精密ろ過装置

  1. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  2. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  3. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720
  4. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  5. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  6. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  7. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  9. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  10. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  1. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…
  2. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  3. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
  4. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  5. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  6. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  7. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  8. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  9. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  10. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
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