CVD装置

  1. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  2. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  3. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  4. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  5. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  6. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  7. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  8. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  9. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  10. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  1. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  2. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  3. ウェハーマウンター　日東電工　M286N

  4. サーモカップル真空計　アネルバ　MTG-012

  5. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  6. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　TURBOVAC 361　（コント…

  7. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  8. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  9. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  10. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…
2026年5月
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