CVD装置

  1. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  2. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  3. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […
  4. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  5. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  6. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  7. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  8. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  9. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  10. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  1. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  2. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
  3. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
  4. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  5. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  6. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  7. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  8. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z
  9. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  10. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
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