CVD装置

  1. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  2. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  3. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  4. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  5. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  6. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  7. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  8. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  9. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  10. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…
  1. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  2. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  3. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  4. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  5. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  6. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  7. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  8. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
  9. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  10. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…
2026年3月
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