CVD装置

  1. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  2. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  3. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH

  4. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  5. 複合ガス検知器　MultiRAE IR（Multi-GAS MONITOR）…

  6. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  7. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  8. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  9. クイックコーター　サンユー電子　SC-701

  10. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…
  1. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  2. パルスユニット　アルバック　A2KH-25

  3. ターボ分子ポンプ　ファイファー　THM262/TC100

  4. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  5. ドライポンプ　Kashiyama　NeoDry15E

  6. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A
  7. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  8. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-500B

  9. リアルタイムスペクトラムアナライザ　テクトロニク…

  10. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
2026年6月
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