精密ろ過装置

  1. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  2. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]
  3. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  4. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  5. 冷却水循環装置（空冷チラー）EYELA製　CA-3110 &#82…

  6. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…
  7. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  8. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  9. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-90…

  10. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  1. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  2. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  3. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  4. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  5. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  6. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  7. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  8. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
  9. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
  10. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
2025年12月
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