CVD装置

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  10. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

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  2. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  3. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  4. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  5. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  6. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  7. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…
  8. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

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  9. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  10. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z
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