紫外線照射装置

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  5. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  6. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…
  7. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…
  8. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …
  9. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  10. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  1. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…
  2. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  4. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  5. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  6. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  7. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  8. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
  9. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  10. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
2026年4月
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