フィリップチップボンダー

  1. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  2. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  3. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  4. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  5. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  6. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  7. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  8. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  9. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  10. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  1. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  2. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  3. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  4. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  5. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  6. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  7. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…
  8. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  9. ロータリポンプ　エドワーズ　E2M40

  10. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
2026年5月
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