2021年 9月

  1. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサイテック製
    型式：VMB-1200P-M（M190922A07）
  2. スピンコーター_アクティブ_ACT-400AS

    スピンコーター　アクティブ製
    型式：ACT-400AS （M201105A02）
  3. 分光エリプソメーター

    分光エリプソメーター　大塚電子
    型式：FE-5000 （M210108A07）　　　　　　　　　　
  4. 超純水製造装置

    超純水製造装置　メルクミリポア製
    型式：Mill-Q A10 （M190329A01）
  5. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製
    型式：KC-01B （M200702A01）
  6. マスクアライナー

    マスクアライナー（露光装置）　ミカサ製
    型式：MA-10 （M210408A01）　　　　　　　　　　　　　
  7. EB電源・日本電子（JEOL）・JRF-750（M210108A28）

    RF電源（EB電源）　日本電子製（JEOL）
    型式：JRF-750 （M210108A28）
  8. 真空蒸着機、日本電子（JEOL）、JEE-450D

    真空蒸着装置・日本電子（JEOL）・JEE-450D
    （M201126A02）
  9. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製
    型式：E-1010 (M201126A14)

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