高周波発振器

  1. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  2. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […
  3. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…
  4. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …
  5. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…
  6. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  7. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  8. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  9. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  10. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  1. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
  2. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  4. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  5. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  6. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  7. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  8. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  9. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  10. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
2026年2月
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