CVD装置

  1. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  2. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  3. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  4. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  5. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  6. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG
  7. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  8. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  9. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  10. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…
  1. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…
  2. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  3. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  4. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  5. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  6. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  7. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  8. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  9. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  10. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
2026年3月
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