ロータリーエバポレーター

  1. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  2. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  4. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  5. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  6. 表面性試験機　HEIDON　TYPE:14FW

  7. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  8. ドライポンプ　樫山　NeoDry-30E

  9. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  10. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C
  1. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  2. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  3. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  4. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP
  5. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  6. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  7. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  8. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  9. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…
  10. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
2025年12月
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