真空紫外光

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  2. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  3. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  4. 表面性試験機　HEIDON　TYPE:14FW

  5. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  6. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  7. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…
  8. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  9. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  10. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  1. 電気炉-マッフル炉　ヤマダ電機　Y-2025-P[M240904A1…

  2. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  3. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  5. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  6. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
  7. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  8. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  9. ターボ分子ポンプ排気システム　ファイファー　TSH071

  10. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
2025年8月
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