CVD装置

  1. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  2. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  3. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…
  4. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  5. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  6. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  7. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  8. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  9. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  10. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  1. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  2. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…
  3. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  4. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP
  5. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  6. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  7. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  8. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  9. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  10. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
2026年4月
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