紫外線照射装置

  1. 低温恒温槽　エスペック製　MC-711T

  2. SYNCHROTRACK　LOCK-IN AMPLIFIER/VECTOR VOLTMETER…

  3. RO純水製造装置　東洋紡エンジニアリング　TRO-60A
  4. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  5. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  6. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-151/EI-151G（コ…

  7. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  8. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  9. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  10. 複合ガス検知器　MultiRAE IR（Multi-GAS MONITOR）…

  1. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  2. オゾンガスモニター　APPLICS　OZG-EM-010K

  3. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…
  4. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  5. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  6. 液晶重ね合わせ装置　中央精機　LCM-ST

  7. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  8. 連続式リフロー炉　グローバル　AFD-101A

  9. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  10. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J
2026年6月
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