真空紫外光

  1. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  2. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  3. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  4. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  5. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  6. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  7. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  8. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  9. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  10. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-90…

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  2. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2
  3. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
  4. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…
  5. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
  6. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
  7. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  8. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  9. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  10. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…
2025年11月
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