集塵機

  1. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  2. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  3. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  4. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…
  5. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  6. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  7. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  8. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  9. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  10. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  1. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  2. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  3. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  4. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  5. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  6. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  7. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  8. ダイサー　ディスコ　DAD522

  9. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  10. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
2026年5月
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