CVD装置

  1. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  2. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  3. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720
  4. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  5. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  6. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  7. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  8. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  9. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  10. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  1. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH261/TC600

  2. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  3. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  4. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  5. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  6. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  7. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  8. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  9. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-500B

  10. ウェハーマウンター　日東電工　M286N
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