CVD装置
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恒温恒湿槽 エスペック LHL-114
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真空オーブン ヤマト科学 ADP200
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倒立顕微鏡 ニコン – Nikon ECLIPSE TS100
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ドライポンプ アルバック製 LR90 – [M240419…
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真空蒸着装置 アルバック VPC-260-[M241210A02]
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冷却水循環装置(水冷チラー)オリオン機械 RKED220…
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カーボンコーター 日本電子(JEOL) JEC-530
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光学ステージ 各種取り扱い シグマ光機 駿河精機…
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ワイヤーボンダ―(マニュアルボンダー)SMHP機工製 …
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真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置 島…
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バイオクリーンベンチ ESCO BCB-4E7
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エネルギー分散型X線分析装置 島津製作所 EDX-720
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産業用多関節ロボット 三菱電機製<br>型式:RV-4FL-…
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マイクロ波発振器/電源 IDX IMG-5202B
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ターボ分子ポンプ PFEIFFER SplitFlow 290/TC110
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スクロールポンプ エドワーズ nXDS10i-[M240628A05]
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恒温恒湿槽 エスペック製<br>型式:PR-2KT (M20121…
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表面粗さ測定(魔鏡/透明体測定) レイテックス製 …
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AFM – 原子間力顕微鏡 SII(現;日立ハイテク…
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走査電子顕微鏡(卓上SEM)日立ハイテク Miniscope …
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