真空ポンプ

  1. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  2. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  3. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  4. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …

  5. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  6. ヒュームフード（ドラフトチャンバー）ヤマト科学　M…

  7. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  8. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  9. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  10. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  1. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  2. 電気マッフル炉　島津製作所　MP-15

  3. 四重極質量分析計（Q-MASS）　ファイファー　 QME200

  4. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  5. マイクロ波電源／発振器　IDX　IMG-2503

  6. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  7. マッチングコントローラー　AS-TECH　RC-11

  8. チラー 冷却水循環装置　アズワン　LCT-450A

  9. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  10. VOCセンサー　理研計器　VOC-121H
2026年6月
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