CVD装置

  1. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  2. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  3. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  4. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  5. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  6. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  7. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  8. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  9. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  10. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
  1. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  2. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  3. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  4. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…
  5. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  6. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  7. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  8. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000
  9. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  10. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…
2026年3月
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