集塵機

  1. 真空オーブン　ヤマト科学　ADP200

  2. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  3. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  4. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  5. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  6. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  7. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  8. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　HiPace700/TC400

  9. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  10. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  1. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  2. 液晶重ね合わせ装置　中央精機　LCM-ST

  3. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  4. マッチングコントローラー　AS-TECH　RC-11

  5. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  7. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  8. 超音波洗浄装置　カイジョー　HCW-111-25

  9. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  10. 高度加速寿命試験装置（HAST装置）エスペック　EHS-4…
2026年5月
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