精密ろ過装置

  1. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  2. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  3. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  4. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  5. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  6. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…
  7. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…
  8. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  9. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  10. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  1. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
  2. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
  3. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  4. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…
  5. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  6. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  7. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  8. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  9. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  10. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…
2026年4月
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