CVD装置

  1. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  2. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  3. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  5. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…
  6. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  7. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  8. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  9. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  10. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  1. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  2. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…
  3. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  4. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  6. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  7. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  8. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  10. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
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