集塵機

  1. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  2. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  3. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  4. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…
  5. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…
  6. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  7. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  8. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  9. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  10. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
  1. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  2. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  3. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  4. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  5. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  6. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP
  7. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  8. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  9. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410
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