フィリップチップボンダー

  1. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  2. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  3. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  4. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
  5. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  6. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  7. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  8. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  9. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  10. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  2. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  3. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  4. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…
  5. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  6. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  7. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  8. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  9. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  10. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2
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