CVD装置

  1. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  2. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  3. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  4. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  5. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  6. デジタルマイクロスコープ　キーエンス　VW-6000 &#8…

  7. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  8. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…
  9. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  10. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  2. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  3. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  4. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  5. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  6. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…
  7. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  8. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  9. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  10. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …
2026年3月
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