フィリップチップボンダー

  1. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  2. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  3. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
  4. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  5. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  6. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  7. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  8. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  9. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  10. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  1. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  2. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  3. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  4. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  5. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  6. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  7. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  8. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050
  9. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  10. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
2026年3月
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