XRF

  1. RF電源　RF POWER PRODUCTS　RF5S

  2. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  3. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  4. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  5. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  6. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  7. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  8. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  9. VOCセンサー　理研計器　VOC-121H

  10. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  1. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  2. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-500B

  3. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  4. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  5. 高度加速寿命試験装置（HAST装置）エスペック　EHS-4…

  6. 液晶重ね合わせ装置　中央精機　LCM-ST
  7. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  8. 露光装置　日本電池　MAN250NLJ/MRL250SM
  9. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  10. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
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