フィリップチップボンダー

  1. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  2. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  3. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  4. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  5. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  6. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  7. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  8. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  9. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  10. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  1. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  2. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…
  3. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  4. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  5. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  6. 四重極質量分析計（Q-MASS）　ファイファー　 QME200

  7. クリーンベンチ　日本エアーテック　KTV-840KS

  8. ターボ分子ポンプ　ファイファー　THM262/TC100

  9. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  10. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…
2026年5月
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