集塵機

  1. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  2. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  3. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  4. 真空オーブン　ヤマト科学　ADP200

  5. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  6. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  7. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  8. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  9. リアルタイムスペクトラムアナライザ　テクトロニク…

  10. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  1. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…
  2. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  3. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  4. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…
  5. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  6. ターボ分子ポンプ　ファイファー　THM262/TC100
  7. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  8. ドライポンプ　Kashiyama　NeoDry15E

  9. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle 12kW

  10. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
2026年5月
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