ピエゾステージ

  1. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…
  2. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  3. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  4. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  5. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  6. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  7. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  8. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  9. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  10. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  1. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  2. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  3. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…
  4. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  5. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  6. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  7. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  8. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  9. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  10. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…
2026年4月
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