集塵機

  1. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  2. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  3. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  4. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  5. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  6. オートグラフ（精密万能試験機）島津製作所　AGS-X, …

  7. 真空蒸着装置　アネルバ　EVC-1701

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  9. マスクアライナー（露光装置）canonキャノン製　PLA-…

  10. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  2. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  4. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  5. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
  6. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  7. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  8. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  9. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  10. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…
2025年9月
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