集塵機

  1. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  2. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  3. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  4. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  5. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  6. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  7. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  8. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  9. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…
  10. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  1. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  2. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  3. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  4. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  5. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  6. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  7. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  8. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  9. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  10. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…
2025年12月
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