ロータリーエバポレーター
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スクロールポンプ アルバック製(Ulvac)DIS-251
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ドライポンプ アルバック製 LR90-[M240419A01]
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高温恒温槽 ハイテンプオーブン – エスペック…
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プラズマCVD装置(プラズマ窒化装置)ワイエス工業製…
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AOI基板外観検査装置 inspec製(インスペック)SX10…
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恒温器(防爆仕様)エスペック ESPEC LU-114
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イナートオーブン エスペック IPHH-202M-[M250215A…
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マイクロ波電源 IDX製 IMG-2503S-[M230622A03]
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マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…
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恒温恒湿試験器 エスペック PWL-3KP
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