CVD装置

  1. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  2. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  3. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  4. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  5. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  6. 冷却水循環装置（空冷チラー）EYELA製　CA-3110 &#82…
  7. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  8. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  9. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  10. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  1. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  2. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …
  3. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  4. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  5. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  7. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  8. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  9. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  10. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
2026年2月
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