精密ろ過装置

  1. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  2. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  3. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  4. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  5. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  6. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  7. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  8. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  9. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  10. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  1. 検査用光源ユニット　ウシオ電機　Optical Modulex　…

  2. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  3. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  4. チラー 冷却水循環装置　アズワン　LCT-450A

  5. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  6. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  7. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  8. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  9. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  10. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP
2026年5月
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