CVD装置

  1. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  2. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  3. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  4. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  5. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  6. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  7. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  8. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  9. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  10. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  1. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  2. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  3. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  4. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
  5. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  6. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  7. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  8. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  9. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  10. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…
2026年3月
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