CVD装置

  1. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  2. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  3. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  4. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  5. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  6. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  7. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  8. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  9. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  10. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  1. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
  2. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  3. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  4. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  5. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  6. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…
  7. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  8. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  9. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  10. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
2026年4月
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