CVD装置

  1. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
  2. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  3. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  4. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  5. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410
  7. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…
  8. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  9. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  10. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  1. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  2. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  3. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  4. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  6. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  7. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  8. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  9. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  10. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)
2026年2月
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