フィリップチップボンダー

  1. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  2. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  3. 真空オーブン　ヤマト科学　ADP200

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  5. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  6. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  7. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  8. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  9. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　MAG2000／MAG.DRIVE 200…

  10. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  1. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle 12kW

  2. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  3. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  4. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  5. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　TURBOVAC 361　（コント…

  6. 露光装置　日本電池　MAN250NLJ/MRL250SM

  7. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  8. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  9. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  10. RF電源　RFPP　RF10S
2026年5月
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