フィリップチップボンダー

  1. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081-[M23041…

  2. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…
  3. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  4. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  5. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  6. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  8. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  9. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  10. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  1. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  3. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  4. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
  5. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  6. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  7. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  8. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
  9. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…
  10. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
2025年12月
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