pH複合計

  1. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  2. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  3. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  4. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]
  5. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  6. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  7. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  8. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  9. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  10. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  1. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  2. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  3. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  4. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  5. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  6. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  7. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  8. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  9. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
  10. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
2025年11月
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