CVD装置

  1. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…
  2. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  3. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  4. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  5. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  6. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  7. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  8. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  9. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  10. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  1. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2
  2. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  3. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  4. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  5. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  6. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  7. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  8. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  9. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  10. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
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