ピエゾステージ

  1. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  2. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  3. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  4. 表面性試験機　HEIDON　TYPE:14FW

  5. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  6. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  7. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114
  8. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…
  9. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…
  10. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  1. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  2. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  3. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  4. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  5. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  7. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  8. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  10. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
2025年12月
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