集塵機

  1. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  2. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  3. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  4. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  5. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  6. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  7. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  8. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  9. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…
  10. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …
  1. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  2. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]
  3. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  4. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  5. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  7. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  9. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  10. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250
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