フィリップチップボンダー

  1. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
  2. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…
  3. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  4. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…
  5. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…
  6. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  8. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…
  9. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  10. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  1. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  2. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  3. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  4. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  5. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …
  6. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  7. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  8. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  9. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  10. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
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