CVD装置

  1. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  2. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  3. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  4. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  5. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  6. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  7. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　MAG2000／MAG.DRIVE 200…

  8. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  9. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  10. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  1. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  2. マッチングコントローラー　AS-TECH　RC-11

  3. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  4. 連続式リフロー炉　グローバル　AFD-101A

  5. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  6. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  7. ウェハーマウンター　日東電工　M286N

  8. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  9. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  10. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-500B
2026年5月
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