集塵機

  1. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  2. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  3. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  4. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  5. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  6. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…
  7. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  8. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  9. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  10. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  1. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  2. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  3. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…
  4. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  5. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  6. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  7. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  8. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  9. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  10. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …
2026年3月
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