集塵機
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マイクロ波電源 IDX製 IMG-2503S-[M230622A03]
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高温恒温槽(イナートオーブン) ヤマト科学 DN-43…
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真空蒸着装置 アルバック VPC-260-[M241210A02]
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空冷チラー(冷却水循環装置)EYELA製(東京理化器械…
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3Dプリンター Stratasys uPrint SE Plus
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産業用ロボットアーム(6軸多関節ロボット)デンソー…
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デジタルリンクアナライザー ANDO製(安藤)<br>型…
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スパッタ装置 – オートファインコーター 日本…
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電離真空計 イオンゲージ アネルバ M-922HG 測定…
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プラズマ処理装置 神港精機 POEM
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真空蒸着装置 日本電子製(JEOL)<br>型式:JEE-400
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スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
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紫外線照射装置(UV照射装置) アイグラフィック製<…
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クライオポンプ アルバック製<br>型式:CRYO-U6H (…
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電離真空計 イオンゲージ アネルバ M-922HG 測定…
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スクロールポンプ エドワーズ nXDS10i-[M240628A05]
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粒子径分布測定装置-粒度分布計 堀場製作所-HORIBA…
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イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー JEOL…
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マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…
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高信頼性電源(CVCC)菊水電子工業製<br>型式:PAN60…
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