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ドライポンプ アルバック製 LR90 – [M240419…
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冷却水循環装置(水冷チラー)オリオン機械 RKED220…
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エネルギー分散型X線分析装置 島津製作所 EDX-720
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ドライエッチング装置 ナノテック製<br>型式:NCP-4…
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バンプボンダー 新川 SBB-110super – [M2309…
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真空蒸着/スパッタ共用装置 サンユー電子製<br>型…
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倒立顕微鏡 ニコン – Nikon ECLIPSE TS100
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高真空排気装置 DIAVAC DA-A412Z
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ターボ分子ポンプ 島津製作所 TMP-803LM(O)
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プラズマCVD装置(プラズマ窒化装置)ワイエス工業製…
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恒温恒湿槽 エスペック製<br>型式:PR-2KT (M20121…
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倒立顕微鏡 ニコン – Nikon ECLIPSE TS100
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スクロールポンプ アルバック製(Ulvac)DIS-251
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高信頼性電源(CVCC)菊水電子工業製<br>型式:PAN60…
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イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー JEOL…
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クライオポンプ アルバック製<br>型式:CRYO-U6H (…
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高真空排気装置 DIAVAC DA-A412Z
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真空蒸着装置 アルバック VPC-260-[M241210A02]
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マイクロ波電源 アドテック製 ARP Series-[M230622…
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クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…
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