HAST装置

  1. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  3. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  4. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  5. 定温恒温槽（防爆仕様）ヤマト科学　DKN812-[M240104…

  6. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  7. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081-[M23041…

  8. 冷却水循環装置（空冷チラー）EYELA製（東京理化器械…

  9. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  10. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  1. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…
  2. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  3. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…
  4. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
  5. DC電源・菊水電子工業・PAD10-1000LET（M210303A05）

    DC電源　菊水電子製　型式：PAD16-1000LET （M210303…

  6. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  7. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]
  8. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
  9. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  10. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
2025年4月
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