紫外線照射装置

  1. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  2. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  3. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  4. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  5. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  6. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  7. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  8. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  9. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  10. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  1. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  3. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  4. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  5. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  6. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…
  7. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  8. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  9. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  10. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
2026年3月
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