集塵機

  1. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  2. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  3. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  4. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  5. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  6. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  8. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  9. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  10. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  2. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  3. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  4. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
  5. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  6. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  7. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　
  8. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  9. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…
  10. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
2026年4月
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