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冷却水循環装置(空冷チラー)EYELA製 CA-3110 R…
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イナートオーブン エスペック IPHH-202M-[M250215A…
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真空蒸着機 日本電子(JEOL) JEE-420T
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レーザー測定器 レーザー変位計 キーエンス LT-90…
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ダイボンダ―(マニュアルボンダー)SMHP機工製 型式…
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ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ Messtek製 …
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超音波洗浄装置-2層式 カイジョー HCW-202-25R
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プラズマ処理装置 神港精機 POEM
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ターボ分子ポンプ(TMP)アルカテル製 5081-[M23041…
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真空蒸着/スパッタ共用装置 サンユー電子製<br>型…
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恒温恒湿槽 アドバンテック製 THR040FA-[M240209A1…
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プラズマCVD装置(プラズマ窒化装置)ワイエス工業製…
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表面粗さ測定(魔鏡/透明体測定) レイテックス製 …
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恒温恒湿槽 エスペック製<br>型式:PR-2KT (M20121…
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エアー吸着マット パイオニア風力機 AM-CB/PV1N-15…
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クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…
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クライオポンプ アルバック製<br>型式:CRYO-U6H (…
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電離真空計 イオンゲージ アネルバ M-922HG 測定…
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AFM – 原子間力顕微鏡 SII(現;日立ハイテク…
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真空蒸着装置 日本電子製(JEOL)<br>型式:JEE-400
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