フィリップチップボンダー

  1. 低温恒温槽　エスペック製　MC-711T

  2. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  3. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  4. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  5. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  6. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH

  7. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  8. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  9. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  10. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  1. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  2. 検査用光源ユニット　ウシオ電機　Optical Modulex　…

  3. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  4. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  6. ターボ分子ポンプ　BOC EDWARDS　STP-300

  7. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  8. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  9. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  10. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A
2026年5月
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