グローブボックス

  1. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  2. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  3. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  4. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  5. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  6. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  7. RF電源　RFPP　RF20S

  8. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  9. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH

  10. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　MAG2000／MAG.DRIVE 200…

  1. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
  2. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  3. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  4. オゾンガスモニター　APPLICS　OZG-EM-010K

  5. 遠心エバポレーター　アズワン　CVE-2AS
  6. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  7. RF電源　RFPP　RF10S

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  9. ドライポンプ　Kashiyama　NeoDry15E

  10. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530
2026年6月
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