CVD装置

  1. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH
  2. イオンスパッタ装置、日立、E1030

    イオンスパッタ装置　日立製　E-1030

  3. インテリジェントX線測定器　東洋メテック　RaySafe …

  4. RF電源　RF POWER PRODUCTS　RF5S

  5. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  6. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  7. クイックコーター　サンユー電子　SC-701
  8. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  9. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …

  10. 真空オーブン　ヤマト科学　ADP200

  1. チラー 冷却水循環装置　アズワン　LCT-450A

  2. 遠心エバポレーター　アズワン　CVE-2AS

  3. 超音波洗浄装置　カイジョー　HCW-111-25

  4. 四重極質量分析計（Q-MASS）　ファイファー　 QME200

  5. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  6. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  7. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  8. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  9. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  10. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…
2026年6月
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