紫外線照射装置

  1. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  2. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  3. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  4. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  5. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  6. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  7. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]
  8. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  9. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  10. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…
  1. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  2. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  3. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  4. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
  5. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  6. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  7. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  8. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
  9. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  10. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
2026年3月
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