CVD装置

  1. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  2. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  3. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…
  4. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  5. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  6. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  7. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…

  8. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　
  9. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
  10. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  1. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
  2. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03
  3. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  5. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […
  6. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  7. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  8. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050
  9. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  10. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…
2026年4月
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