CVD装置

  1. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  2. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  3. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  5. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  6. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  7. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
  8. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  9. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  10. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  1. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  2. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  3. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  4. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
  5. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  7. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  8. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  9. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  10. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […
2026年4月
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