CVD装置

  1. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  2. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  3. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  4. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  5. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  6. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…
  7. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…
  8. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  9. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  10. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E
  1. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  2. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  3. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  4. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
  5. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  6. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  7. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
  8. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…
  9. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…
  10. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…
2026年3月
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