CVD装置

  1. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  2. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  3. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  4. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E
  5. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  6. 低温恒温槽　エスペック製　MC-711T

  7. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  8. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  9. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  10. RO純水製造装置　東洋紡エンジニアリング　TRO-60A

  1. RF電源　RFPP　RF10S

  2. 卓上型クリーンブース　アズワン　ピュアスペースPS0…

  3. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  4. パルスユニット　アルバック　A2KH-25

  5. ロータリーエバポレーター　EYELA　N-1100　付属機器…
  6. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  7. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…
  8. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  9. 連続式リフロー炉　グローバル　AFD-101A

  10. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
2026年5月
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