ピエゾステージ

  1. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  2. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  3. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  4. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […
  5. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  6. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  7. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  8. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  9. デジタルマイクロスコープ　キーエンス　VW-6000 &#8…

  10. 冷却水循環装置（空冷チラー）EYELA製　CA-3110 &#82…

  1. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  2. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  4. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  5. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  6. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  7. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  8. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
  9. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  10. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]
2025年12月
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