PDV装置

  1. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  2. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…
  3. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…
  4. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  5. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  6. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  7. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  8. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  9. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  10. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  1. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  3. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  4. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  5. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  6. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  7. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  8. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  9. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  10. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
2026年3月
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