CVD装置

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  7. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

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  1. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

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  3. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

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  5. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  6. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  7. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  8. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  9. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  10. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
2026年3月
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