紫外線照射装置

  1. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  2. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  3. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  4. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  5. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  6. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  7. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  8. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…
  9. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  10. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  1. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  2. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  3. 真空乾燥機　アズワン　AVO-310V

  4. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  5. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  6. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  8. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
  9. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  10. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
2026年1月
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