株式会社未来産業技術研究所
メーカー:キーエンス(KEYENCE) 型式:
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ドライエッチング装置 ナノテック製<br>型式:NCP-4…
冷却水循環装置(水冷チラー)オリオン機械製 RKS15…
クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…
恒温器(防爆仕様)エスペック ESPEC LU-114
冷却水循環装置(空冷チラー)オリオン機械製 RKED9…
真空蒸着装置 アルバック VPC-260-[M241210A02]
ツインコーター JEOL製(日本電子)JEC-550 –…
スパッタ装置 – オートファインコーター 日本…
イナートガスオーブン 光洋サーモシステム製 INH-9…
反射分光膜厚測定装置 大塚電子 FE-3000
クライオポンプ アルバック製<br>型式:CRYO-U6H (…
実体顕微鏡 ニコン-Nikon SMZ 1000
表面研磨機 BUEHLER MetaServ250
AFM – 原子間力顕微鏡 SII(現;日立ハイテク…
恒温恒湿槽 アドバンテック製 THR040FA-[M240209A1…
高真空排気装置 DIAVAC DA-A412Z
蒸着装置 – カーボンコーター JEOL – …
超純水製造装置 ミリポア製 Mill-Q Integral 5 -[M…
真空蒸着装置 アルバック VPC-410