CVD装置

  1. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  2. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  3. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  5. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  6. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  7. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  8. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081-[M23041…

  9. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  10. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  2. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  3. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  4. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  5. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  6. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]
  7. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…
  8. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
  9. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  10. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
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