CVD装置

  1. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  2. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  3. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  4. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  5. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […
  6. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …
  7. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…
  8. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  9. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  10. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  1. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  2. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  3. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  4. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
  5. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  6. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  7. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  8. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  9. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  10. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
2026年3月
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