株式会社未来産業技術研究所
メーカー:キーエンス(KEYENCE) 型式:
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ドライエッチング装置 ナノテック製<br>型式:NCP-4…
非接触形状測定装置 ソニープレシジョン製<br>型式…
プラズマCVD装置(プラズマ窒化装置)ワイエス工業製…
真空蒸着装置 アルバック VPC-410
クリーンベンチ 日立製<br>型式;PCV1915BE2 (M210…
クリーンオーブン ヤマト科学製 DE610-[M230609A01]
反射分光膜厚測定装置 大塚電子 FE-3000
多関節産業ロボット(6軸)ファナック製 型式M-10iA…
DC電源 – スパッタ電源 EN-Technologies E…
パーティクルカウンター リオン製<br>型式:KC-01B …
真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置 島…
表面粗さ測定(魔鏡/透明体測定) レイテックス製 …
実体顕微鏡 ニコン-Nikon SMZ 1000
真空蒸着装置 アルバック VPC-260-[M241210A02]
ターボ分子ポンプ 島津製作所 TMP-803LM(O)
空冷チラー ユニットクーラー オリオン機械 RKS15…
パーツフィーダー ダイシン製<br>型式:D-15KFW-03
スクロールポンプ エドワーズ nXDS10i-[M240628A05]
真空蒸着装置 日本電子製(JEOL)<br>型式:JEE-400