CVD装置

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  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  4. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  5. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  6. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  7. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  8. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  9. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  10. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  2. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
  3. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  4. クリーンベンチ　日本エアーテック　KTV-840KS

  5. RF電源　RFPP　RF10S

  6. ターボ分子ポンプ　BOC EDWARDS　STP-300

  7. 四重極質量分析計（Q-MASS）　ファイファー　 QME200

  8. パルスユニット　アルバック　A2KH-25

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  10. サーモカップル真空計　アネルバ　MTG-012
2026年5月
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