VOCセンサー
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     AOI基板外観検査装置 inspec製(インスペック)SX10… 
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     金型温調機 カワタ製 TW-75LD-[M230317A01] 
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     真空蒸着機 日本電子(JEOL) JEE-420T 
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     垂直多関節産業用ロボットアーム デンソーウェーブ… 
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     真空蒸着/スパッタ共用装置 サンユー電子製<br>型… 
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     恒温恒湿槽 アドバンテック製 THR040FA-[M240209A1… 
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     ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ Messtek製 … 
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     表面研磨機 BUEHLER MetaServ250 
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     イナートガスオーブン 光洋サーモシステム製 INH-9… 
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     プラズマ処理装置 神港精機 POEM 
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     表面研磨機 BUEHLER MetaServ250 
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     産業用多関節ロボット 三菱電機製<br>型式:RV-4FL-… 
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     クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S… 
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     ウェハー表面検査装置 Micro MAX System ビジョンサ… 
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     高信頼性電源(CVCC)菊水電子工業製<br>型式:PAN60… 
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     ドライポンプ 樫山 NeoDry7E 
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     空冷チラー ユニットクーラー オリオン機械 RKS15… 
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     エアー吸着マット パイオニア風力機 AM-CB/PV1N-15… 
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     パーツフィーダー ダイシン製<br>型式:D-15KFW-03 
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     超純水製造装置 ミリポア製 Mill-Q Integral 5 -[M… 
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