ピエゾステージ

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  5. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  6. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  7. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  8. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
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  10. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…
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