高周波発振器

  1. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  2. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  3. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  4. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  5. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  7. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  8. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  10. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  1. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  2. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  3. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  4. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
  5. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  6. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410
  8. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  9. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  10. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
2026年2月
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