スカラロボット

  1. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  2. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  3. スピンドライヤー　コクサン製（国産遠心機）　H-840…
  4. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…
  5. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  6. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  7. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  8. 真空蒸着装置　アルバック製　VPC-410-[M240325A01]

  9. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  10. ターボ分子ポンプ（TMP）ファイファー製　TMU064/TCP…

  1. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  2. 真空蒸着装置　アルバック製　VPC-410-[M240325A01]

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  4. DC電源・菊水電子工業・PAD10-1000LET（M210303A05）

    DC電源　菊水電子製　型式：PAD16-1000LET （M210303…

  5. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  6. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  7. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…
  8. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  9. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
  10. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
2024年10月
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