紫外線照射装置

  1. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  2. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  3. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  4. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  5. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  6. デジタルマイクロスコープ　キーエンス　VW-6000 &#8…
  7. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  8. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  9. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  10. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  1. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…
  2. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  4. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  5. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  6. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  7. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  8. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  9. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  10. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
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