ピエゾステージ

  1. 表面性試験機　HEIDON　TYPE:14FW

  2. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  3. ドライポンプ　樫山　NeoDry-30E

  4. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  5. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  6. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  7. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…
  8. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  9. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  10. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…
  1. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  2. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  3. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  4. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  5. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  6. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  7. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  8. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  10. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
2025年12月
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