フィリップチップボンダー

  1. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C
  2. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…
  3. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  4. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  5. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  6. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  7. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  8. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC
  9. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  10. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  1. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  2. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  3. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  4. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  5. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  6. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  7. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  8. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  9. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  10. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050
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