ピエゾステージ

  1. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  2. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  3. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH

  4. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  5. マイクロ波電源／発振器　IDX　IMG-2503

  6. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  7. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　MAG2000／MAG.DRIVE 200…

  8. 高度加速寿命試験装置（HAST装置）エスペック　EHS-4…

  9. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  10. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  1. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH261/TC600
  2. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  3. 液晶重ね合わせ装置　中央精機　LCM-ST

  4. 遠心エバポレーター　アズワン　CVE-2AS

  5. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  6. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  7. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  8. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  9. ドライポンプ　Kashiyama　NeoDry15E

  10. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J
2026年6月
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