CVD装置

  1. ロックインアンプ　エヌエフ回路設計　5610B

  2. RF電源　RF POWER PRODUCTS　RF5S

  3. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  4. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  5. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  6. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  7. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  8. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  9. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  10. 光学防振台　明立精機　RHS-1209K4CL

  1. 露光装置　日本電池　MAN250NLJ/MRL250SM

  2. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  3. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  4. 連続式リフロー炉　グローバル　AFD-101A

  5. RF電源　RFPP　RF10S

  6. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  7. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  9. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  10. イオンゲージ　電離真空計　アネルバ　M-430HG
2026年6月
月 火 水 木 金 土 日
1234567
891011121314
15161718192021
22232425262728
2930