CVD装置

  1. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  2. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  3. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  4. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  5. デジタルマイクロスコープ　キーエンス　VW-6000 &#8…

  6. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  7. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  8. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  10. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  1. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  2. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  3. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  4. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  5. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  6. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  7. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050
  8. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…
  9. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  10. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
2026年3月
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