精密ろ過装置

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  2. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  3. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  4. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  5. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  6. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  7. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
  8. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  9. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  10. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
  1. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  2. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  3. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  4. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  5. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  6. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  7. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
  8. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  9. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  10. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…
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