ピエゾステージ

  1. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  2. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  3. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  4. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  5. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  6. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  7. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  8. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  9. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
  10. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  1. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  2. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  3. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  4. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  5. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410
  7. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  8. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2
  9. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  10. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
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