スカラロボット

  1. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  2. ドライポンプ　樫山製　NeoDry60EU-082C-[M231212A01]

  3. スピンドライヤー　コクサン製（国産遠心機）　H-840…

  4. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  5. 真空蒸着装置　アルバック製　VPC-410-[M240325A01]

  6. クイックコーター　サンユー電子製　SC-701-[M240310…

  7. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  8. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  9. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  10. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  1. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  2. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  3. 真空蒸着装置　アルバック製　VPC-410-[M240325A01]
  4. SEM 電子顕微鏡

    SEM 走査型電子顕微鏡（3Dリアルサーフェスビュー顕…
  5. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
  6. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  7. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  8. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  9. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
  10. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…
2024年7月
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