CVD装置

  1. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  2. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  4. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  5. クイックコーター　サンユー電子　SC-701

  6. 低温恒温槽　エスペック製　MC-711T

  7. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  8. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  9. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  10. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  1. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  2. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …
  3. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  4. クリーンベンチ　日本エアーテック　KTV-840KS

  5. ロータリポンプ　エドワーズ　E2M40

  6. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ
  7. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  8. クイックコーター　サンユー電子　SC-701

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  10. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…
2026年5月
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