CVD装置

  1. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]
  2. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…
  3. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  4. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  6. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  7. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…

  8. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  9. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…
  10. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  1. マッチングコントローラー　AS-TECH　RC-11

  2. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  3. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…

  4. クリーンベンチ　日本エアーテック　KTV-840KS
  5. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  6. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  7. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  8. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  9. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  10. ターボ分子ポンプ　BOC EDWARDS　STP-300
2026年5月
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