CVD装置

  1. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  2. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…
  3. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  4. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…
  5. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  6. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  7. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  8. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  9. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…
  10. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  1. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  2. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  3. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  5. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  6. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  7. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  8. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  9. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  10. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …
2026年4月
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