CVD装置

  1. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  2. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  3. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  4. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  5. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  6. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  7. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  8. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  9. ドライポンプ　樫山　NeoDry-30E

  10. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  1. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  2. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  3. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
  4. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  5. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  6. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  7. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…
  8. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  9. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  10. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
2025年11月
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