CVD装置

  1. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  2. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  3. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  4. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  5. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  6. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  7. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  8. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  9. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]
  10. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  1. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  2. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  3. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  4. サーモカップル真空計　アネルバ　MTG-012

  5. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  6. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH261/TC600

  7. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  8. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  9. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  10. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
2026年5月
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