CVD装置

  1. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  2. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  3. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  4. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  5. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  6. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  7. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  8. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  9. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  10. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  1. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  2. マッチングコントローラー　AS-TECH　RC-11

  3. ターボ分子ポンプ　ファイファー　THM262/TC100

  4. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  5. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  6. 液晶重ね合わせ装置　中央精機　LCM-ST

  7. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  8. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  9. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  10. ウェハーマウンター　日東電工　M286N
2026年5月
月 火 水 木 金 土 日
 123
45678910
11121314151617
18192021222324
25262728293031