集塵機

  1. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  2. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  3. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]
  4. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  5. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  6. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  7. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  8. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  9. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  10. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  1. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  2. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  3. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  4. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  5. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  6. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  7. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  8. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
  9. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  10. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…
2026年3月
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