フィリップチップボンダー

  1. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  2. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  3. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  4. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  5. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  6. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […
  7. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  8. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  9. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  10. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  1. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …

  2. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  3. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  4. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  5. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  7. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH261/TC600

  8. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  9. 真空凍結乾燥機　日本フリーザー　BFD-6F2
  10. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…
2026年5月
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