プラズマクリーナー

  1. マイクロ波電源／発振器　IDX　IMG-2503

  2. インパルスノイズ試験器　ノイズ研究所-NoiseKen　IN…

  3. ロックインアンプ　エヌエフ回路設計　5610B

  4. 遠心エバポレーター　アズワン　CVE-2AS

  5. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  6. リアルタイムスペクトラムアナライザ　テクトロニク…

  7. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  8. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  9. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  10. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  1. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…
  2. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  3. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  4. ウェハーマウンター　日東電工　M286N

  5. RF電源　RFPP　RF10S

  6. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  7. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  8. ロータリーエバポレーター　EYELA　N-1100　付属機器…

  9. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  10. ターボ分子ポンプ　BOC EDWARDS　STP-300
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