株式会社未来産業技術研究所
メーカー:キーエンス(KEYENCE) 型式:
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スパッタ装置(3元多層式) アネルバ L-250S-FH
恒温器(防爆仕様)エスペック ESPEC LU-114
EPMA 電子線マイクロアナライザー 島津製作所 EPMA…
反射分光膜厚測定装置 大塚電子 FE-3000
プラズマクリーナー サムコ PC-300
ロータリーポンプ ライボルト SOGEVAC SV40-65 BIFC
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冷却水循環装置(水冷チラー)オリオン機械製 RKS15…
恒温恒湿槽 エスペック PL-1J
スクリュウーコンプレッサー コベルコ技研 SUKESAN…
イオンゲージ 電離真空計 アネルバ M-430HG
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空冷チラー(冷却水循環装置)EYELA製(東京理化器械…
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イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー JEOL…
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ターボ分子ポンプ PFEIFFER TMH521/TC600
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