CVD装置

  1. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  2. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  3. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  4. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  5. バンプボンダー　新川　SBB-110super – [M2309…
  6. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  7. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  8. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  9. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  10. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…
  1. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  2. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  3. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  4. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  5. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  6. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  7. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  8. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  10. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
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