フィリップチップボンダー

  1. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  2. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  3. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  4. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH

  5. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  6. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  7. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  8. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  9. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  10. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  1. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  2. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  3. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …

  4. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  5. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…
  6. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  7. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  8. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  10. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
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