集塵機

  1. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  2. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  3. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  4. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  6. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  7. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  8. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　MAG2000／MAG.DRIVE 200…

  9. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  10. RF電源　RFPP　RF20S

  1. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020

  2. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  3. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  4. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH261/TC600

  5. オゾンガスモニター　APPLICS　OZG-EM-010K

  6. リアルタイムスペクトラムアナライザ　テクトロニク…

  7. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  8. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-151/EI-151G（コ…

  9. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  10. スクリュウーコンプレッサー　コベルコ技研　SUKESAN…
2026年6月
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