CVD装置

  1. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  2. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  3. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  4. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  5. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  6. ターボ分子ポンプ　大阪真空　TG1003VW／TC1003（コ…

  7. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  8. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  9. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-151/EI-151G（コ…

  10. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…
  1. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  2. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  3. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  4. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  5. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  6. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH261/TC600

  7. クリーンベンチ　日本エアーテック　KTV-840KS
  8. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  9. 四重極質量分析計（Q-MASS）　ファイファー　 QME200

  10. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
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