フィリップチップボンダー

  1. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  2. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-90…
  3. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  4. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  5. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081-[M23041…

  6. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  7. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…
  8. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  9. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  10. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  1. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  2. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  3. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  4. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  5. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  6. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  7. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  8. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  9. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
  10. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…
2025年12月
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