CVD装置

  1. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  2. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  3. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…
  4. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  5. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
  6. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  7. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  8. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  9. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  10. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  1. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  2. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  3. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  4. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  5. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  6. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  7. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  8. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  10. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
2026年3月
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