紫外線照射装置

  1. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  2. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  3. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  4. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  5. ウルトラミクロ電子天秤　メトラートレド　XP2U

  6. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  7. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900
  8. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  9. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  10. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
  1. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
  2. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  3. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  4. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  5. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  6. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  7. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  8. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  9. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP
  10. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
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