エッチング装置

  1. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  2. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  3. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-90…

  4. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  5. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  6. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
  7. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  8. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  10. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  1. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  2. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  3. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  4. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  6. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  7. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…
  8. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  9. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  10. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…
2025年12月
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