ピエゾステージ

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  2. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  3. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  4. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  5. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  6. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  7. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  8. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  9. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  10. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  2. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  3. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  4. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  5. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  6. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  7. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  8. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  9. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…

  10. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
2026年4月
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