PDV装置

  1. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…
  2. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  3. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  4. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  5. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  6. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  7. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  8. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  9. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  1. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  2. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  3. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  4. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
  5. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  6. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  7. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  8. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  9. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  10. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250
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