紫外線照射装置

  1. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  2. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  4. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  5. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  6. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  7. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  8. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  9. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  10. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  1. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  2. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  3. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
  4. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  5. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…
  6. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
  7. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
  8. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  9. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  10. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
2026年3月
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