集塵機

  1. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  2. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  3. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  4. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  5. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  6. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  7. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  8. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  9. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  10. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  1. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  2. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  3. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  4. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  5. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  6. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2
  7. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
  8. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  10. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…
2026年4月
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