CVD装置

  1. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  2. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  3. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  4. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  5. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  6. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […
  7. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  9. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  10. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  1. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  2. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  3. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  4. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  5. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  6. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  7. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  9. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  10. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
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