紫外線照射装置

  1. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  2. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  3. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  4. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  5. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  6. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  7. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114
  8. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  9. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  10. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  1. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  2. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  3. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  4. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…
  5. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03
  6. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  7. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  9. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  10. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E
2026年3月
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