フィリップチップボンダー

  1. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  2. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  3. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  4. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  5. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  6. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  7. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  8. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  9. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　MAG2000／MAG.DRIVE 200…

  10. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  1. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  2. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  3. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  4. 検査用光源ユニット　ウシオ電機　Optical Modulex　…

  5. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  6. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
  7. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  8. 液晶重ね合わせ装置　中央精機　LCM-ST

  9. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  10. 真空凍結乾燥機　日本フリーザー　BFD-6F2
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