CVD装置

  1. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  2. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  3. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  4. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  5. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  6. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  7. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…
  8. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  9. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  10. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  1. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  2. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…
  3. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  4. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  5. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  6. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  7. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  8. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  10. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
2026年3月
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