CVD装置

  1. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  2. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  3. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  4. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  5. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  6. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…
  7. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…
  8. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  10. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  1. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  2. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720
  3. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  4. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  5. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  6. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  7. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  9. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  10. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…
2026年2月
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