フィリップチップボンダー

  1. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  2. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  3. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  4. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  5. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  6. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  7. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  8. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  9. ターボ分子ポンプ　大阪真空　TG1003VW／TC1003（コ…

  10. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  1. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  2. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020

  3. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  4. 液晶重ね合わせ装置　中央精機　LCM-ST

  5. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  6. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  7. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  8. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  9. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  10. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…
2026年6月
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