高周波発振器

  1. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  2. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  3. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  4. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  5. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  6. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  7. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  8. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  9. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  10. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  1. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  2. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  3. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …
  4. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  5. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  6. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  7. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  8. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  9. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  10. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
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