pH複合計

  1. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  2. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  3. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  4. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  5. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  6. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  7. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  8. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  9. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  10. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …
  1. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…
  2. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  3. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  4. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  5. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  6. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  7. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  8. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  9. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  10. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
2025年11月
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