ピエゾステージ

  1. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  2. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…
  3. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  4. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…
  5. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  6. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  7. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  8. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  10. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  1. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  2. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  3. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  4. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  5. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …
  6. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…
  7. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  8. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  9. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  10. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)
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