精密ろ過装置

  1. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  2. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  3. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  4. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  5. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  6. RF電源　RF POWER PRODUCTS　RF5S

  7. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  8. マイクロ波電源／発振器　IDX　IMG-2503

  9. ロックインアンプ　エヌエフ回路設計　5610B

  10. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  1. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  2. ターボ分子ポンプ　ファイファー　THM262/TC100

  3. 高度加速寿命試験装置（HAST装置）エスペック　EHS-4…

  4. 露光装置　日本電池　MAN250NLJ/MRL250SM

  5. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  6. 連続式リフロー炉　グローバル　AFD-101A

  7. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  8. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  9. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  10. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
2026年7月
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