集塵機

  1. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]
  2. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  3. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  4. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3
  5. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  6. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  7. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  8. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  9. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  10. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  1. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
  2. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  3. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  5. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  6. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  7. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  8. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  9. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  10. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z
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