CVD装置

  1. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  2. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  4. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  5. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  6. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  7. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…
  8. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  9. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  10. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  1. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  2. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  3. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E
  4. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  5. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  6. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  7. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  8. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
  9. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  10. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
2026年3月
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