CVD装置

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  2. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…
  3. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

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  4. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  5. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  6. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  7. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  8. ダイサー　ディスコ　DAD522

  9. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  10. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  1. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  2. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  3. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  4. 連続式リフロー炉　グローバル　AFD-101A

  5. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  6. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  7. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  8. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  9. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
  10. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
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