集塵機

  1. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  2. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  3. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  4. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG
  5. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  6. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  7. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  8. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  9. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  10. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…
  1. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  2. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  3. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  4. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  5. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  6. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  7. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  8. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  9. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050
  10. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…
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