CVD装置

  1. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  3. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  4. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  5. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  6. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  7. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  8. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  9. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  10. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  1. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  2. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  3. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  4. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…
  5. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  6. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  7. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
  8. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  9. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  10. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
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