CVD装置

  1. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  2. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  3. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  4. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  5. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  6. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  8. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus
  9. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  10. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  1. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  2. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  3. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100
  4. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…
  5. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  6. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  7. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  8. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  9. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  10. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…
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