精密ろ過装置

  1. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  2. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  3. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  4. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  5. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  7. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  8. バンプボンダー　新川　SBB-110super – [M2309…
  9. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  10. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  1. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  2. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  3. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  4. 真空乾燥機　アズワン　AVO-310V

  5. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  6. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  7. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  8. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
  9. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
  10. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
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