フィリップチップボンダー

  1. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410
  3. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  4. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  5. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  6. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　
  7. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  8. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  9. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  10. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  1. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  2. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  3. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  4. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  5. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  6. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  8. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  9. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  10. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
2026年4月
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