ピエゾステージ

  1. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  2. バンプボンダー　新川　SBB-110super – [M2309…

  3. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  4. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  5. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…
  6. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  7. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
  8. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  9. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  10. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  1. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  2. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  3. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  4. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  5. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  6. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  7. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  8. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  9. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  10. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…
2026年1月
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