集塵機

  1. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  2. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  3. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  4. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  5. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  6. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  7. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  8. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  9. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  10. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  1. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  2. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  3. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  5. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  6. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  7. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720
  8. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
  9. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  10. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…
2026年4月
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