CVD装置

  1. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  2. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  3. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  4. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  6. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  7. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  8. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  9. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  10. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  1. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  2. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  3. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  4. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  5. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  6. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  7. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  8. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  9. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
2026年2月
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