株式会社未来産業技術研究所
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メーカー:Messtek 型式:M26107/M25-10/MWP-A30XCAピエゾステージ・ピエゾドライバー・ピエゾコントローラー水晶やある種の…
オイルフリースクロールコンプレッサー コベルコ E…
ドライポンプ BOC EDWARDS エドワーズ QDP40
スクロールポンプ アネスト岩田 DVSL-500CS1-[M231…
ドライポンプ 樫山 NeoDry36E
真空蒸着/スパッタ共用装置 サンユー電子製<br>型…
ドライエッチング装置 ナノテック製<br>型式:NCP-4…
恒温恒湿槽 エスペック PR-3J
プラズマCVD装置(プラズマ窒化装置)ワイエス工業製…
ターボ分子ポンプ(TMP)アルカテル製 5081 –…
プログラムフリーザー 低温水槽 FUJIHIRA ET-1N
オートファインコーター(スパッタ装置)日本電子(JE…
ターボ分子ポンプ PFEIFFER SplitFlow 290/TC110
高信頼性電源(CVCC)菊水電子工業製<br>型式:PAN60…
スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
蒸着装置 – カーボンコーター JEOL – …
カーボンコーター 日本電子(JEOL) JEC-530
イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー JEOL…
レーザー顕微鏡 キーエンス VK-9510
ウェハー表面検査装置 Micro MAX System ビジョンサ…
ターボ分子ポンプ PFEIFFER TMH261/TC600