ピエゾステージ

  1. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…
  2. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  3. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  4. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  5. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530
  6. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …
  7. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  8. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  9. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  10. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…

  1. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  2. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  3. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  4. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …
  5. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03
  6. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  7. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  9. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  10. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
2026年4月
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