フィリップチップボンダー

  1. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  2. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  3. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  4. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  5. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  6. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  7. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  8. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  9. バンプボンダー　新川　SBB-110super – [M2309…

  10. デジタルマイクロスコープ　キーエンス　VW-6000 &#8…

  1. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  2. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  4. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  5. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  6. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  7. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  8. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  9. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  10. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
2026年2月
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