ピエゾステージ

  1. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  2. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114
  3. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  4. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  5. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  6. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…
  7. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  8. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  9. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  10. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  1. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  2. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  3. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  4. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  5. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  6. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  7. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
  8. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  9. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  10. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
2026年3月
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