デジタル顕微鏡

  1. ヒュームフード（ドラフトチャンバー）ヤマト科学　M…

  2. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH

  3. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　HiPace700/TC400

  4. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  5. インパルスノイズ試験器　ノイズ研究所-NoiseKen　IN…

  6. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …

  7. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  8. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  9. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  10. 恒温恒湿槽　ナガノサイエンス　NST-S800

  1. 恒温槽　エスペック　PH-402

  2. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  3. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  4. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  5. マッチングコントローラー　AS-TECH　RC-11

  6. VOCセンサー　理研計器　VOC-121H

  7. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020

  8. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  9. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  10. 液晶重ね合わせ装置　中央精機　LCM-ST
2026年6月
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