株式会社未来産業技術研究所
メーカー:エスペック 型式:
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エリプソメーター 溝尻光学工業 DVA-36L3
レーザー顕微鏡(超深度形状測定顕微鏡)キーエンス…
粒子径分布測定装置-粒度分布計 堀場製作所-HORIBA…
非接触形状測定装置 ソニープレシジョン製<br>型式…
ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ Messtek製 …
空冷チラー ユニットクーラー オリオン機械 RKS15…
クリーンオーブン ヤマト科学製 DE610-[M230609A01]
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真空蒸着/スパッタ共用装置 サンユー電子製<br>型…
紫外線照射装置(UV照射装置) アイグラフィック製<…
スクロールポンプ エドワーズ nXDS10i-[M240628A05]
レーザー顕微鏡 キーエンス VK-9510
恒温恒湿槽 エスペック製<br>型式:PR-2KT (M20121…
レーザー変位計 KEYENCE LK-G5000/LK-H050
電離真空計 イオンゲージ アネルバ M-922HG 測定…
パルスヒートユニット – 接合装置 AVIO PHU-…
高信頼性電源(CVCC)菊水電子工業製<br>型式:PAN60…
RF Plasma Generator MKS/ENI ELITE-300