集塵機

  1. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  2. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  3. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  4. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  5. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  6. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  7. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  8. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  9. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  1. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-500B

  2. 液晶重ね合わせ装置　中央精機　LCM-ST
  3. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  4. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  5. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …

  6. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  7. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  8. 電気マッフル炉　島津製作所　MP-15

  9. 卓上型クリーンブース　アズワン　ピュアスペースPS0…

  10. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…
2026年5月
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