CVD装置

  1. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  3. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  4. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  5. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100
  6. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  7. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  8. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  9. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  10. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  1. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  2. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  3. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
  4. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  5. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
  6. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  7. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  8. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  9. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  10. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…
2026年3月
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