精密ろ過装置

  1. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  2. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  3. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  4. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  5. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  6. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…
  7. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  8. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  9. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  10. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  1. パルスユニット　アルバック　A2KH-25

  2. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  4. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  5. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  6. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  7. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  8. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  9. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  10. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
2026年5月
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