精密ろ過装置

  1. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  2. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  3. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  4. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  5. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  6. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  7. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  8. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  9. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  10. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  1. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…
  2. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  3. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  4. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  5. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  6. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  7. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  8. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  9. ロータリポンプ　エドワーズ　E2M40

  10. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
2026年5月
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