紫外線照射装置

  1. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  2. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
  3. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…
  4. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  5. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  6. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  7. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  8. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  9. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  10. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  1. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  2. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  3. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  4. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…

  5. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
  6. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  7. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  9. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
2026年4月
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