プラズマクリーナー

  1. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…
  2. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  3. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  4. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  5. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  6. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  7. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  8. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  9. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
  10. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410
  2. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  3. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP
  4. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  6. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  7. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  8. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
  9. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  10. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…
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