CVD装置

  1. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  2. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  3. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  4. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ
  5. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  6. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  7. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  8. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  9. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  10. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  1. ウェハーマウンター　日東電工　M286N

  2. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  3. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  4. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  5. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  6. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  7. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …

  8. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  9. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  10. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　TURBOVAC 361　（コント…
2026年5月
月 火 水 木 金 土 日
 123
45678910
11121314151617
18192021222324
25262728293031