CVD装置

  1. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […
  2. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…
  3. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …
  4. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  5. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  6. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  7. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  8. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  9. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  10. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  1. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
  2. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
  3. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  4. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  5. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  6. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
  7. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  9. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  10. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
2025年10月
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