フィリップチップボンダー

  1. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  2. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  3. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  4. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  5. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  6. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  7. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  8. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  9. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  10. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…
  1. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  2. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  3. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  4. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  5. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  6. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  7. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  8. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  9. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  10. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
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