CVD装置

  1. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…
  2. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  3. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  4. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  5. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  6. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  7. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  8. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  9. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  10. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  1. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  2. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  3. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
  4. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  5. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  6. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  7. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  9. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
  10. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…
2026年4月
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