CVD装置

  1. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  2. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B
  3. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  4. 真空凍結乾燥機　日本フリーザー　BFD-6F2

  5. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…
  6. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  7. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  8. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  10. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  1. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  2. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  3. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  4. イオンゲージ　電離真空計　アネルバ　M-430HG

  5. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  6. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  7. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  8. VOCセンサー　理研計器　VOC-121H
  9. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  10. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E
2026年6月
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