パーティクルカウンター リオン製<br>型式：KC-01B …
スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械 RKED220…
スカラロボット（4軸）ヤマハ製 YK600XG
空冷チラー ユニットクーラー オリオン機械 RKS15…
電離真空計 イオンゲージ アネルバ M-922HG 測定…
高温恒温槽 ハイテンプオーブン – エスペック…
インプリント装置-真空UV式 エンジニアリングシステ…
レーザー顕微鏡 キーエンス VK-9510
チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…
プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
ウェハー表面検査装置 Micro MAX System ビジョンサ…
ターボ分子ポンプ PFEIFFER SplitFlow 290／TC110
蒸着装置 – カーボンコーター JEOL – …
粒子径分布測定装置-粒度分布計 堀場製作所-HORIBA…
クライオポンプ アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
ドライポンプ アルバック製 LR90 – [M240419…
産業用多関節ロボット 三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…
ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ バリアン HS…
