集塵機

  1. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  2. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  3. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  4. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  6. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  7. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…
  8. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…
  9. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  10. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  1. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  2. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  3. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  4. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  5. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  6. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
  7. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…
  8. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  9. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…
  10. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
2025年12月
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