集塵機

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  9. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製　E-1010

  10. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  1. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  2. オゾンガスモニター　APPLICS　OZG-EM-010K

  3. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  4. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…
  5. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  6. 真空凍結乾燥機　日本フリーザー　BFD-6F2

  7. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  8. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  9. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  10. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
2026年6月
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