集塵機

  1. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  2. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]
  3. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  4. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  5. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  6. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  7. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  8. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  9. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  10. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  1. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  2. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  3. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  4. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  5. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  6. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  8. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  9. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  10. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
2026年4月
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