集塵機

  1. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  2. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  3. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-151/EI-151G（コ…

  4. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  5. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH

  6. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  7. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  8. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  9. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  10. ヒュームフード（ドラフトチャンバー）ヤマト科学　M…

  1. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  2. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  4. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  5. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  6. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  7. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  8. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  9. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  10. リアルタイムスペクトラムアナライザ　テクトロニク…
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