精密ろ過装置

  1. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  2. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  3. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  4. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  5. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  6. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  7. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  8. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  9. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  10. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  1. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  2. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  3. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
  4. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  5. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  6. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  7. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  8. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  9. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
  10. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
2026年6月
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