真空紫外光
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クリーンベンチ 日立製<br>型式;PCV1915BE2 (M210…
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ドライポンプ 樫山 NeoDry36E
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ドライエッチング装置 ナノテック製<br>型式:NCP-4…
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イナートガスオーブン 光洋サーモシステム製 INH-9…
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クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…
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プラズマ窒化装置 ワイエス工業製-[M240517A03]
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プラズマ処理装置 神港精機 POEM
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4槽式超音波洗浄装置 USメック U29-51-Y – […
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デジタルリンクアナライザー ANDO製(安藤)<br>型…
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イオンスパッタ装置 日立製<br>型式:E-1010 (M2011…
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ドライポンプ アルバック製 LR90-[M240419A01]
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マニュアルプローバー 日本マイクロニクス 705B-[M…
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高信頼性電源(CVCC)菊水電子工業製<br>型式:PAN60…
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スクロールポンプ エドワーズ nXDS10i-[M240628A05]
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チラー(外部開放系循環装置)ヤマト科学製<br>クー…
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ドライポンプ 樫山 NeoDry7E
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紫外線照射装置(UV照射装置) アイグラフィック製<…
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恒温恒湿槽 アドバンテック製 THR040FA-[M240209A1…
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真空蒸着装置 アルバック VPC-260-[M241210A02]
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パーツフィーダー ダイシン製<br>型式:D-15KFW-03
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