ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製 型式…
非接触形状測定装置 ソニープレシジョン製<br>型式…
カーボンコーター 日本電子(JEOL) JEC-530
粒子径分布測定装置-粒度分布計 堀場製作所-HORIBA…
イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー JEOL…
エネルギー分散型X線分析装置 島津製作所 EDX-720
電離真空計 イオンゲージ アネルバ M-922HG 測定…
プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
イオンスパッタ装置 日立製<br>型式：E-1010 (M2011…
エリプソメーター 溝尻光学工業 DVA-36L3
表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定） レイテックス製 …
ターボ分子ポンプ PFEIFFER SplitFlow 290／TC110
空冷チラー ユニットクーラー オリオン機械 RKS15…
イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー JEOL…
「HAST装置」高度加速寿命試験装置 エスペック EHS…
恒温恒湿槽 エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…
パルスヒートユニット – 接合装置 AVIO PHU-…
紫外線照射装置（UV照射装置） アイグラフィック製<…
バイオクリーンベンチ ESCO BCB-4E7
恒温恒湿槽 アドバンテック製 THR040FA-[M240209A1…
