CVD装置

  1. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  2. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  3. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…
  4. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  5. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  6. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  7. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  8. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  9. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  10. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  1. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  2. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  3. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  4. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  5. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  6. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100
  7. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
  8. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  9. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  10. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03
2026年4月
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