CVD装置

  1. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  2. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  3. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  4. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  5. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  6. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  7. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  8. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  9. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  10. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  1. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
  2. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  3. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  4. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  5. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
  6. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  7. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)
  8. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  9. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  10. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250
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