CVD装置

  1. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  2. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  3. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  4. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  5. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  6. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  7. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  8. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  9. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  10. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  1. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  2. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
  3. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
  4. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  5. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  6. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  7. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  8. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  9. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  10. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…
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