CVD装置

  1. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  2. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  3. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
  4. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …
  5. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製　E-1010

  6. 複合ガス検知器　MultiRAE IR（Multi-GAS MONITOR）…

  7. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  8. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  9. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  10. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…
  1. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  2. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  3. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  4. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …

  5. クリーンベンチ　日本エアーテック　KTV-840KS

  6. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  7. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  8. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  9. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  10. ターボ分子ポンプ　ファイファー　THM262/TC100
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