ロータリーエバポレーター
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真空蒸着/スパッタ共用装置 サンユー電子製<br>型…
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イオンスパッタ装置 日立製<br>型式:E-1010 (M2011…
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真空蒸着機 日本電子(JEOL) JEE-420T
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マイクロ波電源 IDX製 IMG-2503S-[M230622A03]
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AFM – 原子間力顕微鏡 SII(現;日立ハイテク…
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冷却水循環装置(空冷チラー)オリオン機械製 RKE-1…
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多関節産業ロボット(6軸)ファナック製 型式M-10iA…
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スカラロボット(4軸)ヤマハ製 YK600XG
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恒温恒湿槽 アドバンテック製 THR040FA-[M240209A1…
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真空蒸着装置 アルバック VPC-260-[M241210A02]
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紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置 テクノビジ…
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クライオポンプ アルバック製<br>型式:CRYO-U6H (…
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表面研磨機 BUEHLER MetaServ250
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バイオクリーンベンチ ESCO BCB-4E7
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恒温恒湿槽 エスペック製<br>型式:PR-2KT (M20121…
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恒温恒湿槽 アドバンテック製 THR040FA-[M240209A1…
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産業用多関節ロボット 三菱電機製<br>型式:RV-4FL-…
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マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…
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エアー吸着マット パイオニア風力機 AM-CB/PV1N-15…
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スクロールポンプ エドワーズ nXDS10i-[M240628A05]
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