CVD装置

  1. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  2. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  3. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  4. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …
  5. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  6. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  7. 真空オーブン　ヤマト科学　ADP200

  8. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…
  9. イオンスパッタ装置、日立、E1030

    イオンスパッタ装置　日立製　E-1030

  10. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …

  1. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  2. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-500B
  3. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  4. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  5. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  6. 四重極質量分析計（Q-MASS）　ファイファー　 QME200

  7. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E
  8. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  9. RF電源　RFPP　RF10S

  10. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
2026年6月
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