pH複合計

  1. 表面性試験機　HEIDON　TYPE:14FW

  2. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  3. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  4. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  5. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
  6. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  7. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  8. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  9. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  10. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  1. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …
  2. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  3. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]
  4. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  5. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
  6. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  7. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  8. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  9. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  10. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…
2025年12月
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