1. 高温恒温槽　スーパーテンプオーブン – エスペック – STPH-102M

  2. イオンスパッタ装置　日立ハイテク　E-1045

  3. オートグラフ（精密万能試験機）島津製作所　AGS-X, 10N – 10kN

  4. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  5. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  6. 真空蒸着装置　アネルバ　EVC-1701

  7. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JEOL)　JFC-1300

  8. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530
  9. ロータリーポンプ・アルバック・D-950DK・M210108A26

    ロータリーポンプ　アルバック製　D-950DK

  10. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  11. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター　日本レーザー電子　NL-OPC60N
  12. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本電子製（JOEL）JFC-1600

  13. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  14. 中真空用バキュームゲージ　岡野製作所　AVG134C11

  15. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ　M-923HG

  16. 電離真空計　イオンゲージ　アルバック　GI-TL3

  17. 圧縮空気温度調節装置 ナノサーモ　オリオン機械　ACU600-MD

  18. ダイアフラム式真空ポンプ　アルバック機工　DAU-100

  19. 低温恒温槽　タバイエスペック　LU-112T

  20. 恒温槽　アドバンテック　DRM320DA

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