紫外線照射装置

  1. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  2. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  3. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  4. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  5. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  6. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  7. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  8. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  10. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  1. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  2. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000
  3. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  4. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250
  5. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  6. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  7. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  8. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  9. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  10. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…
2026年2月
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