フィリップチップボンダー

  1. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  2. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  3. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  4. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  5. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]
  6. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  7. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  8. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  9. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  10. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410
  2. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  3. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E
  4. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  5. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  6. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  7. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  8. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  9. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
2026年4月
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