CVD装置

  1. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…
  2. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  3. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  4. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  5. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410
  7. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  8. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  9. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  10. デジタルマイクロスコープ　キーエンス　VW-6000 &#8…

  1. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  2. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  5. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  6. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…
  7. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  8. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  9. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  10. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…
2026年3月
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