CVD装置

  1. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…
  2. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  3. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  4. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  5. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900
  6. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  7. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  8. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  9. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  10. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  1. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  2. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…
  3. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  4. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  5. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  6. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  7. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  8. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  9. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  10. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
2026年4月
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