集塵機

  1. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  2. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  3. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  4. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…
  5. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  6. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  7. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  8. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  9. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  10. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  1. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…
  2. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  3. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  4. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…
  5. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  6. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  7. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…
  8. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  9. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  10. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle
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