CVD装置

  1. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  2. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  3. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  4. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  5. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  6. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  7. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC
  8. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  9. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  10. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…
  1. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  2. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  3. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  4. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  5. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  7. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  8. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  10. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
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