高周波発振器

  1. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  2. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG
  3. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  4. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…
  5. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  6. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900
  7. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  9. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  10. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]
  1. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  2. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  3. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  4. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  6. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  7. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  8. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  9. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
  10. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03
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