精密ろ過装置

  1. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C
  2. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  3. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  4. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  5. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  6. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  7. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  8. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  10. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  1. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  3. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  4. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  6. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  7. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
  8. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  9. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  10. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…
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