CVD装置

  1. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  2. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  3. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  5. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  6. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  7. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  8. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  9. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  10. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  1. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  2. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  4. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  5. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  6. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  7. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  8. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  9. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410
2026年3月
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