高周波発振器

  1. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  2. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  3. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  4. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  5. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  6. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]
  7. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  8. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  9. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  10. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  1. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  2. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  3. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  4. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  5. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  6. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  7. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2
  8. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  9. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …
  10. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
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