高周波発振器

  1. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  2. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  3. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  4. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  5. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  6. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  7. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  8. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  9. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  10. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  1. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  2. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  3. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  4. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  5. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  6. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  7. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  8. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250
  9. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
  10. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
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