フィリップチップボンダー

  1. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…
  2. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…
  3. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  4. 冷却水循環装置（空冷チラー）EYELA製　CA-3110 &#82…

  5. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  6. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  7. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  8. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410
  10. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  1. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250
  2. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  3. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  4. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  5. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  6. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  7. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  8. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  9. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  10. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)
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