フィリップチップボンダー

  1. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  2. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  3. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  4. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  5. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  6. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  7. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  8. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R
  9. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  10. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  1. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  2. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  3. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  4. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  6. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  7. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  8. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  9. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  10. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
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