実態顕微鏡

  1. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  2. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  4. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
  5. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  6. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  7. 低温恒温槽　エスペック製　MC-711T

  8. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  9. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  10. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  1. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  2. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  3. ドライポンプ　Kashiyama　NeoDry15E

  4. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  5. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  6. RF電源　RFPP　RF10S
  7. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  8. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  9. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　HiPace700/TC400

  10. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300
2026年5月
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