株式会社未来産業技術研究所
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メーカー:Messtek 型式:M26107/M25-10/MWP-A30XCAピエゾステージ・ピエゾドライバー・ピエゾコントローラー水晶やある種の…
インプリント装置-真空UV式 エンジニアリングシステ…
クリーンオーブン ヤマト科学製 DE610-[M230609A01]
マイクロ波電源/発振器 IDX IMG-2503
レーザー装置-YAGレーザー Spectra Physics Millen…
ツインコーター JEOL製(日本電子)JEC-550 –…
スカラロボット(4軸)ヤマハ製 YK600XG
高温恒温槽 ハイテンプオーブン – エスペック…
冷却水循環装置(水冷チラー)オリオン機械 RKED220…
プラズマ処理装置 神港精機 POEM
恒温槽 エスペック PH-402
ドライポンプ アルバック製 LR90 – [M240419…
レーザー顕微鏡 キーエンス VK-9510
RF電源 RFPP RF10S
イオンスパッタ装置 日立製 E-1030
電離真空計 イオンゲージ アネルバ M-922HG 測定…
エアー吸着マット パイオニア風力機 AM-CB/PV1N-15…
ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ バリアン HS…
恒温恒湿槽 エスペック製<br>型式:PR-2KT (M20121…
FE-SEM 走査型電子顕微鏡 JEOL 日本電子 JSM-6700F
イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー JEOL…