真空コンポーネント

  1. ドライポンプ　樫山　NeoDry-30E

  2. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  3. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  4. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  5. ターボ分子ポンプ排気システム　ファイファー　TSH071

  6. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  7. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  8. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  9. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  10. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  1. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  2. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  3. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  4. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  5. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250
  6. 選択レベル測定器（セレモ）・アンリツ・MS330A-OP01/02（M210114A04）

    選択レベル測定器（セレモ）アンリツ製<br>型式：MS3…

  7. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  8. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  9. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…
  10. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
2025年9月
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