CVD装置

  1. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  2. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-151/EI-151G（コ…

  3. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  4. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  5. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　MAG2000／MAG.DRIVE 200…

  6. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  7. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  8. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  9. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  10. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  1. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  2. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  3. 連続式リフロー炉　グローバル　AFD-101A

  4. 露光装置　日本電池　MAN250NLJ/MRL250SM

  5. イオンゲージ　電離真空計　アネルバ　M-430HG

  6. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…
  7. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  8. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  9. 超音波洗浄装置　カイジョー　HCW-111-25

  10. ロータリポンプ　エドワーズ　E2M40
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