CVD装置

  1. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  2. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  3. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  4. ウルトラミクロ電子天秤　メトラートレド　XP2U

  5. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  6. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…
  7. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  8. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…
  9. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…
  10. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  1. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  2. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  3. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  4. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  6. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…
  7. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  8. 真空乾燥機　アズワン　AVO-310V

  9. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  10. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
2026年1月
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