CVD装置

  1. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  2. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  3. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  4. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  5. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  6. 遠心エバポレーター　アズワン　CVE-2AS

  7. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  8. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …

  9. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  10. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  1. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  2. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  3. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  4. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  5. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  6. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
  7. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  8. 遠心エバポレーター　アズワン　CVE-2AS

  9. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  10. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050
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