フィリップチップボンダー

  1. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  2. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  3. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  4. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  5. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  6. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  7. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…
  8. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  9. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  10. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  1. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  2. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  3. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  4. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…
  5. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  6. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  7. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  8. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  9. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  10. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
2026年4月
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