CVD装置

  1. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
  2. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  4. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  5. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…
  6. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  7. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  8. マイクロ波電源／発振器　IDX　IMG-2503
  9. イオンスパッタ装置、日立、E1030

    イオンスパッタ装置　日立製　E-1030

  10. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  1. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  2. ロータリポンプ　エドワーズ　E2M40

  3. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  4. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …
  5. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  6. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  7. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  8. 真空凍結乾燥機　日本フリーザー　BFD-6F2

  9. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  10. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F
2026年6月
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