CVD装置

  1. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  2. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  3. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  4. 表面性試験機　HEIDON　TYPE:14FW

  5. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  6. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  7. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  8. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  9. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  10. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  1. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  2. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  3. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  4. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  5. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  6. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  7. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  8. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  9. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  10. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050
2026年1月
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