集塵機
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真空蒸着/スパッタ共用装置 サンユー電子製<br>型…
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カーボンコーター 日本電子(JEOL) JEC-530
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AFM – 原子間力顕微鏡 SII(現;日立ハイテク…
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デジタルリンクアナライザー ANDO製(安藤)<br>型…
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超音波洗浄装置-2層式 カイジョー HCW-202-25R
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イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー JEOL…
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RF電源 高周波電源 アドバンスエナジー RFX-600A
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恒温恒湿槽 アドバンテック製 THR040FA-[M240209A1…
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光学ステージ 各種取り扱い シグマ光機 駿河精機…
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プログラムフリーザー 低温水槽 FUJIHIRA ET-1N
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エネルギー分散型X線分析装置 島津製作所 EDX-720
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スクロールポンプ エドワーズ nXDS10i-[M240628A05]
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真空蒸着装置 日本電子製(JEOL)<br>型式:JEE-400
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恒温恒湿槽 エスペック LHL-114
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走査電子顕微鏡(卓上SEM)日立ハイテク Miniscope …
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ドライポンプ アルバック製 LR90 – [M240419…
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粒子径分布測定装置-粒度分布計 堀場製作所-HORIBA…
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倒立顕微鏡 ニコン – Nikon ECLIPSE TS100
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ウェハー表面検査装置 Micro MAX System ビジョンサ…
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クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…
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