精密ろ過装置

  1. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  3. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  4. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  5. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  6. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus
  7. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  8. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…
  9. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  10. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  1. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  2. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  3. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  4. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  5. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  6. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  7. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
  8. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…
  9. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  10. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
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