集塵機

  1. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  2. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z
  3. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  4. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  5. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  6. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  7. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  8. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  9. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  10. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…
  1. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  2. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP
  3. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  4. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  5. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  6. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E
  7. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  8. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  10. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
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