CVD装置

  1. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  2. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  3. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  4. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  5. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  6. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  7. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  8. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  9. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  10. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B
  1. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  2. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  4. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  5. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  6. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530
  7. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  8. チラー 冷却水循環装置　アズワン　LCT-450A

  9. ウェハーマウンター　日東電工　M286N
  10. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…
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