スパッタ装置

  1. ドライポンプ　Kashiyama　NeoDry15E

  2. VOCセンサー　理研計器　VOC-121H

  3. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  4. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  5. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  6. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020

  7. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  8. 恒温恒湿槽　ナガノサイエンス　NST-S800

  9. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  10. 低温恒温槽　エスペック製　MC-711T

  1. ターボ分子ポンプ　BOC EDWARDS　STP-300

  2. オゾンガスモニター　APPLICS　OZG-EM-010K

  3. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  4. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  5. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  6. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-500B

  7. パルスユニット　アルバック　A2KH-25

  8. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  9. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530
  10. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03
2026年10月
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