精密ろ過装置

  1. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  2. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  3. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  5. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  6. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  7. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  8. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG
  9. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  10. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  1. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  2. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
  3. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03
  4. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  6. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…
  7. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  8. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  9. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  10. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
2026年4月
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