紫外線照射装置

  1. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  2. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  3. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  4. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…
  5. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…
  6. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…
  7. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  8. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…
  9. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  10. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  1. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  3. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300
  4. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  5. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
  6. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  7. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  8. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…

  9. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  10. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
2026年4月
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