フィリップチップボンダー

  1. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  2. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  3. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  4. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…
  5. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…
  6. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  7. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  8. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  9. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  10. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  1. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  2. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  3. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  4. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  5. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  6. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  7. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  8. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2
  9. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
  10. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03
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