高周波発振器

  1. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  2. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  3. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  4. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  5. 冷却水循環装置（空冷チラー）EYELA製　CA-3110 &#82…

  6. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  7. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  8. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  9. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  10. 表面性試験機　HEIDON　TYPE:14FW

  1. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  2. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  3. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  4. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  5. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  6. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  7. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …
  8. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  9. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  10. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050
2026年1月
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