集塵機

  1. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  2. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  3. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  4. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900
  5. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  6. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  7. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  8. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  9. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  10. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  2. 検査用光源ユニット　ウシオ電機　Optical Modulex　…
  3. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  4. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-500B

  5. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  6. サーモカップル真空計　アネルバ　MTG-012

  7. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  8. ウェハーマウンター　日東電工　M286N

  9. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  10. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300
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