集塵機

  1. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  2. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  3. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  4. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  5. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  6. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  7. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  8. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  10. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  1. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  2. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  3. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  4. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  5. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  6. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  7. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  8. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03
  9. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  10. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2
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