株式会社未来産業技術研究所
メーカー:エスペック 型式:
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パーティクルカウンター リオン製<br>型式:KC-01B …
ドライポンプ 樫山工業 – KASHIYAMA SDE1203…
倒立顕微鏡 ニコン – Nikon ECLIPSE TS100
クリーンベンチ 日立製<br>型式;PCV1915BE2 (M210…
ターボ分子ポンプ(TMP)アルカテル製 5081 –…
ドライエッチング装置 ナノテック製<br>型式:NCP-4…
DC電源 – スパッタ電源 EN-Technologies E…
冷却水循環装置(水冷チラー)オリオン機械製 RKS15…
非接触形状測定装置 ソニープレシジョン製<br>型式…
真空蒸着装置 アルバック VPC-410
パルスヒートユニット – 接合装置 AVIO PHU-…
プラズマクリーナー ムサシノ電子製(FISCHIONE) …
マイクロ波電源 アドテック製 ARP Series-[M230622…
赤外線ランプ加熱装置 アドバンス理工 QHC-P610CP
プラズマCVD装置(プラズマ窒化装置)ワイエス工業製…
ドライポンプ 樫山 NeoDry7E
バイオクリーンベンチ 日本医科器械<br>型式:VS-16…
真空蒸着装置 日本電子製(JEOL)<br>型式:JEE-400
クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…