フィリップチップボンダー

  1. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  2. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081-[M23041…

  3. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…
  4. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  5. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC
  6. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  7. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  8. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C
  9. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  10. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  1. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  2. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  3. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  4. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  5. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  6. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  7. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  8. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  9. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…
  10. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
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