EDX

  1. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  2. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  3. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  4. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E
  5. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製　E-1010

  6. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  7. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  8. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  9. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  10. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  1. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  2. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  3. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  4. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  5. クリーンベンチ　日本エアーテック　KTV-840KS

  6. ウェハーマウンター　日東電工　M286N

  7. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  8. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …

  9. 卓上型クリーンブース　アズワン　ピュアスペースPS0…

  10. マイクロ波電源／発振器　IDX　IMG-2503
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