集塵機

  1. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]
  2. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  3. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　MAG2000／MAG.DRIVE 200…

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  5. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  6. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  7. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  8. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  9. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  10. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  1. チラー 冷却水循環装置　アズワン　LCT-450A

  2. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  3. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  4. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  5. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  6. 検査用光源ユニット　ウシオ電機　Optical Modulex　…

  7. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  8. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ
  9. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  10. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle 10kW
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