ピエゾステージ

  1. 低温恒温槽　エスペック製　MC-711T

  2. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  3. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-151/EI-151G（コ…

  4. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  5. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  6. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  7. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  8. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  9. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  10. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  1. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  2. 真空凍結乾燥機　日本フリーザー　BFD-6F2

  3. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  4. クリーンベンチ　日本エアーテック　KTV-840KS

  5. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  6. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  7. スクリュウーコンプレッサー　コベルコ技研　SUKESAN…

  8. ドライポンプ　Kashiyama　NeoDry15E

  9. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  10. 連続式リフロー炉　グローバル　AFD-101A
2026年6月
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