CVD装置

  1. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  2. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  3. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  4. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  5. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  6. 真空凍結乾燥機　日本フリーザー　BFD-6F2

  7. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  8. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  9. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  10. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  1. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  2. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  3. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
  4. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  5. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
  6. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  7. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-151/EI-151G（コ…

  8. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530
  9. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  10. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …
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