フィリップチップボンダー

  1. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  2. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  3. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  4. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  5. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  6. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  7. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  8. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  9. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  10. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  1. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  2. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  3. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  4. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  5. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  6. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  7. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  8. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  9. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  10. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
2026年2月
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