集塵機

  1. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  2. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  3. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  4. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  5. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  6. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  7. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  8. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  9. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  10. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　MAG2000／MAG.DRIVE 200…

  1. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  2. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  3. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  4. 連続式リフロー炉　グローバル　AFD-101A
  5. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  6. ウェハーマウンター　日東電工　M286N

  7. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  9. マッチングコントローラー　AS-TECH　RC-11

  10. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720
2026年5月
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