CVD装置

  1. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  2. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  3. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  4. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  5. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  6. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…
  7. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  8. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  10. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  1. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  2. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
  3. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  5. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  6. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E
  7. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  9. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  10. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…
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