集塵機

  1. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  2. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  3. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  4. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  5. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  6. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…
  7. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  8. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  9. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  10. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  1. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  2. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  4. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  5. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…
  6. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  7. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  8. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  9. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…
  10. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…
2026年3月
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