集塵機

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  2. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  3. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  4. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  5. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  7. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  8. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

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  10. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…
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