CVD装置

  1. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  2. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  3. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […
  4. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  5. 真空蒸着装置　アネルバ　EVC-1701

  6. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  7. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  8. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  9. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…
  10. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  1. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…
  2. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  3. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  4. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  6. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  7. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  8. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  9. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  10. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250
2025年12月
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