プラズマクリーナー

  1. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…
  2. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  3. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  4. ドライポンプ　Kashiyama　NeoDry15E

  5. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  6. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  7. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  8. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  9. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  10. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  1. RF電源　RFPP　RF10S

  2. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  3. ロータリポンプ　エドワーズ　E2M40

  4. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  5. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  6. イオンスパッタ装置、日立、E1030

    イオンスパッタ装置　日立製　E-1030

  7. 露光装置　日本電池　MAN250NLJ/MRL250SM

  8. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  9. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle 12kW

  10. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…
2026年7月
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