CVD装置

  1. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  2. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  3. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  4. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  5. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  6. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  7. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  8. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  9. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  10. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  1. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…
  2. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  3. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  4. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  5. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  6. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  7. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  8. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  9. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  10. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
2026年5月
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