CVD装置

  1. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  2. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  3. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  4. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  5. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  6. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  7. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  8. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  9. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  10. デジタルマイクロスコープ　キーエンス　VW-6000 &#8…

  1. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  2. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  3. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  4. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  6. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  7. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  8. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  9. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  10. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2
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