CVD装置

  1. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  2. マイクロ波電源／発振器　IDX　IMG-2503

  3. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  4. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  5. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　HiPace700/TC400

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  7. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…
  8. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  9. インテリジェントX線測定器　東洋メテック　RaySafe …

  10. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  1. ロータリポンプ　エドワーズ　E2M40

  2. デジタル・エレクトロメーターDIGTAL ELECTROMETER　…

  3. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  4. 高度加速寿命試験装置（HAST装置）エスペック　EHS-4…

  5. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  6. 露光装置　日本電池　MAN250NLJ/MRL250SM

  7. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  8. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  9. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  10. 卓上型クリーンブース　アズワン　ピュアスペースPS0…
2026年6月
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