高周波発振器

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  2. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  3. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…
  4. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  5. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
  6. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  7. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  9. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  10. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  1. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
  2. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
  3. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  4. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  5. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  6. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  7. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  8. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…
  9. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  10. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
2026年3月
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