集塵機
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真空蒸着装置 アルバック VPC-410
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バンプボンダー 新川 SBB-110super – [M2309…
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クリーンオーブン ヤマト科学製 DE610-[M230609A01]
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チラー(高性能精密温調装置)HUBER製(英弘精機)UN…
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ドライポンプ アルバック製 LR90 – [M240419…
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クリーンベンチ 日立製<br>型式;PCV1915BE2 (M210…
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粒子径分布測定装置-粒度分布計 堀場製作所-HORIBA…
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プラズマCVD装置(プラズマ窒化装置)ワイエス工業製…
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パーティクルカウンター リオン製<br>型式:KM-33 …
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表面研磨機 BUEHLER MetaServ250
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