CVD装置

  1. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  2. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  3. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  4. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  6. デジタルマイクロスコープ　キーエンス　VW-6000 &#8…

  7. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  8. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  9. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  10. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  1. 真空乾燥機　アズワン　AVO-310V

  2. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  3. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  4. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  5. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050
  6. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  7. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  8. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  9. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  10. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
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