CVD装置

  1. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  2. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  3. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  4. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  5. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  6. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  7. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  8. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  9. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP
  10. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …
  1. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
  2. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  4. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  5. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  6. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  7. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  8. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  9. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720
  10. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
2026年3月
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