CVD装置

  1. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  2. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  3. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  4. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  5. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  6. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  7. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  8. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  9. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  10. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  1. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  2. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…
  3. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  4. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  5. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  6. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  7. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  8. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  9. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  10. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
2026年1月
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