精密ろ過装置

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  4. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…
  5. イオンコーター・日立・E-1010

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  1. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)
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    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  3. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…
  4. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  5. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…
  6. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  7. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  8. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  9. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  10. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
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