圧縮空気温度調節装置（ナノサーモ）
メーカー：オリオン機械 型式：ACU600-MD
出口温度設定範囲：16℃～30℃
出口空気流量：130～600L/min
電子冷熱の応答性と当社独自の高精度コントローラにより高精度温調が可能。超精密加工、計測器の熱歪を高精度に制御し、母機の性能を最大限発揮させます。コンプレッサ搭載の冷凍方式と違い、ペルチェ素子による電子冷凍は動力部の振動が極めて少ないため、微細加工での位置決め精度に与える振動・騒音の影響を最小限にすることができます。
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キーワード：精密加工機・精密計測機・半導体製造・FPD製造装置・分析機器・局所空間の精密温調・コンプレッサー・空調設備
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