HAST装置

  1. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  2. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  3. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  4. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  5. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  6. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  7. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  8. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  9. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  10. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
  1. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…
  2. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  3. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  4. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  5. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  6. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  7. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E
  8. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  9. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  10. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
2026年1月
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