CVD装置

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  2. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  3. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  4. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  5. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…
  6. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …
  7. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  8. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  9. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  10. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  1. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  2. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  3. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  4. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  6. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
  7. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  8. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  9. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
  10. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
2026年3月
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