CVD装置

  1. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  2. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  3. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]
  4. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  5. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  6. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  7. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
  8. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  9. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  10. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  1. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  2. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  3. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  4. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  5. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  6. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  7. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  8. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  9. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
2025年12月
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