CVD装置

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  9. 超低温フリーザー パナソニック MDF-1156AT-[M2411…

  10. ドライポンプ BOC EDWARDS エドワーズ QDP40

  1. オートファインコーター(AUTO FINE COATER)_JOEL_JFC-1600

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  2. ロータリポンプ エドワーズ E2M40

  3. 真空排気装置 アルバック機工 VPC-050

  4. スクロールポンプ エドワーズ nXDS10i-[M240628A05]

  5. マッチングコントローラー AS-TECH RC-11

  6. パルスユニット アルバック A2KH-25

  7. 反射分光膜厚測定装置 大塚電子 FE-3000 

  8. バイオクリーンベンチ ESCO BCB-4E7

  9. FE-SEM 走査型電子顕微鏡 JEOL 日本電子 JSM-6700F

  10. 連続式リフロー炉 グローバル AFD-101A

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