CVD装置

  1. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  2. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  3. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…
  4. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  5. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114
  6. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  7. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  8. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  9. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  10. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  1. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […
  2. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  3. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  4. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  5. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  6. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  7. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  8. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  9. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
  10. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…
2026年4月
月 火 水 木 金 土 日
 12345
6789101112
13141516171819
20212223242526
27282930