CVD装置

  1. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  2. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900
  3. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  4. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  5. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  6. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  7. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  8. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  9. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  10. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  1. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  2. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  3. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  4. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  6. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  7. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  8. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  9. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  10. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…
2026年2月
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