ピエゾステージ

  1. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  2. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  3. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  4. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  5. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  6. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  7. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  8. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  9. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  10. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  1. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  2. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…

  3. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  4. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  5. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  6. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  7. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  8. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  9. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  10. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…
2026年4月
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