紫外線照射装置

  1. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  2. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  3. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  4. ドライポンプ　Kashiyama　NeoDry15E

  5. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  6. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　MAG2000／MAG.DRIVE 200…

  7. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  8. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  9. 高度加速寿命試験装置（HAST装置）エスペック　EHS-4…

  10. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  1. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-500B

  2. RF電源　RFPP　RF10S

  3. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  4. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  5. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  6. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  7. 液晶重ね合わせ装置　中央精機　LCM-ST

  8. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  9. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  10. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　
2026年6月
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