集塵機

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  5. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  6. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  7. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  8. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…
  9. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

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  10. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  1. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
  2. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  3. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  4. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
  5. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  6. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  7. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  8. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
  9. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  10. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…
2025年12月
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