CVD装置

  1. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  2. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  3. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  4. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C
  5. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  6. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  7. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  8. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  9. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  10. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  1. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  2. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720
  3. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  4. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  5. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  6. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  7. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  8. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
  9. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  10. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
2026年3月
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