集塵機

  1. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  2. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  3. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  4. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  5. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  6. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  7. ターボ分子ポンプ　大阪真空　TG1003VW／TC1003（コ…

  8. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  9. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  10. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  2. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  3. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  4. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…

  5. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  6. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  7. ターボ分子ポンプ　BOC EDWARDS　STP-300

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  9. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  10. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…
2026年5月
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