CVD装置

  1. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  2. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　MAG2000／MAG.DRIVE 200…

  3. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  4. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  5. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050
  6. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  7. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100
  8. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  9. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  10. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  1. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  2. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  3. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  4. パルスユニット　アルバック　A2KH-25

  5. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  6. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  7. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  8. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  9. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  10. 露光装置　日本電池　MAN250NLJ/MRL250SM
2026年5月
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