CVD装置

  1. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  2. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  3. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  4. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  5. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  6. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  7. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  8. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  9. ウルトラミクロ電子天秤　メトラートレド　XP2U

  10. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…
  1. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  3. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  4. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100
  5. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  6. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  7. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  8. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  9. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  10. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250
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