CVD装置

  1. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  2. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  3. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　
  4. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…
  5. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  6. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  7. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  8. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  9. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  10. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  1. 露光装置　日本電池　MAN250NLJ/MRL250SM

  2. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  3. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  4. イオンゲージ　電離真空計　アネルバ　M-430HG

  5. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  6. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  7. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  8. 液晶重ね合わせ装置　中央精機　LCM-ST

  9. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH261/TC600

  10. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E
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