紫外線照射装置

  1. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  2. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  3. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  4. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  5. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  6. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…
  7. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
  8. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  9. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  10. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  1. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  2. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  3. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  4. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  5. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
  6. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  7. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  8. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  9. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  10. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
2026年3月
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