RO装置

  1. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  2. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  3. RF電源　RFPP　RF20S

  4. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  5. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  6. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  7. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  8. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  9. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  10. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  1. チラー 冷却水循環装置　アズワン　LCT-450A

  2. 複合ガス検知器　MultiRAE IR（Multi-GAS MONITOR）…

  3. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  4. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  5. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  6. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-151/EI-151G（コ…

  7. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  8. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  9. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…
  10. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
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