精密ろ過装置

  1. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  2. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  3. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  4. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  5. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  6. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  7. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  8. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  9. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  10. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  1. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  2. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  3. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  4. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  5. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  7. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  8. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  10. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
2026年4月
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