CVD装置

  1. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  2. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  3. バンプボンダー　新川　SBB-110super – [M2309…

  4. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  5. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  6. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…
  7. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  8. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  9. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-90…

  10. ドライポンプ　樫山　NeoDry-30E

  1. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  2. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  3. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  4. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  5. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2
  6. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  7. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
  8. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  9. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
  10. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
2025年12月
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