CVD装置

  1. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  2. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  3. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  4. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  5. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  6. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  7. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […
  8. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  9. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  10. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  1. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
  2. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  3. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  4. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  5. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…
  6. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  7. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  8. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  9. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  10. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …
2026年3月
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