マスクアライナー

  1. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  2. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  3. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  4. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  5. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  6. ウルトラミクロ電子天秤　メトラートレド　XP2U

  7. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  8. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  9. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  10. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  1. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  2. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  3. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
  4. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  5. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  6. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  7. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  8. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)
  9. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  10. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…
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