精密ろ過装置

  1. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  2. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  3. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  4. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  5. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  6. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  7. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  8. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  9. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  10. デジタルマイクロスコープ　キーエンス　VW-6000 &#8…

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  2. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  3. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  4. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  5. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  6. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250
  7. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  8. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  9. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  10. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…
2026年3月
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