集塵機

  1. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  2. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…
  3. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…
  4. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  5. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  6. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  7. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  8. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  9. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  10. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  1. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
  2. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  3. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  4. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  5. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  6. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  7. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  8. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…
  9. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  10. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…
2026年3月
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