フィリップチップボンダー

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  2. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

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  4. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

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  7. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-151/EI-151G（コ…

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  9. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  10. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  1. ロータリポンプ　エドワーズ　E2M40

  2. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A
  3. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  4. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  5. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  6. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  7. ロータリーエバポレーター　EYELA　N-1100　付属機器…

  8. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020

  9. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  10. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-151/EI-151G（コ…
2026年5月
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