精密ろ過装置

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410
  2. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  3. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  4. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  5. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  6. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  7. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  8. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  9. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…
  10. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  2. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  3. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  4. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  5. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  6. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  7. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  9. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  10. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
2026年3月
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