CVD装置

  1. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081-[M23041…

  2. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  3. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  4. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  5. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  6. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E
  7. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  8. 真空蒸着装置　アネルバ　EVC-1701

  9. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  10. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  1. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  2. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  4. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
  5. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  6. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  7. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  8. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  9. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  10. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP
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