集塵機

  1. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  2. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  3. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  4. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  5. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  6. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  7. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  8. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  9. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  10. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…
  1. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  2. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  4. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  5. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  6. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  7. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  8. ダイサー　ディスコ　DAD522

  9. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  10. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …
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