紫外線照射装置

  1. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  2. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  3. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…
  4. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  5. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  6. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  7. 複合ガス検知器　MultiRAE IR（Multi-GAS MONITOR）…

  8. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  9. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  10. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  1. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F
  2. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…
  3. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  4. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  5. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  6. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  7. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  8. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  9. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  10. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720
2026年6月
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