集塵機

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  2. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  3. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  4. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  5. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  6. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  7. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  8. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  9. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  10. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  1. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  2. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  4. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  5. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  6. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  7. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410
  9. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  10. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
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