紫外線照射装置

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  2. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  3. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  4. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  5. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  6. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  7. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  8. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  9. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  10. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  1. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  2. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  3. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  4. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  5. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
  6. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  7. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  8. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  9. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  10. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
2026年2月
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