CVD装置

  1. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  2. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  3. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  4. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  5. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  6. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  7. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  8. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  9. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  10. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
  1. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  2. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  3. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  4. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  5. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  6. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  7. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  8. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  9. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  10. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…
2026年3月
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