CVD装置

  1. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  2. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  3. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  4. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  5. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  6. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  7. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…
  8. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  9. デジタルマイクロスコープ　キーエンス　VW-6000 &#8…
  10. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  1. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  2. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  3. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  4. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …
  5. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  6. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  8. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  9. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  10. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…
2026年3月
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