フィリップチップボンダー

  1. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  2. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  3. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  4. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  5. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  6. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  7. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  8. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  9. ウルトラミクロ電子天秤　メトラートレド　XP2U

  10. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  1. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  2. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  3. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E
  4. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  5. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  6. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  7. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  8. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…
  9. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  10. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP
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