集塵機

  1. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  2. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  3. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  4. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  5. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  6. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  7. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…
  8. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  9. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  10. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…
  1. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  2. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  5. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  6. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  7. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  9. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…
  10. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
2026年2月
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