ピエゾステージ

  1. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  2. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  3. RF電源　RFPP　RF20S

  4. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  5. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  6. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  7. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  8. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  9. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  10. 真空凍結乾燥機　日本フリーザー　BFD-6F2

  1. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  2. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  3. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  4. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  6. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  7. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F
  8. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  9. パルスユニット　アルバック　A2KH-25

  10. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A
2026年5月
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