フィリップチップボンダー

  1. ターボ分子ポンプ　大阪真空　TG1003VW／TC1003（コ…

  2. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  4. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  5. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  6. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  7. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  8. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  9. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  10. 遠心エバポレーター　アズワン　CVE-2AS

  1. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  2. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  3. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  4. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J
  5. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  7. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  8. チラー 冷却水循環装置　アズワン　LCT-450A

  9. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  10. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
2026年5月
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