CVD装置

  1. 真空蒸着装置　アネルバ　EVC-1701

  2. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  3. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900
  4. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  5. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  6. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  7. ドライポンプ　樫山　NeoDry-30E
  8. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  9. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  10. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  1. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  2. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
  3. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
  4. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…
  5. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  6. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  7. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  8. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  9. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  10. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
2025年12月
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