ピエゾステージ

  1. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  2. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  3. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081-[M23041…

  4. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  6. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  7. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  8. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  10. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  1. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…
  2. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03
  3. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  4. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  5. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  6. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  7. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  8. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  9. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  10. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…
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