CVD装置

  1. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…
  2. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  3. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  4. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  5. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  6. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  7. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  8. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  9. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  10. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  1. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  2. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  3. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050
  4. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  5. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…
  6. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
  7. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  8. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  9. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  10. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
2026年4月
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