パーティクルカウンター リオン製<br>型式：KM-33 …
恒温恒湿槽 エスペック LHL-114
垂直多関節産業用ロボットアーム デンソーウェーブ…
恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC LU-114
DC電源 – スパッタ電源 EN-Technologies E…
電離真空計 イオンゲージ アネルバ M-922HG 測定…
マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…
デジタルリンクアナライザー ANDO製（安藤）<br>型…
マニュアルプローバー 日本マイクロニクス 705B-[M…
スカラロボット（4軸）ヤマハ製 YK600XG
倒立顕微鏡 ニコン – Nikon ECLIPSE TS100
レーザー顕微鏡 キーエンス VK-9510
ターボ分子ポンプ PFEIFFER SplitFlow 290／TC110
ドライポンプ 樫山工業 – KASHIYAMA SDE1203…
バイオクリーンベンチ 日本医科器械<br>型式：VS-16…
イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー JEOL…
真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置 島…
恒温恒湿槽 エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…
レーザー変位計 KEYENCE LK-G5000／LK-H050
粒子径分布測定装置-粒度分布計 堀場製作所-HORIBA…
