HAST装置

  1. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  2. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  3. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  4. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  5. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
  6. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  7. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  8. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  9. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  10. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]
  1. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
  2. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  3. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  4. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  5. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  6. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  7. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  8. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  10. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…
2025年11月
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