CVD装置

  1. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  2. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  3. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  4. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…
  5. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  7. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…
  8. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  9. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z
  10. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  1. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  2. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  4. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250
  5. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
  6. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  7. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
  8. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  9. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  10. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)
2026年3月
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