レーザー干渉計

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  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  6. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  7. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  8. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  9. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  10. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)
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