ピエゾステージ

  1. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  2. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  3. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  4. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E
  5. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…
  6. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  7. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  8. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  9. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  10. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  1. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  2. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
  3. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  4. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  5. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  6. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  7. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  8. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
  9. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  10. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH261/TC600
2026年5月
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