集塵機

  1. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  2. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  3. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  4. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  5. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  6. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  7. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  8. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  9. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  10. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  1. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  2. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  3. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  4. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  5. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  7. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
  8. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03
  9. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  10. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
2026年4月
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