フィリップチップボンダー

  1. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  2. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  3. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  4. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  5. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…
  6. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  7. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  8. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  9. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH

  10. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  1. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  2. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  3. ターボ分子ポンプ　BOC EDWARDS　STP-300

  4. 四重極質量分析計（Q-MASS）　ファイファー　 QME200

  5. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  6. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  7. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  8. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  9. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  10. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
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