集塵機

  1. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  2. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…
  3. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  4. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  5. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  6. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
  7. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  8. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  9. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  10. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  1. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  2. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  3. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E
  4. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  5. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  6. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  7. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  8. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  9. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  10. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
2026年2月
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