ロータリーエバポレーター

  1. バンプボンダー　新川　SBB-110super – [M2309…

  2. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  3. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…
  4. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  5. 冷却水循環装置（空冷チラー）EYELA製　CA-3110 &#82…

  6. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  7. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-90…

  8. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  9. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  10. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  1. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  2. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  3. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  4. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  5. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  6. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  7. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  8. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2
  9. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  10. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
2025年11月
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