レーザー干渉計

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  2. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  3. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH

  4. 真空オーブン　ヤマト科学　ADP200

  5. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  6. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

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  8. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  9. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  10. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  1. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  2. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  3. クリーンベンチ　日本エアーテック　KTV-840KS

  4. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  5. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  6. ウェハーマウンター　日東電工　M286N

  7. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  8. 連続式リフロー炉　グローバル　AFD-101A

  9. 卓上型クリーンブース　アズワン　ピュアスペースPS0…

  10. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050
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