フィリップチップボンダー

  1. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  2. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  3. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  5. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  6. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  7. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  8. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  9. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  10. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  1. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  2. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  3. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  4. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  5. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  6. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z
  7. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  8. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  10. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
2026年1月
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