CVD装置

  1. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  2. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  3. デジタルマイクロスコープ　キーエンス　VW-6000 &#8…

  4. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  5. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  6. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  7. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…
  8. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…
  9. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  10. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  1. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  2. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  4. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  5. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
  6. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  7. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410
  9. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  10. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
2026年1月
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