紫外線照射装置

  1. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  2. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  3. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  4. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  5. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  6. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  7. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  8. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  9. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  10. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  1. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
  2. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  3. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  4. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  5. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  6. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  7. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  8. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050
  9. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  10. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
2026年2月
月 火 水 木 金 土 日
 1
2345678
9101112131415
16171819202122
232425262728