フィリップチップボンダー

  1. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  2. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  3. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  4. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  6. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…
  7. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  8. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  9. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
  10. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  1. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250
  2. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
  3. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  4. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  5. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  6. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  7. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  8. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
  9. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  10. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…
2026年3月
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