ロータリーエバポレーター
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デジタルリンクアナライザー ANDO製(安藤)<br>型…
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ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ Messtek製 …
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ウルトラミクロ電子天秤 メトラートレド XP2U
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恒温器(防爆仕様)エスペック ESPEC LU-114
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粒子径分布測定装置-粒度分布計 堀場製作所-HORIBA…
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紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置 テクノビジ…
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マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…
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インプリント装置-真空UV式 エンジニアリングシステ…
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ターボ分子ポンプ(TMP)アルカテル製 5081 –…
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マイクロ波電源 IDX製 IMG-2503S-[M230622A03]
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真空蒸着機 日本電子(JEOL) JEE-420T
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バイオクリーンベンチ 日本医科器械<br>型式:VS-16…
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パルスヒートユニット – 接合装置 AVIO PHU-…
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高信頼性電源(CVCC)菊水電子工業製<br>型式:PAN60…
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恒温恒湿槽 エスペック製<br>型式:PR-2KT (M20121…
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マイクロ波電源 アドテック製 ARP Series-[M230622…
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反射分光膜厚測定装置 大塚電子 FE-3000
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倒立顕微鏡 ニコン – Nikon ECLIPSE TS100
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AFM – 原子間力顕微鏡 SII(現;日立ハイテク…
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ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ バリアン HS…
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