フィリップチップボンダー

  1. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  2. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…
  3. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  4. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081-[M23041…

  5. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  6. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  7. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  8. バンプボンダー　新川　SBB-110super – [M2309…

  9. ドライポンプ　樫山　NeoDry-30E

  10. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  1. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  2. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  3. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  4. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  5. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  6. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  8. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  9. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  10. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
2025年12月
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