CVD装置

  1. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  2. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  3. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  4. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…
  5. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  6. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…
  7. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  8. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  9. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  10. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  1. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  2. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  3. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  4. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  5. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  7. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…
  8. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  9. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  10. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250
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