高周波発振器

  1. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  2. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  3. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  4. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  5. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  6. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  7. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  8. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  9. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC
  10. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  1. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  2. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  3. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […
  4. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  5. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050
  6. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  7. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  8. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  9. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  10. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100
2026年5月
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