集塵機

  1. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  2. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  3. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  4. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  5. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  6. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  7. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…
  8. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  10. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…
  1. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
  2. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  3. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  4. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  5. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  6. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  7. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  8. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  9. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  10. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
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