CVD装置

  1. 遠心エバポレーター　アズワン　CVE-2AS
  2. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  3. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  4. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  5. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  6. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　MAG2000／MAG.DRIVE 200…

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  8. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…
  9. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  10. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…
  1. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  2. パルスユニット　アルバック　A2KH-25

  3. 遠心エバポレーター　アズワン　CVE-2AS

  4. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  5. マッチングコントローラー　AS-TECH　RC-11

  6. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  7. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  8. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  9. 液晶重ね合わせ装置　中央精機　LCM-ST

  10. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…
2026年5月
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