CVD装置

  1. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  2. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  3. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900
  4. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  5. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  6. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  7. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  8. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  9. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  10. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  2. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  3. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  4. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…
  5. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
  6. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  7. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  8. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  9. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  10. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…
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