CVD装置

  1. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  2. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  3. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  4. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  5. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  6. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  7. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  8. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…
  9. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  10. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  1. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  2. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  3. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  4. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  5. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  6. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  7. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  8. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  9. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250
  10. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…
2026年3月
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