1. スパッタ電源 – DC電源　アルバック　DCS0202A

  2. RO純水製造装置　東洋紡エンジニアリング　TRO-60A

  3. アナライジング交流電源装置　TAKASAGO　AA2000XG

  4. ターボ分子ポンプ排気システム　ファイファー　TSH071

  5. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ　VS050A3-AV6-NNN

  6. 垂直多関節産業用ロボットアーム　川崎重工　BX-165L

  7. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-550 – [M250110A01]

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　SC-701 MKⅡ – [M240310A05]

  9. 冷却水循環装置（空冷チラー）EYELA製　CA-3110 – [M240604A04]

  10. 油回転式真空ポンプ　アルカテル　2015SD

  11. 超音波洗浄器　ブランソン　2510J-DTH

  12. ロータリーポンプ　アルバック　D-330DK

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