集塵機

  1. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…
  2. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  3. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  4. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  5. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  6. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  7. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  8. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  10. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  1. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  2. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
  3. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  4. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410
  6. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  7. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  8. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  9. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  10. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
2026年3月
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