集塵機

  1. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  2. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  3. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  4. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  5. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3
  6. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  7. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  8. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  9. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  10. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  1. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  2. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  3. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…
  4. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  5. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  6. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  7. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410
  9. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  10. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
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