集塵機

  1. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  2. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  3. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  4. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  5. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  6. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  7. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…
  8. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  9. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  10. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  1. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  3. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  4. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  5. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  6. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  7. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  8. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  9. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  10. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E
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