株式会社未来産業技術研究所
メーカー:日本電子(JEOL) 型式:
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ドライポンプ アルバック製 LR90-[M240419A01]
クリーンベンチ 日立製<br>型式;PCV1915BE2 (M210…
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真空蒸着/スパッタ共用装置 サンユー電子製<br>型…
AOI基板外観検査装置 inspec製(インスペック)SX10…
レーザー顕微鏡 キーエンス VK-9510
パーティクルカウンター リオン製<br>型式:KC-01B …
冷却水循環装置(水冷チラー)オリオン機械 RKED220…
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真空蒸着機 日本電子(JEOL) JEE-420T
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ドライポンプ 樫山 NeoDry7E
スクロールポンプ エドワーズ nXDS10i-[M240628A05]
表面研磨機 BUEHLER MetaServ250
真空蒸着装置 アルバック VPC-260-[M241210A02]
クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…
反射分光膜厚測定装置 大塚電子 FE-3000
AFM – 原子間力顕微鏡 SII(現;日立ハイテク…