紫外線照射装置

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    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  5. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  6. ダイサー　ディスコ　DAD522

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  8. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  9. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  10. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  1. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  2. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  3. 連続式リフロー炉　グローバル　AFD-101A

  4. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  5. 遠心エバポレーター　アズワン　CVE-2AS

  6. 露光装置　日本電池　MAN250NLJ/MRL250SM

  7. チラー 冷却水循環装置　アズワン　LCT-450A

  8. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  9. パルスユニット　アルバック　A2KH-25

  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
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