エッチング装置

  1. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  2. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  3. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  4. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  5. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  7. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  8. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  9. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  10. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081-[M23041…

  1. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
  2. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…
  3. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  5. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  6. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  7. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  8. プラズマ窒化装置　ワイエス工業製-[M240517A03]

  9. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  10. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
2025年4月
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