株式会社未来産業技術研究所
メーカー:日立 型式:
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ドライポンプ 樫山工業 – KASHIYAMA SDE1203…
ドライエッチング装置 ナノテック製<br>型式:NCP-4…
マイクロ波電源 IDX製 IMG-2503S-[M230622A03]
バイオクリーンベンチ ESCO BCB-4E7
表面研磨機 BUEHLER MetaServ250
真空蒸着装置 アルバック VPC-260-[M241210A02]
マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…
非接触形状測定装置 ソニープレシジョン製<br>型式…
冷却水循環装置(水冷チラー)オリオン機械 RKED220…
6軸ロボットアーム ファナック製(FANUC)LR Mate 2…
マイクロ波電源 アドテック製 ARP Series-[M230622…
反射分光膜厚測定装置 大塚電子 FE-3000
クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…
ウェハー表面検査装置 Micro MAX System ビジョンサ…
スクロールポンプ エドワーズ nXDS10i-[M240628A05]
真空蒸着装置 アルバック VPC-410
AFM – 原子間力顕微鏡 SII(現;日立ハイテク…
表面粗さ測定(魔鏡/透明体測定) レイテックス製 …
ターボ分子ポンプ 島津製作所 TMP-803LM(O)
プラズマCVD装置(プラズマ窒化装置)ワイエス工業製…