CVD装置

  1. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  2. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
  3. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  4. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…
  5. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  6. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…
  7. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  9. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  10. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…
  1. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…
  2. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  3. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
  4. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  5. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  6. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  7. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  8. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  9. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2
  10. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
2025年12月
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