CVD装置

  1. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…
  2. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  3. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  4. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  5. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  6. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  7. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114
  8. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…
  9. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  10. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…
  1. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  2. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  3. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  4. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  5. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  6. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  7. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  8. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  9. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z
  10. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…
2026年1月
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