フィリップチップボンダー

  1. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  2. 真空蒸着装置 アルバック VPC-410

  3. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ アルバック製(Ulvac)DIS-251

  4. 冷却水循環装置(水冷チラー)オリオン機械 RKED220…

  5. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー JEOL…

  6. 恒温恒湿槽 エスペック LHL-114 

  7. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ 日立製<br>型式;PCV1915BE2 (M210…

  8. プラズマCVD装置(プラズマ窒化装置)ワイエス工業製…

  9. 恒温器(防爆仕様)エスペック ESPEC LU-114

  10. RF電源 ノダRFテクノロジーズ NR1N-15B

  1. 赤外線ランプ加熱装置 アドバンス理工 QHC-P610CP

  2. AFM – 原子間力顕微鏡 SII(現;日立ハイテク…

  3. スピンコーター ミカサ製 1H-360S

  4. ドライポンプ 樫山工業 – KASHIYAMA SDE1203…

  5. ドライポンプ 樫山 NeoDry7E

  6. マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…

  7. 真空蒸着装置 アルバック VPC-410

  8. オートファインコーター(スパッタ装置)日本電子(JE…

  9. 表面粗さ測定(魔鏡/透明体測定) レイテックス製 …

  10. プラズマ処理装置 神港精機 POEM

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