精密ろ過装置

  1. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  2. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  3. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  4. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
  5. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  6. 冷却水循環装置（空冷チラー）EYELA製　CA-3110 &#82…

  7. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  8. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  9. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  10. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  1. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  2. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  3. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  4. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  5. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  6. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  7. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  8. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  9. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  10. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
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