CVD装置

  1. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  2. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  3. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  4. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  5. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  6. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  7. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  8. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  9. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  10. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  1. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  2. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  3. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  4. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  5. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  6. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  7. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  8. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  9. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  10. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…
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