集塵機

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  3. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

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  5. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

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  10. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  1. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  2. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

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  5. 四重極質量分析計（Q-MASS）　ファイファー　 QME200

  6. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  7. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

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  9. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  10. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
2026年5月
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