高周波発振器

  1. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  2. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  3. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  4. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  5. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  6. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  7. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  8. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  9. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
  10. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…
  1. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  2. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…
  3. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  4. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  5. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  6. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  7. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  8. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  9. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)
  10. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…
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