CVD装置

  1. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  2. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  3. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  4. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  5. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  6. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  7. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  8. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  9. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  10. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  1. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  2. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…
  3. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03
  4. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  5. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…
  6. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  7. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
  8. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  9. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  10. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
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