紫外線照射装置

  1. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  2. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  3. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…
  4. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  6. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  7. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  8. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  9. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  10. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  1. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  2. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  3. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  5. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  7. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  8. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  9. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  10. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…
2026年2月
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