紫外線照射装置

  1. バンプボンダー　新川　SBB-110super – [M2309…

  2. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  3. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  4. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  5. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  6. 冷却水循環装置（空冷チラー）EYELA製　CA-3110 &#82…

  7. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  8. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  9. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  10. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  2. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  3. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  4. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  5. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  6. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  7. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  8. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  9. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  10. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
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