ヘリウムコンプレッサー

  1. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  2. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  3. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  4. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  5. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  6. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  7. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  8. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  9. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  10. デジタルマイクロスコープ　キーエンス　VW-6000 &#8…
  1. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  2. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  4. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  5. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
  6. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  7. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  8. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  9. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  10. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
2025年11月
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