フィリップチップボンダー

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  3. プラズマ処理装置 神港精機 POEM

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  5. 協調ロボットアーム オムロン TM5-900

  6. DC電源 – スパッタ電源 EN-Technologies E…

  7. プラズマクリーナー サムコ PC-300

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  2. 空冷チラー(冷却水循環装置)EYELA製(東京理化器械…

  3. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ アルバック製(Ulvac)DIS-251

  4. 恒温恒湿試験器 エスペック PWL-3KP

  5. スピンコーター ミカサ製 1H-360S

  6. 四重極質量分析計(Q-MASS) ファイファー  QME200

  7. クリーンベンチ 日本エアーテック KTV-840KS

  8. ターボ分子ポンプ ファイファー THM262/TC100

  9. 表面粗さ測定(魔鏡/透明体測定) レイテックス製 …

  10. EPMA 電子線マイクロアナライザー 島津製作所 EPMA…

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