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デジタルマイクロスコープ
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非接触形状測定装置 ソニープレシジョン製<br>型式:YP21-T07 (M21…
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真空蒸着装置 アルバック製<br>型式:VPC-410A (M200312A02)
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ロータリーポンプ アルバック製<br>型式:GLD-136A (M201204A04)
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オートファインコーター 日本電子製(JEOL)<br>型式:JFC-1300
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パスボックス クリーンルーム用
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真空デシケーター 日本電子製(JEOL)<br>型式:EM-DSC10E (M1912…
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超音波洗浄機 アズワン製 <br>型式:ASU-6(M200703A01)
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紫外線照射装置(UV照射装置) アイグラフィック製<br>型式:UB011…
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凍結乾燥装置 日本電子製(JEOL)<br>型式:JFD-310
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非常用発電装置 東洋電機製造<br>型式:YT-15CG
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産業用多関節ロボット 三菱電機製<br>型式:RV-4FL-1Q
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パーツフィーダー ダイシン製<br>型式:D-15KFW-03
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チラー(外部開放系循環装置)ヤマト科学製<br>クールライン 型式…
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オイルバス(恒温油槽)トーマス科学製<br>型式:T-300
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ウェハー表面検査装置 Micro MAX System ビジョンサイテック製<br>…
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質量ガス分析計 インフィコン製<br>型式:TSPTT200 (M200714A35)
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紫外線照射装置(UV照射装置) アイグラフィック製<br>型式:UB011…
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高信頼性電源(CVCC)菊水電子工業製<br>型式:PAN600-2A (M201222…
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樹脂ジェットローダー(吸引輸送装置)松井製作所<br>型式:JL4-5VC…
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クライオポンプ アルバック製<br>型式:CRYO-U6H (M210320A04)