CVD装置
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ドライポンプ アルバック製 LR90 – [M240419…
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エアー吸着マット パイオニア風力機 AM-CB/PV1N-15…
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スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
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マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…
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レーザー顕微鏡 キーエンス VK-9510
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超純水製造装置 ミリポア製 Mill-Q Integral 5 -[M…
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真空蒸着機 日本電子(JEOL) JEE-420T
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クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…
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クライオポンプ アルバック製<br>型式:CRYO-U6H (…
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