フィリップチップボンダー

  1. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  2. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  3. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  4. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  5. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  6. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  8. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  9. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  10. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  1. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E
  2. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
  3. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
  4. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  5. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  6. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…
  7. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  8. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  9. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  10. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
2026年4月
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