集塵機

  1. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …
  2. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  3. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG
  4. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  5. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  6. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  7. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  9. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  10. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…
  1. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  2. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  3. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　
  4. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  5. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  7. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  8. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  9. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  10. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300
2026年4月
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