フィリップチップボンダー

  1. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  2. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  3. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  4. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  5. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  6. デジタルマイクロスコープ　キーエンス　VW-6000 &#8…

  7. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  8. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  9. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E
  10. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  1. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  2. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  3. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  4. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  5. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  6. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…
  7. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  8. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  9. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410
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