フィリップチップボンダー

  1. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  2. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…
  3. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  4. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…
  5. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  6. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  7. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  8. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  9. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  10. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  1. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  2. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  3. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  4. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
  5. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  6. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
  7. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  8. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  9. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  10. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E
2026年3月
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