精密ろ過装置

  1. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  2. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  3. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  4. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  5. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…
  6. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  7. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  8. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  9. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  10. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  1. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  2. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  3. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2
  4. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  5. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  6. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  7. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  8. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  9. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-500B

  10. 遠心エバポレーター　アズワン　CVE-2AS
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