ピエゾステージ

  1. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  2. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  3. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  4. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  5. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  6. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…
  7. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  8. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  9. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…
  10. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  1. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  2. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  3. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  4. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  5. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  6. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  7. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  8. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
  9. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  10. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530
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