集塵機

  1. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  2. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  3. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  4. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  5. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  6. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  7. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  8. 真空凍結乾燥機　日本フリーザー　BFD-6F2

  9. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  10. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  1. 卓上型クリーンブース　アズワン　ピュアスペースPS0…

  2. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  3. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  4. サーモカップル真空計　アネルバ　MTG-012

  5. スクリュウーコンプレッサー　コベルコ技研　SUKESAN…

  6. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  7. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  8. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  9. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  10. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
2026年5月
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