フィリップチップボンダー

  1. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  2. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  3. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530
  4. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  5. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  6. ヒーター式インキュベーター　PHC　MIR-H163-PJ

  7. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　MAG2000／MAG.DRIVE 200…

  8. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  9. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  10. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  1. 超音波洗浄装置　カイジョー　HCW-111-25

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  3. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  4. ウェハーマウンター　日東電工　M286N

  5. ターボ分子ポンプ　BOC EDWARDS　STP-300

  6. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  7. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  8. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …
  9. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  10. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
2026年6月
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