フィリップチップボンダー

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  2. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  3. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  4. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  5. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  6. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  7. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  8. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  9. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  10. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  1. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  2. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  3. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
  4. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
  5. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  6. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  7. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  8. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  9. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  10. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
2026年3月
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