CVD装置

  1. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  2. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  4. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  5. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  6. 冷却水循環装置（空冷チラー）EYELA製　CA-3110 &#82…
  7. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  8. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  9. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…
  10. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  1. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  2. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…
  3. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  4. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  5. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
  6. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
  7. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  8. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  9. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  10. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…
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