フィリップチップボンダー

  1. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  2. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  3. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  4. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  5. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  6. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  7. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  8. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  9. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…
  10. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  1. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  2. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  3. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  4. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  5. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  6. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  7. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  8. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  9. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  10. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…
2026年3月
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