CVD装置

  1. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  3. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  5. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  6. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  7. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  8. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…
  9. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  10. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  1. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  2. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
  3. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  4. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  5. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
  6. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03
  7. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  8. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
  9. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  10. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
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