ピエゾステージ

  1. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…
  2. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  3. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  4. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  5. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  6. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  7. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  9. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  10. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  1. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100
  2. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  3. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  4. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  5. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  6. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
  7. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  8. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  9. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  10. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
2026年1月
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