集塵機

  1. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  2. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  3. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  4. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  5. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  6. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  7. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  9. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
  10. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  1. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  2. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  3. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  5. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  6. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  7. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  8. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  9. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  10. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…
2026年4月
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