ピエゾステージ

  1. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  2. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  3. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  4. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  5. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  6. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  7. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  8. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  9. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  10. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  1. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  2. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  3. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  4. スクリュウーコンプレッサー　コベルコ技研　SUKESAN…

  5. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…
  6. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  7. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  8. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…

  9. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-500B

  10. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ
2026年5月
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