CVD装置

  1. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  2. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  3. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  4. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  5. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  6. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  7. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  8. デジタルマイクロスコープ　キーエンス　VW-6000 &#8…

  9. ドライポンプ　樫山　NeoDry-30E

  10. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  1. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  2. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  3. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  4. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  5. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  6. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…
  7. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  8. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  9. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  10. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
2025年11月
月 火 水 木 金 土 日
 12
3456789
10111213141516
17181920212223
24252627282930