CVD装置

  1. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  2. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  3. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  4. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…
  5. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  6. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  8. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  9. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  10. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  1. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]
  2. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
  3. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  4. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP
  5. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  6. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  7. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  8. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  9. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  10. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…
2025年12月
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