紫外線照射装置

  1. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  2. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  3. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  4. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  5. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  6. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  7. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  8. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG
  9. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  10. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  2. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  3. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  4. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  5. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  6. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  7. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  8. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  9. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  10. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
2026年2月
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