集塵機

  1. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  2. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  3. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  4. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  5. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  6. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  7. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  8. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  9. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  10. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  1. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  2. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  3. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  4. イオンゲージ　電離真空計　アネルバ　M-430HG

  5. ターボ分子ポンプ　ファイファー　THM262/TC100

  6. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  7. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  8. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  9. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  10. ターボ分子ポンプ　BOC EDWARDS　STP-300
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