. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  10. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…
  1. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  2. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…
  3. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  4. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  5. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  6. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  7. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  8. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  10. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
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