株式会社未来産業技術研究所
メーカー:キーエンス(KEYENCE) 型式:
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イオンスパッタ装置 日立製<br>型式:E-1010 (M2011…
非接触形状測定装置 ソニープレシジョン製<br>型式…
エネルギー分散型X線分析装置 島津製作所 EDX-720
スカラロボット(4軸)ヤマハ製 YK600XG
デジタルマイクロスコープ キーエンス VW-6000 …
表面研磨機 BUEHLER MetaServ250
クリーンベンチ 日立製<br>型式;PCV1915BE2 (M210…
ドライポンプ/メカブポンプ 樫山製/アルバック製<…
冷却水循環装置(水冷チラー)オリオン機械 RKED220…
ドライエッチング装置 ナノテック製<br>型式:NCP-4…
高真空排気装置 DIAVAC DA-A412Z
真空蒸着機 日本電子(JEOL) JEE-420T
ターボ分子ポンプ PFEIFFER SplitFlow 290/TC110
ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ バリアン HS…
真空蒸着装置 アルバック VPC-410
蒸着装置 – カーボンコーター JEOL – …
プラズマCVD装置(プラズマ窒化装置)ワイエス工業製…
スクロールポンプ エドワーズ nXDS10i-[M240628A05]
真空蒸着装置 日本電子製(JEOL)<br>型式:JEE-400
クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…