ピエゾステージ

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  7. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

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  9. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  10. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  1. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  2. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  3. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  4. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  5. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  6. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  7. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  8. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  9. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  10. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…
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