紫外線照射装置

  1. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  2. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  3. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  4. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  5. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  6. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  7. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  8. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  9. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  10. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  1. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  2. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  3. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  4. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  5. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  6. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  7. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  9. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  10. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…
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