集塵機

  1. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  2. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  3. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  4. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  5. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  6. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  7. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  8. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…
  9. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  10. 遠心エバポレーター　アズワン　CVE-2AS
  1. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  2. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  3. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  4. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  5. チラー 冷却水循環装置　アズワン　LCT-450A

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  7. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  8. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  9. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  10. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
2026年5月
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