pH複合計

  1. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  2. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  3. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  4. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  5. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  6. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  7. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  9. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  10. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  1. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  2. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  3. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  4. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  5. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  6. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  7. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  8. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
  9. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  10. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
2026年3月
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