CVD装置

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  2. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  3. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…
  4. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  5. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  6. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  7. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…
  8. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  9. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  10. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  1. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  2. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP
  3. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  4. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  5. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  6. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
  7. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  8. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  9. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  10. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…
2026年4月
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