フィリップチップボンダー

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  2. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…
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    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  4. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  5. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250
  6. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  7. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  8. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  9. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  10. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
2026年3月
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