CVD装置

  1. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  2. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus
  3. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  4. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  5. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  6. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  7. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  8. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  9. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  10. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  1. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  2. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  3. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  4. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  6. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
  7. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
  8. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  9. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  10. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
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