CVD装置

  1. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081-[M23041…

  2. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  3. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  4. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  5. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  6. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  7. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  8. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  9. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  10. 表面性試験機　HEIDON　TYPE:14FW

  1. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  2. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  3. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  4. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…
  5. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…
  6. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  7. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  8. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E
  9. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
  10. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
2025年12月
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