CVD装置

  1. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  3. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  4. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  5. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  6. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  7. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  8. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  9. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  10. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  1. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  2. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  3. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  4. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  5. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  6. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  7. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  8. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  9. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  10. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
2025年12月
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