集塵機

  1. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  2. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  3. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  4. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  5. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  6. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  7. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  8. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  9. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  10. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…
  1. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
  2. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  3. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  4. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  5. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  6. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  7. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  9. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  10. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
2026年3月
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