フィリップチップボンダー

  1. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  2. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  3. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  4. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…
  5. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  6. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…
  7. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  8. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  9. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  1. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…
  2. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  3. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  4. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  5. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  7. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  9. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  10. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
2026年4月
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