集塵機

  1. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  2. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  3. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  5. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  6. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  7. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  8. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  9. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  10. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  1. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  2. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…
  3. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  4. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  5. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  6. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  7. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
  8. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  9. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  10. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2
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