pH複合計

  1. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  2. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  4. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  5. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…
  6. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  7. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  8. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  9. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  10. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  1. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  2. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  3. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  4. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  5. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  6. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…
  7. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  8. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  9. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  10. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250
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