スパッタ装置

  1. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  2. 表面粗さ計　テイラーホブソン　NewForm-[M230314A01]

  3. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  4. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  5. 真空蒸着装置　アルバック製　VPC-410-[M240325A01]
  6. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  7. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  8. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  9. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  10. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  1. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…
  2. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  3. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
  4. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  5. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  6. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…
  7. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…
  8. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  9. エアーコンプレッサー　日立製　CSP-22V5ARⅡ-[M24020…
  10. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
2024年9月
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