フィリップチップボンダー

  1. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  2. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  3. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  4. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  5. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  6. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  7. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  8. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  9. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  10. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  1. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  2. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  3. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  4. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  5. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  6. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  7. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  8. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  9. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  10. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…
2026年4月
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