ピエゾステージ

  1. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  2. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  3. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  4. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…
  5. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  6. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  7. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  8. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  10. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  1. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  2. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  3. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  5. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  6. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  7. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  8. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  9. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]
  10. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…
2025年9月
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