集塵機

  1. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  2. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP
  3. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  4. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  5. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  6. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  7. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  8. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  10. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  1. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
  2. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  3. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…

  4. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  6. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  7. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  8. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  9. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  10. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050
2026年4月
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