フィリップチップボンダー

  1. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  2. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]
  3. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  4. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  5. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  6. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  7. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  8. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  9. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  10. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  1. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  2. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  3. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…
  4. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  5. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  6. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  7. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z
  8. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  9. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050
  10. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
2026年3月
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