CVD装置

  1. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  2. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  3. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  4. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  5. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…
  6. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…
  7. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…
  8. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  9. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  10. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  1. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
  2. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  3. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  4. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…
  5. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  6. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  7. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  8. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  9. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  10. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…
2026年3月
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