プラズマクリーナー

  1. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  2. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  3. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  4. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  5. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  6. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  7. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100
  8. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…
  9. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  10. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  1. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  2. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  3. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  4. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  5. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
  6. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  7. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  8. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  9. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
  10. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…
2026年3月
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