精密ろ過装置

  1. 遠心エバポレーター　アズワン　CVE-2AS

  2. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E
  3. イオンスパッタ装置、日立、E1030

    イオンスパッタ装置　日立製　E-1030

  4. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  5. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  7. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  8. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  9. RF電源　RFPP　RF20S

  10. 光学防振台　明立精機　RHS-1209K4CL

  1. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  2. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  3. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  4. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  5. クイックコーター　サンユー電子　SC-701

  6. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  7. 複合ガス検知器　MultiRAE IR（Multi-GAS MONITOR）…

  8. ターボ分子ポンプ　ファイファー　THM262/TC100

  9. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  10. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
2026年7月
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