ピエゾステージ

  1. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  2. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  3. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  4. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  5. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  6. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  7. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  8. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  9. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  10. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  1. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  2. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …
  3. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  4. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  5. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  7. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  8. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  9. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  10. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
2026年4月
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