フィリップチップボンダー

  1. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  2. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  3. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  4. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  5. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  6. 冷却水循環装置（空冷チラー）EYELA製　CA-3110 &#82…

  7. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  8. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  9. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]
  10. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  1. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  2. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  4. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  5. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  6. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  7. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  8. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  9. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  10. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000
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