紫外線照射装置

  1. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  2. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  3. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  4. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  5. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  6. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  7. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  8. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  9. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  10. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  1. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  2. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  3. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  4. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  5. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  6. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  7. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  8. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  9. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  10. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
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