紫外線照射装置

  1. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  2. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  4. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  5. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  6. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…
  7. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  8. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  9. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  10. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  1. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…
  2. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  3. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  4. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…
  5. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  6. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  7. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  8. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  9. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  10. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E
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