ピエゾステージ

  1. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400(M210108A04)

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  2. 高温恒温槽(イナートオーブン) ヤマト科学 DN-43…

  3. 産業用ロボットアーム(6軸多関節ロボット)デンソー…

  4. ウルトラミクロ電子天秤 メトラートレド XP2U

  5. チラー(高性能精密温調装置)HUBER製(英弘精機)UN…

  6. オイルフリースクロールコンプレッサー コベルコ E…

  7. プラズマCVD装置(プラズマ窒化装置)ワイエス工業製…

  8. ツインコーター JEOL製(日本電子)JEC-550 –…

  9. ドライポンプ 樫山 NeoDry36E

  10. 多関節産業ロボット(6軸)ファナック製 型式M-10iA…

  1. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー JEOL…

  2. パルスヒートユニット – 接合装置 AVIO PHU-…

  3. 表面粗さ測定(魔鏡/透明体測定) レイテックス製 …

  4. レーザー変位計 KEYENCE LK-G5000/LK-H050

  5. 真空乾燥機 アズワン AVO-310V

  6. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System ビジョンサ…

  7. 真空蒸着装置 アルバック VPC-410

  8. ドライポンプ アルバック製 LR90 – [M240419…

  9. 実体顕微鏡 ニコン-Nikon SMZ 1000

  10. スピンコーター ミカサ製 1H-360S

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