CVD装置
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レーザー顕微鏡(超深度形状測定顕微鏡)キーエンス…
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ワイヤーボンダ―(マニュアルボンダー)SMHP機工製 …
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ツインコーター JEOL製(日本電子)JEC-550 –…
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ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ Messtek製 …
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デジタルリンクアナライザー ANDO製(安藤)<br>型…
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冷却水循環装置(水冷チラー)オリオン機械製 RKS15…
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デジタルマイクロスコープ キーエンス製<br>型式:V…
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超低温フリーザー パナソニック MDF-1156AT-[M2411…
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超音波洗浄装置-2層式 カイジョー HCW-202-25R
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反射分光膜厚測定装置 大塚電子 FE-3000
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レーザー変位計 KEYENCE LK-G5000/LK-H050
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プラズマクリーナー ムサシノ電子製(FISCHIONE) …
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マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…
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ドライポンプ アルバック製 LR90-[M240419A01]
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スクロールポンプ エドワーズ nXDS10i-[M240628A05]
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クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…
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チラー(外部開放系循環装置)ヤマト科学製<br>クー…
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スパッタ装置 – オートファインコーター 日本…
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ドライポンプ 樫山工業 – KASHIYAMA SDE1203…
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表面研磨機 BUEHLER MetaServ250
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