エッチング装置

  1. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  2. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  3. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C
  4. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  5. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  6. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  7. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  8. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  9. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  10. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900
  1. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  2. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  3. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  4. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  5. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  6. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  7. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  8. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  9. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  10. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
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