紫外線照射装置

  1. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  2. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  3. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  4. ターボ分子ポンプ　大阪真空　TG1003VW／TC1003（コ…

  5. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  6. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  7. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  8. RF電源　RFPP　RF20S

  9. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  10. 高度加速寿命試験装置（HAST装置）エスペック　EHS-4…
  1. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  2. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  3. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  5. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …

  6. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  7. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle 12kW

  8. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  9. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  10. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
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