集塵機

  1. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  2. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  3. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  4. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  5. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  6. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…
  7. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  8. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  9. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  10. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250
  1. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  2. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  3. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  5. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP
  6. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  7. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  8. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  9. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  10. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
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