CVD装置

  1. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  2. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
  3. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  4. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-90…

  5. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  6. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  7. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  8. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  9. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  10. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  2. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…
  3. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  4. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
  5. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…
  6. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  7. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  8. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  9. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  10. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]
2025年12月
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