CVD装置

  1. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  2. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  3. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  4. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  5. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  6. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  7. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…
  8. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  9. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  10. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  1. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  2. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  3. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  4. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  5. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  6. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…
  7. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  8. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
  9. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…
  10. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
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