高周波発振器

  1. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  2. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  3. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  5. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  6. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  7. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  8. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  9. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  10. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  1. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  2. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  3. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  4. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  5. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  6. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  8. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  9. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  10. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
2026年4月
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