集塵機

  1. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  2. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  3. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  4. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  5. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  6. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  7. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  8. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  9. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  10. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  1. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  2. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…
  3. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  4. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  5. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
  6. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  7. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  8. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  9. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  10. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP
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