フィリップチップボンダー

  1. 真空オーブン　ヤマト科学　ADP200

  2. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  3. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  4. ダイサー　ディスコ　DAD522

  5. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  6. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  7. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  8. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  9. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…
  10. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  1. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  2. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […
  3. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  5. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  6. マッチングコントローラー　AS-TECH　RC-11

  7. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  8. チラー 冷却水循環装置　アズワン　LCT-450A

  9. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  10. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…
2026年5月
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