CVD装置

  1. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…
  2. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  3. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  4. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  5. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  6. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  8. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…
  9. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  10. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  1. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100
  2. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  3. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  4. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  7. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  8. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  9. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  10. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …
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