紫外線照射装置

  1. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  2. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  3. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  4. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  5. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…
  6. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  7. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B
  8. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  9. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH

  10. ターボ分子ポンプ　大阪真空　TG1003VW／TC1003（コ…

  1. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  2. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  3. 液晶重ね合わせ装置　中央精機　LCM-ST

  4. 電気マッフル炉　島津製作所　MP-15

  5. ロータリポンプ　エドワーズ　E2M40
  6. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  7. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-500B

  8. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  9. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
2026年5月
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