スカラロボット

  1. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  2. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  3. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  4. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  5. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  6. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  7. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  8. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  9. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  10. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  2. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  4. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…
  5. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  6. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  7. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　
  8. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
  9. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  10. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…
2026年4月
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