フィリップチップボンダー

  1. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…
  2. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …
  3. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製　E-1010

  4. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  5. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  6. RF電源　RF POWER PRODUCTS　RF5S

  7. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  8. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  9. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  10. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  1. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  2. 超音波洗浄装置　カイジョー　HCW-111-25

  3. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  4. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J
  5. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…
  6. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  7. ドライポンプ　Kashiyama　NeoDry15E

  8. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  9. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  10. デジタル・エレクトロメーターDIGTAL ELECTROMETER　…
2026年6月
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