ピエゾステージ

  1. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]
  2. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  3. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  4. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  5. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  6. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  7. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100
  8. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  9. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  10. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  1. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  2. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  3. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  4. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530
  5. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  7. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  8. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  9. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  10. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
2026年5月
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