高周波発振器

  1. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  2. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  3. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…
  4. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  5. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  6. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  7. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  8. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100
  9. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  10. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  1. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  2. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  4. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  5. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  6. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  9. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  10. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
2026年4月
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