精密ろ過装置

  1. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3
  2. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  3. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  4. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  5. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  6. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  7. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  8. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  9. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  10. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  1. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  2. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…
  3. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  4. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  5. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  7. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  8. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  9. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  10. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
2026年2月
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