CVD装置

  1. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  2. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  3. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  4. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-90…

  5. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
  6. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…
  7. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  8. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…
  9. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …
  10. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  1. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  2. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2
  3. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…
  4. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  5. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…
  6. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  7. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  8. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  9. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  10. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…
2025年12月
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