CVD装置

  1. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  2. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  3. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  4. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  5. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  6. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  7. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  8. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  9. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…
  10. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  1. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  2. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…
  3. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  4. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  5. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
  6. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  7. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  8. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  9. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  10. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […
2026年4月
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