高周波発振器

  1. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  2. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  3. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  4. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  5. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  6. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  7. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…
  8. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  9. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  10. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  1. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  2. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…

  3. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  4. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  5. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  6. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
  7. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  8. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  9. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　
  10. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
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