紫外線照射装置

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  4. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  5. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  6. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

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  8. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  9. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  10. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  1. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  2. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720
  3. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
  4. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  5. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  6. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  7. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  8. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  10. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…
2026年5月
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