集塵機

  1. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…
  2. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  3. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  4. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  5. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  6. マイクロ波電源／発振器　IDX　IMG-2503

  7. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  8. 高度加速寿命試験装置（HAST装置）エスペック　EHS-4…
  9. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  10. ドライポンプ　Kashiyama　NeoDry15E

  1. 四重極質量分析計（Q-MASS）　ファイファー　 QME200

  2. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  3. 遠心エバポレーター　アズワン　CVE-2AS

  4. イオンゲージ　電離真空計　アネルバ　M-430HG

  5. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  6. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …

  7. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  8. チラー 冷却水循環装置　アズワン　LCT-450A

  9. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
  10. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…
2026年6月
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