CVD装置

  1. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  2. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081-[M23041…

  3. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  4. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  5. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  6. 冷却水循環装置（空冷チラー）EYELA製　CA-3110 &#82…

  7. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  8. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  9. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  10. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  1. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  2. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  3. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  4. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
  5. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…
  6. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  7. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  9. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  10. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
2025年11月
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