フィリップチップボンダー

  1. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  2. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  3. 冷却水循環装置（空冷チラー）EYELA製　CA-3110 &#82…

  4. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  5. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  6. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  7. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  8. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  9. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  10. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  1. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  2. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  3. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  4. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…
  5. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  6. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  7. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000
  8. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
  9. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  10. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
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