フィリップチップボンダー

  1. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  2. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  3. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  4. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  5. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  6. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  7. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  8. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  9. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  10. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  1. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…
  2. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  3. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
  4. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  5. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…
  6. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  7. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  8. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300
  9. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  10. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530
2026年4月
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