CVD装置

  1. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  2. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…

  3. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  4. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  5. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  6. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  7. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  8. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  9. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  10. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  1. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  2. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  4. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  5. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  6. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  7. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  8. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  9. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  10. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720
2026年4月
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