CVD装置

  1. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  2. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  3. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  4. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…
  5. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …
  6. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  7. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  8. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  9. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  10. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  1. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  2. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
  3. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  4. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  5. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  6. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  7. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…
  8. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03
  9. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…
  10. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…
2026年3月
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