pH複合計

  1. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  2. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  3. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  4. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  6. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  7. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  8. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  9. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  10. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  2. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  3. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
  4. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  5. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  6. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  7. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  8. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  9. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  10. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)
2026年3月
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