CVD装置

  1. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  2. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  3. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  4. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  5. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  6. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  7. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  8. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  9. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  10. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  2. ウェハーマウンター　日東電工　M286N

  3. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…
  4. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  5. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  6. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  7. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  8. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  9. 露光装置　日本電池　MAN250NLJ/MRL250SM

  10. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…
2026年5月
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