株式会社未来産業技術研究所
メーカー:AVTECH 型式:
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ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ Messtek製 …
カーボンコーター 日本電子(JEOL) JEC-530
ドライポンプ 樫山 NeoDry36E
多関節産業ロボット(6軸)ファナック製 型式M-10iA…
バイオクリーンベンチ ESCO BCB-4E7
AFM – 原子間力顕微鏡 SII(現;日立ハイテク…
プラズマCVD装置(プラズマ窒化装置)ワイエス工業製…
ドラフトチャンバー オリエンタル技研 RCG-ST-1200E
ツインコーター JEOL製(日本電子)JEC-550 –…
ターボ分子ポンプ PFEIFFER TMH521/TC600
レーザー変位計 KEYENCE LK-G5000/LK-H050
パルスユニット アルバック A2KH-25
パーツフィーダー ダイシン製<br>型式:D-15KFW-03
恒温恒湿槽 エスペック LHL-114
パルスヒートユニット – 接合装置 AVIO PHU-…
恒温恒湿槽 エスペック PR-3J
ロータリポンプ エドワーズ E2M40
スクロールポンプ アルバック製(Ulvac)DIS-251
レーザー顕微鏡 キーエンス VK-9510
電離真空計 イオンゲージ アネルバ M-922HG 測定…