ピエゾステージ

  1. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  2. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  3. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  4. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  5. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  6. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  7. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  8. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  9. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  10. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  1. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…
  2. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  3. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  4. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  6. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  7. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  8. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  9. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …
  10. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…
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