紫外線照射装置

  1. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  2. 冷却水循環装置(空冷チラー)オリオン機械製 RKED9…

  3. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着/スパッタ共用装置 サンユー電子製<br>型…

  4. ドライポンプ/メカブポンプ・樫山/アルバック・SD60V II/PMB001CM

    ドライポンプ/メカブポンプ 樫山製/アルバック製<…

  5. 6軸ロボットアーム ファナック製(FANUC)LR Mate 2…

  6. ドライポンプ 樫山 NeoDry36E

  7. 真空排気システム 大阪真空製 TG220FVAB PUMPING U…

  8. マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…

  9. 水晶振動子膜厚コントローラー アルバック CRTM-70…

  10. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421(M210114A05)

    デジタルリンクアナライザー ANDO製(安藤)<br>型…

  1. バイオクリーンベンチ ESCO BCB-4E7

  2. クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…

  3. カーボンコーター 日本電子(JEOL) JEC-530

  4. エネルギー分散型X線分析装置 島津製作所 EDX-720

  5. AFM – 原子間力顕微鏡 SII(現;日立ハイテク…

  6. ターボ分子ポンプ PFEIFFER SplitFlow 290/TC110

  7. 粒子径分布測定装置-粒度分布計 堀場製作所-HORIBA…

  8. マニュアルプローバー 日本マイクロニクス 705B-[M…

  9. イオンスパッタ装置(成膜装置)日立製 E-1020-[M22…

  10. X線回析装置 BURKER ブルカー D2 PHASER – […

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