CVD装置

  1. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  2. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
  3. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  4. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  6. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  7. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  8. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  9. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  10. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  1. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  2. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  4. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  5. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  6. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  7. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  8. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  9. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  10. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
2026年2月
月 火 水 木 金 土 日
 1
2345678
9101112131415
16171819202122
232425262728