フィリップチップボンダー

  1. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  2. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  3. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  4. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  5. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  6. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  7. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  8. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  9. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  10. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…
  1. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  2. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  3. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  4. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  5. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  6. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  7. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  8. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  9. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  10. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
2026年3月
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