集塵機

  1. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  2. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  3. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  4. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  5. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  6. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  7. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  8. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  9. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  10. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  1. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  3. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  4. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  5. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  6. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  8. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…
  9. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  10. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
2026年4月
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