フィリップチップボンダー

  1. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  2. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  3. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…
  4. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  5. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…
  6. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  7. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  8. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  9. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  10. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C
  1. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  2. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…
  3. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  4. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  5. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  6. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
  7. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  8. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  9. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  10. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…
2026年4月
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