株式会社未来産業技術研究所
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メーカー：onikaze 赤松電機製 型式：HVS-40 000処理風量：4.0/4.8 （m3/min） ／ 静圧 (Pa)：690/980 (50/60Hz) 電動…
真空排気システム 大阪真空製 TG220FVAB PUMPING U…
ドライポンプ／メカブポンプ 樫山製／アルバック製<…
非接触形状測定装置 ソニープレシジョン製<br>型式…
バイオクリーンベンチ ESCO BCB-4E7
冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製 RKS15…
デジタルマイクロスコープ キーエンス VW-6000 …
パーティクルカウンター リオン製<br>型式：KM-33 …
空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…
恒温恒湿試験器 エスペック PWL-3KP
真空蒸着機 日本電子(JEOL) JEE-420T
クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製 S…
エネルギー分散型X線分析装置 島津製作所 EDX-720
レーザー顕微鏡 キーエンス VK-9510
バイオクリーンベンチ 日本医科器械<br>型式：VS-16…
表面研磨機 BUEHLER MetaServ250
プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
エアー吸着マット パイオニア風力機 AM-CB/PV1N-15…
紫外線照射装置（UV照射装置） アイグラフィック製<…
ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ バリアン HS…
