超音波ボルトテンションモニター

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  4. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  5. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  6. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  7. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  8. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  9. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  10. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  1. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  2. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  3. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  4. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  5. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
  6. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  7. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  8. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  9. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  10. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…
2026年3月
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