スパッタ装置

  1. ロックインアンプ　エヌエフ回路設計　5610B

  2. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  3. レーザー装置-YAGレーザー　Spectra Physics　Millen…

  4. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  5. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N
  6. イオンスパッタ装置、日立、E1030

    イオンスパッタ装置　日立製　E-1030

  7. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  8. ヒーター式インキュベーター　PHC　MIR-H163-PJ

  9. 低温恒温槽　エスペック製　MC-711T

  10. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  1. チラー 冷却水循環装置　アズワン　LCT-450A

  2. RF電源　RFPP　RF10S

  3. ロータリポンプ　エドワーズ　E2M40

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  5. ウェハーマウンター　日東電工　M286N

  6. レーザー装置-YAGレーザー　Spectra Physics　Millen…

  7. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  8. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  9. 高度加速寿命試験装置（HAST装置）エスペック　EHS-4…

  10. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…
2026年6月
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