紫外線照射装置

  1. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  2. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  3. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  4. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  5. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]
  6. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  8. デジタルマイクロスコープ　キーエンス　VW-6000 &#8…

  9. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  10. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…
  1. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  2. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…
  3. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  4. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  5. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  6. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  7. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  8. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  9. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  10. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…
2026年3月
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