CVD装置

  1. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  2. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  3. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  4. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  5. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  6. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  7. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  8. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A
  9. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  10. ダイサー　ディスコ　DAD522

  1. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  2. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  3. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  4. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  5. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  6. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  7. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  8. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F
  9. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  10. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
2026年5月
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