フィリップチップボンダー

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  8. 真空オーブン　ヤマト科学　ADP200

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  10. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

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  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  3. 液晶重ね合わせ装置　中央精機　LCM-ST

  4. ウェハーマウンター　日東電工　M286N

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  6. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  7. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  8. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  9. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  10. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…
2026年5月
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