CVD装置

  1. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  2. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  3. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP
  4. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  5. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  6. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  7. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  8. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  9. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  10. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  1. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  2. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  3. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  4. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  5. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  6. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E
  7. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  8. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
  9. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  10. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250
2026年3月
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