集塵機

  1. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  2. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  3. 恒温恒湿槽　エスペック　PR-3J

  4. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  5. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  6. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  7. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  8. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  9. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  10. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  1. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  2. VOCセンサー　理研計器　VOC-121H

  3. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  4. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  5. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  6. RF電源　RFPP　RF10S

  7. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  8. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300
  9. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  10. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
2026年6月
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