精密ろ過装置

  1. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  2. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  3. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG
  4. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  5. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  6. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  7. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  8. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  9. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  10. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  1. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  2. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  3. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  4. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  5. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  6. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  7. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  9. 連続式リフロー炉　グローバル　AFD-101A
  10. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…
2026年5月
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