紫外線照射装置

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  2. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  3. ヒュームフード（ドラフトチャンバー）ヤマト科学　M…
  4. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  5. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  6. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  7. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  8. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  9. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  10. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  1. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  2. 検査用光源ユニット　ウシオ電機　Optical Modulex　…

  3. 連続式リフロー炉　グローバル　AFD-101A

  4. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  5. 電気マッフル炉　島津製作所　MP-15

  6. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  7. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  8. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J
  9. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  10. クリーンベンチ　日本エアーテック　KTV-840KS
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