集塵機

  1. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  2. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  3. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  4. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  5. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  6. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  7. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  8. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  9. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  10. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  1. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  2. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  3. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
  4. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
  5. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  6. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  7. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  8. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  9. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  10. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
2026年3月
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