株式会社未来産業技術研究所
パスボックス(クリーンルーム用)
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プラズマ処理装置 神港精機 POEM
デジタルマイクロスコープ キーエンス製<br>型式:V…
ターボ分子ポンプ排気システム ファイファー TSH071
ドライエッチング装置 ナノテック製<br>型式:NCP-4…
パーティクルカウンター リオン製<br>型式:KC-01B …
冷却水循環装置(空冷チラー)EYELA製 CA-3110 R…
マスクアライナー(露光装置)canonキャノン製 PLA-…
レーザー顕微鏡(超深度形状測定顕微鏡)キーエンス…
AOI基板外観検査装置 inspec製(インスペック)SX10…
チラー(高性能精密温調装置)HUBER製(英弘精機)UN…
クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…
パーツフィーダー ダイシン製<br>型式:D-15KFW-03
超純水製造装置 ミリポア製 Mill-Q Integral 5 -[M…
超音波洗浄装置 カイジョー HCW-111-25
マニュアルプローバー 日本マイクロニクス 705B-[M…
マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…
DC電源 菊水電子製 型式:PAD16-1000LET (M210303…
高信頼性電源(CVCC)菊水電子工業製<br>型式:PAN60…
恒温恒湿槽 エスペック製<br>型式:PR-2KT (M20121…
スクロールポンプ エドワーズ nXDS10i-[M240628A05]