CVD装置

  1. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  2. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  3. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  4. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…
  5. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  6. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…

  7. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  8. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  9. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  10. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　MAG2000／MAG.DRIVE 200…
  1. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  2. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  3. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  4. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  5. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  6. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  7. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-500B

  8. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  9. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  10. スクリュウーコンプレッサー　コベルコ技研　SUKESAN…
2026年5月
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