紫外線照射装置

  1. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  2. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  3. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  4. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  5. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  6. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  7. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  8. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  9. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…
  10. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  1. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  2. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  3. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  4. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  5. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  6. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  7. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  8. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  9. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
  10. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03
2026年4月
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