EDX

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  2. 遠心エバポレーター　アズワン　CVE-2AS

  3. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  4. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…
  5. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  6. 高度加速寿命試験装置（HAST装置）エスペック　EHS-4…

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  8. RF電源　RF POWER PRODUCTS　RF5S

  9. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020

  10. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  1. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  2. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  3. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  4. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  5. 露光装置　日本電池　MAN250NLJ/MRL250SM

  6. マッチングコントローラー　AS-TECH　RC-11

  7. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  8. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  9. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  10. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050
2026年8月
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