フィリップチップボンダー

  1. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  2. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  3. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  4. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  5. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  6. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  7. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  9. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  10. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  2. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  3. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  4. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  5. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  6. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  7. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  8. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  9. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  10. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…
2026年4月
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