CVD装置

  1. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  2. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  3. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  4. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R
  5. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  6. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  7. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  8. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  9. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…
  10. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  1. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
  2. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  3. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  4. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  5. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  6. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  7. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  8. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  9. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  10. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
2026年3月
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