CVD装置

  1. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  2. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  3. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  4. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  5. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  7. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  8. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  9. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  10. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  1. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  2. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  3. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  4. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  6. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  7. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  8. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  9. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
  10. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…
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