フィリップチップボンダー

  1. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…
  2. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  3. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  4. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  5. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  6. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  7. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  8. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  9. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  10. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  2. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  3. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  4. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
  5. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  6. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
  7. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  8. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  9. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  10. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…
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