CVD装置

  1. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  2. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  3. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  4. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  5. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  6. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
  7. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  8. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  9. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  10. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  1. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  2. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…
  3. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  4. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  5. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  6. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  7. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…
  8. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  9. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  10. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…
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