CVD装置

  1. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  2. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  3. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  4. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  5. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  6. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114
  7. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  8. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  9. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  10. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  1. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  2. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  3. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…
  4. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
  5. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  6. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  7. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  8. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  9. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  10. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…
2026年3月
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