電子顕微鏡

  1. 複合ガス検知器　MultiRAE IR（Multi-GAS MONITOR）…

  2. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　HiPace700/TC400

  3. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  4. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  5. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  6. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  7. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  8. 恒温槽　エスペック　PH-402

  9. 真空オーブン　ヤマト科学　ADP200

  10. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  1. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  2. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  3. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  4. 連続式リフロー炉　グローバル　AFD-101A

  5. 高度加速寿命試験装置（HAST装置）エスペック　EHS-4…

  6. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  7. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle 10kW

  8. ターボ分子ポンプ　BOC EDWARDS　STP-300

  9. 恒温恒湿槽　ナガノサイエンス　NST-S800
  10. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
2026年7月
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