CVD装置

  1. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  2. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  3. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E
  4. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  5. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  6. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  7. デジタルマイクロスコープ　キーエンス　VW-6000 &#8…

  8. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  9. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  10. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG
  1. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  2. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  3. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  4. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…
  5. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  6. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  7. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  8. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  9. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  10. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050
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