フィリップチップボンダー

  1. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  2. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  3. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  4. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  5. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  6. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  8. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  9. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  10. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  2. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  3. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  4. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  5. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  6. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  7. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…
  8. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  9. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  10. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
2026年4月
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