CVD装置

  1. RF電源　RF POWER PRODUCTS　RF5S

  2. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  3. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  4. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  5. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  6. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  7. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  8. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  9. インテリジェントX線測定器　東洋メテック　RaySafe …
  10. イオンスパッタ装置、日立、E1030

    イオンスパッタ装置　日立製　E-1030

  1. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  2. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  3. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-151/EI-151G（コ…

  4. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  6. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  7. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  8. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  9. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  10. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F
2026年6月
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