ロータリーエバポレーター
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冷却水循環装置(水冷チラー)オリオン機械 RKED220…
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ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ Messtek製 …
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水晶振動子膜厚コントローラー アルバック CRTM-70…
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協調ロボットアーム オムロン TM5-900
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イナートオーブン エスペック IPHH-202M-[M250215A…
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スクロールポンプ アルバック製(Ulvac)DIS-251
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チラー(高性能精密温調装置)HUBER製(英弘精機)UN…
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スカラロボット(4軸)ヤマハ製 YK600XG
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ターボ分子ポンプ(TMP)アルカテル製 5081-[M23041…
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表面性試験機 HEIDON TYPE:14FW
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真空蒸着装置 アルバック VPC-260-[M241210A02]
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マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…
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プラズマ処理装置 神港精機 POEM
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高信頼性電源(CVCC)菊水電子工業製<br>型式:PAN60…
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表面研磨機 BUEHLER MetaServ250
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表面粗さ測定(魔鏡/透明体測定) レイテックス製 …
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スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
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エアー吸着マット パイオニア風力機 AM-CB/PV1N-15…
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恒温恒湿槽 エスペック製<br>型式:PR-2KT (M20121…
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超純水製造装置 ミリポア製 Mill-Q Integral 5 -[M…
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