CVD装置

  1. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …

  2. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  3. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  4. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  5. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  6. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  7. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  8. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  9. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  10. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  1. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  2. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  3. チラー 冷却水循環装置　アズワン　LCT-450A

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  5. マッチングコントローラー　AS-TECH　RC-11

  6. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  7. 連続式リフロー炉　グローバル　AFD-101A

  8. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  9. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  10. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
2026年5月
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