紫外線照射装置

  1. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  2. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  3. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  4. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  5. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  6. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410
  8. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…
  9. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  10. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  1. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  2. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E
  3. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  4. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
  5. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  6. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  7. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  8. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  9. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  10. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…
2026年3月
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