集塵機

  1. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  2. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  3. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  4. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  5. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  6. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  7. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  8. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  9. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  10. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  1. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  2. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  3. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  4. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  5. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  6. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  7. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  8. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  9. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  10. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
2026年4月
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