集塵機

  1. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  2. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  3. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  4. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  5. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  6. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  7. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…
  8. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  9. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  10. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  1. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  2. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250
  3. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…
  4. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
  5. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  6. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  7. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…
  8. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  9. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  10. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
2025年12月
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