RO装置
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AFM – 原子間力顕微鏡 SII(現;日立ハイテク…
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インプリント装置-真空UV式 エンジニアリングシステ…
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インパルスノイズ試験器 ノイズ研究所-NoiseKen IN…
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オイルフリースクロールコンプレッサー コベルコ E…
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クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…
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真空凍結乾燥機 日本フリーザー BFD-6F2
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マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…
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プラズマ処理装置 神港精機 POEM
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カーボンコーター 日本電子(JEOL) JEC-530
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リアルタイムスペクトラムアナライザ テクトロニク…
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バイオクリーンベンチ ESCO BCB-4E7
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空冷チラー(冷却水循環装置)EYELA製(東京理化器械…
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サーモカップル真空計 アネルバ MTG-012
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エネルギー分散型X線分析装置 島津製作所 EDX-720
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クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…
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クライオポンプ アルバック製<br>型式:CRYO-U6H (…
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ターボ分子ポンプ PFEIFFER HiPace700/TC400
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ターボ分子ポンプ PFEIFFER SplitFlow 290/TC110
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高信頼性電源(CVCC)菊水電子工業製<br>型式:PAN60…
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バイオクリーンベンチ 日本医科器械<br>型式:VS-16…
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