CVD装置

  1. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  2. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  3. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  4. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  5. バンプボンダー　新川　SBB-110super – [M2309…
  6. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  7. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  8. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  9. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  10. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…
  1. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…
  2. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  3. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…
  4. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  5. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  6. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  7. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  10. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2
2025年12月
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