ピエゾステージ

  1. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  2. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  3. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  4. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  5. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  6. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  7. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  8. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  9. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  10. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  1. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  2. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  3. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  4. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  5. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  6. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
  7. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  8. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…
  9. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  10. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
2026年3月
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