CVD装置

  1. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  2. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  3. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  4. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  5. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  6. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  7. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  8. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  9. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  10. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  1. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  2. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  3. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  4. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  5. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
  6. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  7. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  8. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  9. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  10. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　
2026年4月
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