株式会社未来産業技術研究所
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メーカー:onikaze 赤松電機製 型式:HVS-40 000処理風量:4.0/4.8 (m3/min) / 静圧 (Pa):690/980 (50/60Hz) 電動…
クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…
RF電源 高周波電源 アドバンスエナジー RFX-600A
オートファインコーター(スパッタ装置)日本電子(JE…
産業用ロボットアーム(6軸多関節ロボット)デンソー…
スピンコーター ミカサ製 1H-360S
光学ステージ 各種取り扱い シグマ光機 駿河精機…
チラー(高性能精密温調装置)HUBER製(英弘精機)UN…
「HAST装置」高度加速寿命試験装置 エスペック EHS…
スクロールポンプ アルバック製(Ulvac)DIS-251
反射分光膜厚測定装置 大塚電子 FE-3000
イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー JEOL…
RF Plasma Generator MKS/ENI ELITE-300
遠心エバポレーター アズワン CVE-2AS
マッチングコントローラー AS-TECH RC-11
検査用光源ユニット ウシオ電機 Optical Modulex …
DC電源 – スパッタ電源 EN-Technologies E…
プラズマ処理装置 神港精機 POEM
ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ バリアン HS…
ウェハー表面検査装置 Micro MAX System ビジョンサ…
クライオポンプ アルバック製<br>型式:CRYO-U6H (…