マスクアライナー
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スカラロボット(4軸)ヤマハ製 YK600XG
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デジタルリンクアナライザー ANDO製(安藤)<br>型…
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真空蒸着装置 アルバック製 VPC-410-[M240325A01]
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イオンスパッタ装置 日立製<br>型式:E-1010 (M2011…
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ドライポンプ/メカブポンプ 樫山製/アルバック製<…
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レーザー顕微鏡(超深度形状測定顕微鏡)キーエンス…
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ターボ分子ポンプ(TMP)ファイファー製 TMU064/TCP…
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プラズマ窒化装置 ワイエス工業製-[M240517A03]
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マイクロ波電源 IDX製 IMG-2503S-[M230622A03]
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ドライポンプ アルバック製 LR90-[M240419A01]
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高信頼性電源(CVCC)菊水電子工業製<br>型式:PAN60…
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産業用多関節ロボット 三菱電機製<br>型式:RV-4FL-…
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ウェハー表面検査装置 Micro MAX System ビジョンサ…
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超低温フリーザー 日本フリーザー製 CLN-35C-[M230…
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イオンミリング装置 日立製(HITACHI)E-3500 [M230…
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バイオクリーンベンチ 日本医科器械<br>型式:VS-16…
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紫外線照射装置(UV照射装置) アイグラフィック製<…
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DC電源 菊水電子製 型式:PAD16-1000LET (M210303…
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クライオポンプ アルバック製<br>型式:CRYO-U6H (…
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プレス機 ミカドテクノス製 MKP-5000D-[M231120A24]
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