紫外線照射装置

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  3. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  4. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  5. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  6. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  7. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  8. デジタルマイクロスコープ　キーエンス　VW-6000 &#8…

  9. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  10. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  1. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  2. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  3. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  4. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  5. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  6. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  7. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…
  8. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  9. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  10. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720
2026年3月
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