CVD装置

  1. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  2. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]
  3. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  4. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  5. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  6. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  7. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  8. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  9. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
  10. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  1. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  3. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  4. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  6. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  7. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  8. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  9. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  10. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…
2025年12月
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