CVD装置

  1. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  2. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  3. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  4. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  5. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  6. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  7. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…
  8. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  9. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  10. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  1. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  2. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  3. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  4. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  5. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  6. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  7. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  8. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…

  9. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  10. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…
2026年4月
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