CVD装置

  1. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  2. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…
  3. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  4. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  5. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  6. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  7. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  8. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  9. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  10. 複合ガス検知器　MultiRAE IR（Multi-GAS MONITOR）…

  1. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  2. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　TURBOVAC 361　（コント…

  3. 連続式リフロー炉　グローバル　AFD-101A

  4. 真空凍結乾燥機　日本フリーザー　BFD-6F2

  5. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  6. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  7. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  8. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-151/EI-151G（コ…

  9. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  10. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020
2026年6月
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