高周波発振器

  1. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  2. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  3. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  4. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…
  5. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  6. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  7. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  8. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  9. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  10. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…
  1. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  2. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  3. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  4. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  5. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  6. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  7. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…
  8. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  10. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
2026年3月
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