CVD装置

  1. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  2. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  3. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  4. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…
  5. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  6. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  7. ヒュームフード（ドラフトチャンバー）ヤマト科学　M…

  8. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  9. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  10. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  1. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  2. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  3. クリーンベンチ　日本エアーテック　KTV-840KS

  4. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  6. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  7. 電気マッフル炉　島津製作所　MP-15

  8. 液晶重ね合わせ装置　中央精機　LCM-ST

  9. イオンゲージ　電離真空計　アネルバ　M-430HG

  10. チラー 冷却水循環装置　アズワン　LCT-450A
2026年5月
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