精密ろ過装置

  1. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  2. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  3. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…
  4. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  5. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  6. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…
  7. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  8. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  9. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  10. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  1. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  2. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  3. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  4. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  5. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  6. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  7. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …
  8. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  9. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300
  10. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03
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