紫外線照射装置

  1. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  2. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  3. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  4. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C
  5. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  6. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  7. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100
  8. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  9. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  10. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  1. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  3. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  4. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  5. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
  6. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  7. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  8. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  9. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  10. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
2026年4月
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