集塵機

  1. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  2. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  3. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  4. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  5. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  6. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  7. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  8. 恒温槽　エスペック　PH-402

  9. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  10. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  1. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  2. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020
  3. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  4. サーモカップル真空計　アネルバ　MTG-012

  5. 光学防振台　明立精機　RHS-1209K4CL

  6. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  7. ターボ分子ポンプ　BOC EDWARDS　STP-300

  8. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  9. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  10. 恒温槽　エスペック　PH-402
2026年6月
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