ナノインプリント

  1. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  2. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  3. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081-[M23041…

  4. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  5. ドライポンプ　樫山　NeoDry-30E

  6. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  7. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  9. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  10. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  2. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  3. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  4. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  5. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  6. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  7. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  8. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250
  9. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  10. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…
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