CVD装置

  1. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  2. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…
  3. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…
  4. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  5. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  6. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  7. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  8. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  9. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  10. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  1. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  2. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  3. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  4. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250
  5. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  6. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  7. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000
  8. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  9. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  10. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
2026年1月
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