紫外線照射装置

  1. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  2. ターボ分子ポンプ　大阪真空　TG1003VW／TC1003（コ…

  3. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  4. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  5. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  6. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-151/EI-151G（コ…

  7. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  8. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  9. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  1. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  2. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  3. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  4. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  5. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  6. マッチングコントローラー　AS-TECH　RC-11

  7. ターボ分子ポンプ　ファイファー　THM262/TC100

  8. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  9. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  10. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050
2026年5月
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