高周波発振器

  1. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  2. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…
  3. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …
  4. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  5. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  6. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  7. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…
  8. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  9. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  10. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  1. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  2. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  3. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  4. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  5. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  6. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  7. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  8. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  10. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
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