集塵機

  1. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  2. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…
  3. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  4. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  5. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  6. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  7. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  8. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  9. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  10. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
  1. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  3. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  4. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  5. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  6. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  7. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  8. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  9. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  10. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
2026年1月
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