ピエゾステージ

  1. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  2. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  3. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  4. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z
  5. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  6. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  7. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  8. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  9. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  10. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  1. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  2. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  3. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…
  4. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  5. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  6. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
  7. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…
  8. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
  9. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  10. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
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