集塵機

  1. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  2. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  3. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  4. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  5. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
  6. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  7. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  8. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  9. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  10. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  1. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  2. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…
  3. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  4. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  5. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  6. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
  7. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  8. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  9. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  10. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720
2026年2月
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