フィリップチップボンダー

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  2. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  3. イオンスパッタ装置(成膜装置)日立製 E-1020-[M22…

  4. マイクロ波電源 アドテック製 ARP Series-[M230622…

  5. RF Plasma Generator MKS/ENI ELITE-300

  6. エネルギー分散型X線分析装置 島津製作所 EDX-720

  7. スピンコーター ミカサ製 1H-360S

  8. DC電源 – スパッタ電源 EN-Technologies E…

  9. AFM – 原子間力顕微鏡 SII(現;日立ハイテク…

  10. 真空蒸着装置 アルバック VPC-410

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