CVD装置
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金型温調機 カワタ製 TW-75LD-[M230317A01]
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RF電源 ノダRFテクノロジーズ NR1N-15B
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デジタルマイクロスコープ キーエンス製<br>型式:V…
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オイルフリースクロールコンプレッサー コベルコ E…
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デジタルリンクアナライザー ANDO製(安藤)<br>型…
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高温恒温槽(イナートオーブン) ヤマト科学 DN-43…
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垂直多関節産業用ロボットアーム デンソーウェーブ…
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産業用ロボットアーム(6軸多関節ロボット)デンソー…
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イナートガスオーブン 光洋サーモシステム製 INH-9…
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クリーンベンチ 日立製<br>型式;PCV1915BE2 (M210…
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スピンコーター ミカサ製 1H-360S
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エアー吸着マット パイオニア風力機 AM-CB/PV1N-15…
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真空蒸着装置 アルバック VPC-260-[M241210A02]
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電離真空計 イオンゲージ アネルバ M-922HG 測定…
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チラー(外部開放系循環装置)ヤマト科学製<br>クー…
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ターボ分子ポンプ PFEIFFER SplitFlow 290/TC110
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反射分光膜厚測定装置 大塚電子 FE-3000
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ドライポンプ アルバック製 LR90 – [M240419…
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クライオポンプ アルバック製<br>型式:CRYO-U6H (…
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パルスヒートユニット – 接合装置 AVIO PHU-…
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