HAST装置

  1. イオンミリング装置　日立製（HITACHI）E-3500 [M230…
  2. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  3. 定温恒温槽（防爆仕様）ヤマト科学　DKN812-[M240104…

  4. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  6. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  7. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  8. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  9. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…
  10. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  1. 超音波洗浄装置　カイジョー　HCW-111-25
  2. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
  3. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  4. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  5. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…
  6. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  7. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
  8. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  9. イオンミリング装置　日立製（HITACHI）E-3500 [M230…

  10. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
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