CVD装置

  1. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  2. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  3. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  4. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  5. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R
  6. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  7. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  8. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  9. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  10. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  1. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  2. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  3. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  4. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  6. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  7. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…

  8. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  9. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  10. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
2026年4月
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