CVD装置

  1. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  2. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  3. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  4. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  5. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  6. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  8. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  9. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  10. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  1. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  2. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  3. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  4. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  7. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  8. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  9. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
  10. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…
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