紫外線照射装置

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  3. プラズマ処理装置 神港精機 POEM

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  5. DC電源 – スパッタ電源 EN-Technologies E…

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  7. プラズマCVD装置(プラズマ窒化装置)ワイエス工業製…

  8. スピンコーター ミカサ製 1H-360S

  9. ドライポンプ 樫山 NeoDry7E

  10. 高真空排気装置 DIAVAC DA-A412Z

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