集塵機

  1. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  2. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  3. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  4. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  5. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  6. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  7. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  8. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  9. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  10. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…
  1. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  2. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP
  3. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  4. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  5. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  6. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …
  7. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  8. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  9. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  10. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]
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