フィリップチップボンダー

  1. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  2. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  3. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  4. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  5. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  7. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  8. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  9. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  10. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…
  1. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  2. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  3. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  4. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…
  5. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…
  6. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  7. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  8. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  9. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  10. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
2026年4月
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