フィリップチップボンダー

  1. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  2. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  3. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  4. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  6. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  7. 冷却水循環装置（空冷チラー）EYELA製　CA-3110 &#82…

  8. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
  9. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  10. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  1. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  2. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  3. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  4. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  5. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  6. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  7. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  8. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  9. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  10. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…
2025年11月
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