集塵機

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  3. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250
  4. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  5. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  6. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  7. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

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  10. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  1. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  2. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
  3. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  4. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  6. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  7. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…
  8. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  9. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  10. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
2025年10月
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