フィリップチップボンダー

  1. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  2. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020

  3. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  4. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  5. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  6. リアルタイムスペクトラムアナライザ　テクトロニク…

  7. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…
  8. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  9. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  10. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  1. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  2. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  3. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  4. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  5. マッチングコントローラー　AS-TECH　RC-11

  6. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  7. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-151/EI-151G（コ…

  8. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  9. デジタル・エレクトロメーターDIGTAL ELECTROMETER　…

  10. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…
2026年6月
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