高周波発振器

  1. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  2. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E
  3. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  4. バンプボンダー　新川　SBB-110super – [M2309…

  5. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  6. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  7. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  8. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  9. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  10. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  1. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  2. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  3. 真空乾燥機　アズワン　AVO-310V
  4. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  5. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  6. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  7. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  8. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  9. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
  10. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
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