フィリップチップボンダー

  1. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  2. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  3. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  4. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  5. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…
  6. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  7. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  8. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  9. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  10. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  1. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  2. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  3. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …
  4. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  5. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  6. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  7. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  8. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  9. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  10. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E
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