フィリップチップボンダー

  1. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  2. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  3. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  4. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  5. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  7. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  8. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  9. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  10. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  1. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  2. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  3. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  4. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  5. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  6. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  7. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  8. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  9. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  10. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050
2026年3月
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