精密ろ過装置

  1. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  2. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  3. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  4. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  5. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  6. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  7. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  8. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  9. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  10. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  1. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  2. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F
  3. イオンスパッタ装置、日立、E1030

    イオンスパッタ装置　日立製　E-1030

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  5. ロータリーエバポレーター　EYELA　N-1100　付属機器…

  6. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  7. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  8. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  9. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  10. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…
2026年6月
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