自家発電装置

  1. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  2. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  3. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300
  4. イオンスパッタ装置、日立、E1030

    イオンスパッタ装置　日立製　E-1030

  5. ターボ分子ポンプ　大阪真空　TG1003VW／TC1003（コ…

  6. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114
  7. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  8. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  9. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  10. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  1. ターボ分子ポンプ　ファイファー　THM262/TC100

  2. リアルタイムスペクトラムアナライザ　テクトロニク…

  3. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  4. クリーンベンチ　日本エアーテック　KTV-840KS

  5. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  7. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  8. RF電源　RFPP　RF10S

  9. ロータリポンプ　エドワーズ　E2M40
  10. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…
2026年6月
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