フィリップチップボンダー

  1. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  2. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…
  3. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  4. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…
  5. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  6. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250
  7. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  8. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  9. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  10. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  1. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
  2. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  3. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  4. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  5. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  6. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  7. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…
  8. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  9. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…
  10. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
2026年3月
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