CVD装置
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真空蒸着機 日本電子(JEOL) JEE-420T
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プラズマ処理装置 神港精機 POEM
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冷却水循環装置(水冷チラー)オリオン機械製 RKS15…
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イナートガスオーブン 光洋サーモシステム製 INH-9…
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恒温恒湿試験器 エスペック PWL-3KP
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産業用ロボットアーム(6軸多関節ロボット)デンソー…
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恒温器(防爆仕様)エスペック ESPEC LU-114
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空冷チラー(冷却水循環装置)EYELA製(東京理化器械…
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デジタルリンクアナライザー ANDO製(安藤)<br>型…
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恒温恒湿槽 エスペック製<br>型式:PR-2KT (M20121…
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プラズマクリーナー ムサシノ電子製(FISCHIONE) …
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スクロールポンプ エドワーズ nXDS10i-[M240628A05]
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AFM – 原子間力顕微鏡 SII(現;日立ハイテク…
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表面研磨機 BUEHLER MetaServ250
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ドライポンプ アルバック製 LR90-[M240419A01]
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マニュアルプローバー 日本マイクロニクス 705B-[M…
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