株式会社未来産業技術研究所
メーカー:日立 型式:
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イオンスパッタ装置(成膜装置)日立製 E-1020
ドラフトチャンバー オリエンタル技研 RCG-ST-1200E
クリーンオーブン ヤマト科学製 DE610-[M230609A01]
スクロールポンプ アルバック製(Ulvac)DIS-251
恒温恒湿槽 エスペック PL-4KP
低温恒温槽 エスペック製 MC-711T
スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
パーティクルカウンター リオン製<br>型式:KM-33 …
恒温恒湿槽 アドバンテック製 THR040FA-[M240209A1…
ドライポンプ 樫山 NeoDry36E
冷却水循環装置(空冷チラー)オリオン機械製 RKED9…
クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…
ターボ分子ポンプ PFEIFFER HiPace700/TC400
パルスユニット アルバック A2KH-25
空冷チラー ユニットクーラー オリオン機械 RKS15…
ターボ分子ポンプ PFEIFFER SplitFlow 290/TC110
真空蒸着装置 日本電子製(JEOL)<br>型式:JEE-400
連続式リフロー炉 グローバル AFD-101A
パーツフィーダー ダイシン製<br>型式:D-15KFW-03
走査電子顕微鏡(卓上SEM)日立ハイテク Miniscope …