CVD装置

  1. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  2. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  3. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  4. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  5. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  6. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  7. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  8. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  9. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  10. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  1. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100
  2. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…
  3. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  4. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  5. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle

  6. 四重極質量分析計（Q-MASS）　ファイファー　 QME200

  7. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  8. パルスユニット　アルバック　A2KH-25

  9. 液晶重ね合わせ装置　中央精機　LCM-ST

  10. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…
2026年5月
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