フィリップチップボンダー

  1. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  2. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  3. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  5. バンプボンダー　新川　SBB-110super – [M2309…

  6. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  8. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  9. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  10. 表面性試験機　HEIDON　TYPE:14FW

  1. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  2. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  3. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  4. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  5. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  6. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  7. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  8. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  9. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  10. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…
2026年1月
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