CVD装置

  1. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  2. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  3. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  4. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300
  5. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  6. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  7. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  8. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  9. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  10. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  1. ターボ分子ポンプ　BOC EDWARDS　STP-300

  2. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  3. 卓上型クリーンブース　アズワン　ピュアスペースPS0…

  4. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
  5. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  6. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH261/TC600

  7. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
  8. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  9. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  10. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…
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