精密ろ過装置

  1. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　MAG2000／MAG.DRIVE 200…

  2. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  3. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  4. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  5. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  6. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  7. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  8. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  9. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  10. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  1. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  2. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  3. ターボ分子ポンプ　BOC EDWARDS　STP-300

  4. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  5. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  6. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  7. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  8. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  9. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  10. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050
2026年5月
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