フィリップチップボンダー

  1. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  3. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  4. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  5. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  6. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  7. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…
  8. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …
  9. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  10. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  1. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  2. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  3. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  4. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  5. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  6. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  7. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
  8. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  9. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  10. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
2026年4月
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