集塵機
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倒立顕微鏡 ニコン – Nikon ECLIPSE TS100
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レーザー顕微鏡(超深度形状測定顕微鏡)キーエンス…
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クリーンベンチ 日立製<br>型式;PCV1915BE2 (M210…
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冷却水循環装置(水冷チラー)オリオン機械 RKED220…
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真空蒸着装置 アルバック VPC-260-[M241210A02]
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イオンスパッタ装置 日立製<br>型式:E-1010 (M2011…
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イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー JEOL…
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空冷チラー ユニットクーラー オリオン機械 RKS15…
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ツインコーター JEOL製(日本電子)JEC-550 –…
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イナートガスオーブン 光洋サーモシステム製 INH-9…
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DC電源 – スパッタ電源 EN-Technologies E…
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RF Plasma Generator MKS/ENI ELITE-300
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恒温恒湿槽 アドバンテック製 THR040FA-[M240209A1…
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レーザー顕微鏡 キーエンス VK-9510
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プラズマCVD装置(プラズマ窒化装置)ワイエス工業製…
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スクロールポンプ エドワーズ nXDS10i-[M240628A05]
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高信頼性電源(CVCC)菊水電子工業製<br>型式:PAN60…
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カーボンコーター 日本電子(JEOL) JEC-530
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マイクロ波電源 アドテック製 ARP Series-[M230622…
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クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…
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