精密ろ過装置

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    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…
  4. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
  5. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  6. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  7. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  8. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  9. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  10. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081-[M23041…

  1. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  2. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  3. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  4. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
  5. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  6. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  7. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  8. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  9. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
  10. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…
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