エッチング装置

  1. 表面粗さ計　テイラーホブソン　NewForm – [M2…

  2. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  3. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  4. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  5. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  6. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  7. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  8. 冷却水循環装置（空冷チラー）EYELA製　CA-3110 &#82…
  9. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
  10. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  2. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  3. プラズマ窒化装置　ワイエス工業製-[M240517A03]

  4. 超音波洗浄装置　カイジョー　HCW-111-25
  5. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…
  6. DC電源・菊水電子工業・PAD10-1000LET（M210303A05）

    DC電源　菊水電子製　型式：PAD16-1000LET （M210303…
  7. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  8. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  9. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
  10. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…
2025年7月
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