CVD装置

  1. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  2. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  3. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
  4. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  5. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  6. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  7. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  8. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  9. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  10. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  1. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  2. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  3. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  4. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  5. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  6. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  7. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  8. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  9. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000
  10. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…
2026年3月
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