紫外線照射装置

  1. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  2. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  3. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  4. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
  5. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  6. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  7. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  8. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  10. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  1. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  2. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  3. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  4. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  5. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…
  6. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  7. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  8. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  10. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
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