CVD装置

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410
  2. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  3. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  4. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  5. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  6. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  7. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  8. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  9. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  10. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  1. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  2. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  3. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  4. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
  5. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  6. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  7. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  8. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  9. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  10. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
2026年3月
月 火 水 木 金 土 日
 1
2345678
9101112131415
16171819202122
23242526272829
3031