フィリップチップボンダー

  1. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  2. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  3. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  4. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  5. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  6. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  7. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  8. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  9. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  10. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  1. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　HiPace700/TC400
  2. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  3. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  4. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  5. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  6. イオンゲージ　電離真空計　アネルバ　M-430HG

  7. ロータリポンプ　エドワーズ　E2M40

  8. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  9. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  10. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
2026年5月
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