耐電圧試験機
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真空蒸着装置 アルバック製 VPC-410-[M240325A01]
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マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…
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定温恒温槽(防爆仕様)ヤマト科学 DKN812-[M240104…
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冷却水循環装置(空冷チラー)オリオン機械製 RKE-1…
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真空排気システム 大阪真空製 TG220FVAB PUMPING U…
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ドライエッチング装置 ナノテック製<br>型式:NCP-4…
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スクロールポンプ アルバック製(Ulvac)DIS-251
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プラズマ処理装置 神港精機 POEM
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ターボ分子ポンプ(TMP)ファイファー製 TMU064/TCP…
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ドライポンプ/メカブポンプ 樫山製/アルバック製<…
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スクロールポンプ エドワーズ nXDS10i-[M240628A05]
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真空蒸着装置 日本電子製(JEOL)<br>型式:JEE-400
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プラズマ窒化装置 ワイエス工業製-[M240517A03]
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DC電源 菊水電子製 型式:PAD16-1000LET (M210303…
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ウェハー表面検査装置 Micro MAX System ビジョンサ…
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産業用多関節ロボット 三菱電機製<br>型式:RV-4FL-…
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マニュアルプローバー 日本マイクロニクス 705B-[M…
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プラズマクリーナー ムサシノ電子製(FISCHIONE) …
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バイオクリーンベンチ 日本医科器械<br>型式:VS-16…
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恒温恒湿槽 アドバンテック製 THR040FA-[M240209A1…
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