CVD装置

  1. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  2. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  3. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  4. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  5. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  6. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  7. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720
  8. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  9. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  10. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  1. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  2. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…
  3. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
  4. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
  5. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  6. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  7. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…
  8. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  9. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  10. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
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