CVD装置

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  3. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
  4. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

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  5. マイクロ波電源／発振器　IDX　IMG-2503

  6. 露光装置　日本電池　MAN250NLJ/MRL250SM

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  10. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J
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