CVD装置

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  5. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

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    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

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  2. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  3. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)
  4. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  5. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  6. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  7. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  8. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…
  9. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  10. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
2026年3月
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