フィリップチップボンダー

  1. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  2. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  3. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  4. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  5. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  6. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  7. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
  8. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  9. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  10. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  1. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  2. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  3. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  4. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  5. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  6. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  7. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  8. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100
  9. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  10. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
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