ロータリーエバポレーター

  1. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  2. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  3. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  4. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  5. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…
  6. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  7. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  8. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  9. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081-[M23041…

  10. 表面性試験機　HEIDON　TYPE:14FW

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  2. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  3. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
  4. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  5. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  6. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  7. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  8. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…
  9. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  10. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…
2025年11月
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