ピエゾステージ

  1. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  2. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  3. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  4. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  5. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  6. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  7. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  8. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  9. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  10. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C
  1. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  2. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …
  3. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  4. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  5. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  6. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250
  7. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  8. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  9. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  10. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)
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