株式会社未来産業技術研究所
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メーカー:onikaze 赤松電機製 型式:HVS-40 000処理風量:4.0/4.8 (m3/min) / 静圧 (Pa):690/980 (50/60Hz) 電動…
イオンスパッタ装置 日立製<br>型式:E-1010 (M2011…
プラズマ処理装置 神港精機 POEM
非接触形状測定装置 ソニープレシジョン製<br>型式…
冷却水循環装置(水冷チラー)オリオン機械 RKED220…
高温恒温槽 ハイテンプオーブン – エスペック…
DC電源 – スパッタ電源 EN-Technologies E…
空冷チラー ユニットクーラー オリオン機械 RKS15…
反射分光膜厚測定装置 大塚電子 FE-3000
スピンコーター ミカサ製 1H-360S
エリプソメーター 溝尻光学工業 DVA-36L3
マイクロ波電源 アドテック製 ARP Series-[M230622…
パルスヒートユニット – 接合装置 AVIO PHU-…
イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー JEOL…
レーザー顕微鏡 キーエンス VK-9510
露光装置 日本電池 MAN250NLJ/MRL250SM
マッチングコントローラー AS-TECH RC-11
クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…
カーボンコーター 日本電子(JEOL) JEC-530
スクリュウーコンプレッサー コベルコ技研 SUKESAN…