CVD装置

  1. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  2. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E
  3. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  4. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…
  5. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…
  6. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  7. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  8. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  9. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  10. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  1. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  2. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  3. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  4. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  5. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  6. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  7. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  8. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  9. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
  10. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…
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