集塵機

  1. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  2. ダイサー　ディスコ　DAD522

  3. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…
  4. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  5. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  6. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  7. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  8. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  9. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  10. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  1. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  2. ウェハーマウンター　日東電工　M286N

  3. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  4. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …

  5. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  6. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  7. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  8. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  9. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-500B

  10. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP
2026年5月
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