紫外線照射装置

  1. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  2. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…
  3. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…
  4. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  5. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…
  6. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  7. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  8. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  9. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  10. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  1. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  2. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  3. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  4. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…
  5. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  6. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  7. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  8. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  9. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  10. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
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