ピエゾステージ

  1. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  2. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  3. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  4. 真空凍結乾燥機　日本フリーザー　BFD-6F2

  5. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  6. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  7. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  8. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  9. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  10. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　MAG2000／MAG.DRIVE 200…
  1. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  2. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  3. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  4. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  5. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  6. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  7. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  9. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  10. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
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