CVD装置

  1. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  2. 冷却水循環装置（空冷チラー）EYELA製　CA-3110 &#82…

  3. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  4. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  5. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  6. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  7. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  8. バンプボンダー　新川　SBB-110super – [M2309…

  9. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  10. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-90…

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  3. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  4. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  5. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  6. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  7. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  8. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  9. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  10. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
2025年12月
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