CVD装置

  1. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  2. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  3. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…
  4. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  5. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  6. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  7. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  8. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  9. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…
  10. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  1. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720
  2. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  3. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  4. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…
  5. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  6. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  7. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  9. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  10. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
2026年3月
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