紫外線照射装置

  1. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  2. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  3. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  4. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  5. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  6. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  7. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  9. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …
  10. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  2. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  3. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  4. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
  5. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  6. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  8. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  9. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  10. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
2026年4月
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