CVD装置

  1. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  2. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  3. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  4. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
  5. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  6. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  7. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  8. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  9. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  10. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  1. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  2. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  3. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100
  4. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  5. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  6. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  7. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  8. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  9. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  10. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
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