CVD装置

  1. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  2. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…
  3. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  4. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  5. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  6. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  7. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  9. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  10. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  1. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…
  2. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  3. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  4. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
  5. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  6. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
  7. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  8. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  10. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z
2026年3月
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