CVD装置

  1. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  3. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  4. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  5. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  6. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  7. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  8. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  9. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  10. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  1. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  2. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  3. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  4. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  5. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  6. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  7. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  8. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  9. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  10. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100
2026年2月
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