フィリップチップボンダー

  1. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  2. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  3. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  4. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  5. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  6. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  7. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  8. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  9. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  10. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  1. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  2. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A
  3. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
  4. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  5. 電気マッフル炉　島津製作所　MP-15

  6. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  7. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　TURBOVAC 361　（コント…

  8. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  9. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  10. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F
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