集塵機

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  4. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

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  5. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  6. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  7. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  8. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  9. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050
  10. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

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