スカラロボット

  1. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  2. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  3. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  4. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  5. スピンドライヤー　コクサン製（国産遠心機）　H-840…

  6. マスクアライナー（露光装置）canonキャノン製　PLA-…

  7. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…
  8. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  9. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  10. ターボ分子ポンプ（TMP）ファイファー製　TMU064/TCP…

  1. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…
  2. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  3. プレス機　ミカドテクノス製　MKP-5000D-[M231120A24]
  4. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…
  5. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  6. イオンミリング装置　日立製（HITACHI）E-3500 [M230…

  7. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  8. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  9. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
  10. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
2024年10月
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