CVD装置

  1. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  2. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  3. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  4. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  5. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  6. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…
  7. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  8. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  9. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  10. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  1. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  2. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …
  3. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  4. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
  5. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  6. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  7. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  8. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  9. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  10. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100
2026年5月
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