CVD装置

  1. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  2. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  3. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  4. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]
  5. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  6. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  7. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  8. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  9. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  10. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  1. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  2. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  3. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
  4. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  5. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  7. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
  8. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  9. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  10. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000
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