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冷却水循環装置(水冷チラー)オリオン機械製 RKS15…
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イナートオーブン エスペック IPHH-202M-[M250215A…
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AOI基板外観検査装置 inspec製(インスペック)SX10…
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電離真空計 イオンゲージ アネルバ M-922HG 測定…
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ドライエッチング装置 ナノテック製<br>型式:NCP-4…
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真空蒸着/スパッタ共用装置 サンユー電子製<br>型…
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真空蒸着装置 日本電子製(JEOL)<br>型式:JEE-400
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表面研磨機 BUEHLER MetaServ250
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バイオクリーンベンチ ESCO BCB-4E7
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産業用多関節ロボット 三菱電機製<br>型式:RV-4FL-…
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紫外線照射装置(UV照射装置) アイグラフィック製<…
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