集塵機

  1. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  2. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  3. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  4. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  5. リアルタイムスペクトラムアナライザ　テクトロニク…

  6. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  7. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  8. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  9. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
  10. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  1. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  2. リアルタイムスペクトラムアナライザ　テクトロニク…

  3. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020

  4. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  5. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  6. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  7. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  8. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle 12kW

  9. クイックコーター　サンユー電子　SC-701

  10. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720
2026年6月
月 火 水 木 金 土 日
1234567
891011121314
15161718192021
22232425262728
2930