CVD装置

  1. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  2. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  3. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  4. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  5. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  6. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  7. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]
  8. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  9. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  10. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  1. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  2. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  3. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  5. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  6. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  7. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  8. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  9. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  10. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]
2025年12月
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