集塵機

  1. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  2. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  3. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E
  4. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  5. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  6. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  7. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  8. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  9. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG
  10. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  1. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  2. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…
  3. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  4. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E
  5. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  6. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …
  7. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…
  8. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
  9. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  10. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…
2026年2月
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