集塵機

  1. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  2. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  3. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  4. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  5. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
  6. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  7. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  8. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  9. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  10. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  1. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  2. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  3. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  4. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  5. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  6. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  7. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  8. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J
  9. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  10. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N
2026年5月
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