CVD装置
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AFM – 原子間力顕微鏡 SII(現;日立ハイテク…
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パーティクルカウンター リオン製<br>型式:KC-01B …
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AOI基板外観検査装置 inspec製(インスペック)SX10…
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ターボ分子ポンプ(TMP)アルカテル製 5081 –…
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金型温調機 カワタ製 TW-75LD-[M230317A01]
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ワイヤーボンダ―(マニュアルボンダー)SMHP機工製 …
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エリプソメーター 溝尻光学工業 DVA-36L3
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エアー吸着マット パイオニア風力機 AM-CB/PV1N-15…
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反射分光膜厚測定装置 大塚電子 FE-3000
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マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…
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DC電源 – スパッタ電源 EN-Technologies E…
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高温恒温槽(イナートオーブン) ヤマト科学 DN-43…
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パーツフィーダー ダイシン製<br>型式:D-15KFW-03
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恒温恒湿槽 エスペック製<br>型式:PR-2KT (M20121…
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エアー吸着マット パイオニア風力機 AM-CB/PV1N-15…
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スクロールポンプ アルバック製(Ulvac)DIS-251
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真空蒸着機 日本電子(JEOL) JEE-420T
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産業用多関節ロボット 三菱電機製<br>型式:RV-4FL-…
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プラズマCVD装置(プラズマ窒化装置)ワイエス工業製…
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スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
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