ロータリーポンプ　アルバック機工　GHD-031A

ロータリーポンプ　油回転式真空ポンプ
メーカー：アルバック機工 – ulvac　型式：GHD-031A
排気速度：30/36 L/min　到達真空度：0.67Pa

ロータリポンプとは、中真空 (10^-1 Pa) 程度までの真空状態を容易に実現するポンプです。正式には油回転真空ポンプと呼ばれます。主な特性は以下の通りです。超高真空を実現する際に初期段階の減圧 (粗引き) や、システム全体の背圧を維持するためのバックポンプとして使用されることが多く、多種多様な利用方法にフィットします。
本機は、潤滑油を使用する回転翼型のマグネットカップリングを採用した真空ポンプです。マグネットカップリングは、軸シールからの油漏れが無く、また、吸気管直下型逆流防止弁の搭載により、真空槽内への油の汚染も無い小型で高性能な真空ポンプです。

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キーワード（メーカー）：アルバック・大阪真空・島津製作所・佐藤真空・アンレット・ライボルト・エドワーズ
キーワード（品名）：ドライポンプ・油拡散ポンプ・スクロールポンプ・クライオポンプ・ターボ分子ポンプ・真空ポンプ

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