高周波発振器

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  2. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  3. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  4. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  6. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  7. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  8. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  10. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  1. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  2. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  3. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  4. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  5. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  6. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  7. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  8. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  9. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  10. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
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