ピエゾステージ

  1. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH

  2. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  3. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  4. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  5. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  6. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  7. ダイサー　ディスコ　DAD522

  8. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  9. 遠心エバポレーター　アズワン　CVE-2AS

  10. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  1. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  2. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  3. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
  4. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  5. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  6. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…
  7. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…
  8. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  9. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  10. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
2026年5月
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