紫外線照射装置

  1. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  2. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100
  3. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  4. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  5. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  6. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…
  7. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…
  8. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  9. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)
  10. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  1. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250
  2. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  3. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
  4. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  6. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  7. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E
  8. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  9. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  10. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
2026年3月
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