集塵機

  1. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C
  2. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  3. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  4. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  5. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  6. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  7. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  8. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  9. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  10. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  1. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　TURBOVAC 361　（コント…

  2. 電気マッフル炉　島津製作所　MP-15

  3. イオンゲージ　電離真空計　アネルバ　M-430HG
  4. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  5. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  7. スクリュウーコンプレッサー　コベルコ技研　SUKESAN…

  8. ロータリーエバポレーター　EYELA　N-1100　付属機器…

  9. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  10. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100
2026年5月
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