CVD装置

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  2. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…
  3. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  4. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  5. バンプボンダー　新川　SBB-110super – [M2309…

  6. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  7. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  8. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  9. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  10. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  1. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  2. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  4. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  5. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  6. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  7. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  8. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  9. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  10. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
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