高周波発振器

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  2. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  3. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  4. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  5. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  6. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  7. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…
  8. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  9. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  10. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  1. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  2. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  3. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  4. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  5. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  6. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  7. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  8. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  9. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  10. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
2026年3月
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