CVD装置

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  3. 冷却水循環装置（空冷チラー）EYELA製　CA-3110 &#82…

  4. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  5. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  6. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  7. 表面性試験機　HEIDON　TYPE:14FW

  8. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  9. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  1. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  2. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  3. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  4. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z
  5. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  6. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  7. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  8. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
  9. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

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  10. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…
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