フィリップチップボンダー

  1. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  2. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  3. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  5. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  6. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  7. RF電源　RF POWER PRODUCTS　RF5S

  8. 真空凍結乾燥機　日本フリーザー　BFD-6F2

  9. 低温恒温槽　エスペック製　MC-711T

  10. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  1. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  2. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  3. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  4. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  5. サーモカップル真空計　アネルバ　MTG-012

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  7. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  8. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300
  9. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  10. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
2026年6月
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