CVD装置

  1. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  2. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  3. デジタルマイクロスコープ　キーエンス　VW-6000 &#8…

  4. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  5. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  6. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  7. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  8. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  9. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  10. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  1. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…
  2. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  3. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  4. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  5. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  6. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  7. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  8. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  9. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  10. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…
2026年3月
月 火 水 木 金 土 日
 1
2345678
9101112131415
16171819202122
23242526272829
3031