CVD装置

  1. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  2. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  3. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…
  4. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…
  5. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  6. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  7. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  8. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  9. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  10. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  1. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…
  2. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  3. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  4. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  5. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  6. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  7. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  9. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  10. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
2026年4月
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