紫外線照射装置

  1. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  2. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  3. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  4. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  5. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  6. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  7. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  8. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  9. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […
  10. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  1. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  2. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  3. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  4. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  5. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  6. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…
  7. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  8. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  9. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  10. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
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