集塵機

  1. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  2. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  3. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  4. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  5. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  6. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  7. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  8. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  9. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  10. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  1. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  2. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  3. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
  4. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  5. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  6. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …
  7. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  8. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  9. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  10. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…
2026年3月
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