フィリップチップボンダー

  1. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  2. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  3. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  4. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  5. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  6. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  7. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  8. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  9. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  10. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  1. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  2. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
  3. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  4. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  5. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  6. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  7. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  8. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  9. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  10. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
2026年5月
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