フィリップチップボンダー

  1. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  2. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  3. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  5. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  6. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  7. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  8. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  9. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  10. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  1. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  2. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  3. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  4. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  5. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  6. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  7. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  9. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z
  10. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
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