CVD装置

  1. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  2. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  3. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  4. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  5. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  6. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  7. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  8. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  9. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  10. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  1. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  2. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  3. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  4. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  5. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  6. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  7. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  8. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  9. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
  10. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
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