集塵機

  1. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  2. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
  3. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  4. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  5. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  6. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  7. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  8. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  9. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  10. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  1. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  2. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  3. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  4. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  5. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  6. 露光装置　日本電池　MAN250NLJ/MRL250SM

  7. マッチングコントローラー　AS-TECH　RC-11

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  9. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  10. スクリュウーコンプレッサー　コベルコ技研　SUKESAN…
2026年5月
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