集塵機

  1. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…
  2. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  3. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  5. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  6. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  7. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  8. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…
  9. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  10. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  1. 露光装置　日本電池　MAN250NLJ/MRL250SM

  2. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  3. クリーンベンチ　日本エアーテック　KTV-840KS
  4. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  5. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  6. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  7. ターボ分子ポンプ　BOC EDWARDS　STP-300

  8. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050
  9. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  10. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ
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