集塵機

  1. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  2. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  3. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  4. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  5. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  6. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  7. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  8. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  9. ヒュームフード（ドラフトチャンバー）ヤマト科学　M…

  10. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  1. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  2. 遠心エバポレーター　アズワン　CVE-2AS

  3. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle

  4. 液晶重ね合わせ装置　中央精機　LCM-ST

  5. ターボ分子ポンプ　ファイファー　THM262/TC100

  6. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  7. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  8. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  9. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  10. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
2026年5月
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