紫外線照射装置

  1. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  2. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300
  3. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  4. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  5. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  6. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114
  7. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  8. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  9. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  10. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  2. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  3. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  4. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  5. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  6. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  7. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  8. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  9. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
  10. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
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