紫外線照射装置

  1. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  2. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  3. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  4. 高度加速寿命試験装置（HAST装置）エスペック　EHS-4…
  5. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製　E-1010

  6. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  7. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  8. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  9. クイックコーター　サンユー電子　SC-701

  10. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  1. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  2. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-151/EI-151G（コ…
  3. イオンスパッタ装置、日立、E1030

    イオンスパッタ装置　日立製　E-1030

  4. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  5. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  6. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  7. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  8. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  9. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  10. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-500B
2026年6月
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