フィリップチップボンダー

  1. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  2. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  3. バンプボンダー　新川　SBB-110super – [M2309…

  4. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  5. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  6. 表面性試験機　HEIDON　TYPE:14FW

  7. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  8. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  9. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  10. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  1. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  2. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  3. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  4. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  5. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  7. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  8. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  9. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
  10. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…
2025年12月
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