集塵機

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  9. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

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  10. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  1. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  2. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  3. 遠心エバポレーター　アズワン　CVE-2AS

  4. マッチングコントローラー　AS-TECH　RC-11

  5. 検査用光源ユニット　ウシオ電機　Optical Modulex　…

  6. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  7. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  8. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…
  9. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
  10. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
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