高周波発振器

  1. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  2. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  3. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  4. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  5. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  6. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  7. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  8. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  9. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  10. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  1. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  2. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  3. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…

  4. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  5. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  7. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  8. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…
  9. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  10. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
2026年4月
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