CVD装置

  1. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  2. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E
  3. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  4. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  5. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  6. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  7. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  8. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  9. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  10. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  1. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  2. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…
  3. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  4. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  5. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  6. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  7. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  8. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  10. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […
2026年4月
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