CVD装置

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  10. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410
  2. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  3. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  4. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
  5. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  6. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  7. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  9. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  10. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
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