フィリップチップボンダー

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  2. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  3. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  4. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  5. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  6. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  7. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  8. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  9. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  10. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  1. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  2. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  3. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  4. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
  5. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  6. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  7. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  8. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  9. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  10. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…
2026年3月
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