ピエゾステージ

  1. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  2. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  3. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  4. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  5. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  6. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  7. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720
  8. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …
  9. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  10. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  1. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  2. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  3. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  4. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  5. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…

  6. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  7. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  8. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  9. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  10. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
2026年4月
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