pH複合計

  1. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  2. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  3. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  4. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  5. ドライポンプ　樫山　NeoDry-30E
  6. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …
  7. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  8. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  9. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  10. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  1. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  2. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  3. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  4. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
  5. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  7. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03
  8. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  9. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  10. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
2025年12月
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