集塵機

  1. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  2. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  3. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  4. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  5. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  6. 真空凍結乾燥機　日本フリーザー　BFD-6F2

  7. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  8. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  9. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  10. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH

  1. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  2. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  3. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  4. イオンゲージ　電離真空計　アネルバ　M-430HG

  5. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-151/EI-151G（コ…

  6. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  7. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  8. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  9. ロータリーエバポレーター　EYELA　N-1100　付属機器…

  10. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2
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