CVD装置

  1. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  2. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  3. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  4. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  5. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  6. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  8. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  9. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
  10. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…
  1. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
  2. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…
  3. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  4. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…
  5. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…
  6. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
  7. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  8. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  9. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  10. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…
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