CVD装置

  1. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  2. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  3. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  4. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  5. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  6. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  7. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  8. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  9. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  10. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]
  1. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  2. 真空乾燥機　アズワン　AVO-310V

  3. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…
  4. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
  5. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  6. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  7. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  8. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  9. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  10. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
2026年1月
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