ピエゾステージ

  1. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  2. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  3. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  4. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  5. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  6. バンプボンダー　新川　SBB-110super – [M2309…

  7. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  8. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…
  9. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …
  10. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  1. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  2. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
  3. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  4. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E
  5. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  6. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  7. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  8. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  9. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  10. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…
2025年12月
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