エッチング装置

  1. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  2. 表面性試験機　HEIDON　TYPE:14FW

  3. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  4. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  5. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  6. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  7. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  8. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  9. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C
  10. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…
  1. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  3. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…
  4. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  5. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
  6. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
  7. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  9. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  10. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…
2025年11月
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