集塵機

  1. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  2. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  3. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  4. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  5. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  6. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…
  7. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  8. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  9. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  10. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  1. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  2. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  3. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  4. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  5. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  6. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  7. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  8. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  9. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  10. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050
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