紫外線照射装置

  1. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  2. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  3. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  4. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  5. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  6. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  7. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  8. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  9. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  10. 冷却水循環装置（空冷チラー）EYELA製　CA-3110 &#82…
  1. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  2. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  3. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  4. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  5. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  6. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…
  7. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  8. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  9. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  10. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
2026年2月
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