集塵機

  1. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  2. 冷却水循環装置（空冷チラー）EYELA製　CA-3110 &#82…

  3. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  4. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  5. バンプボンダー　新川　SBB-110super – [M2309…

  6. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  7. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  8. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  9. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  10. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C
  1. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  2. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  3. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  4. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  5. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  6. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  7. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
  8. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  10. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
2025年12月
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