集塵機

  1. クリーンオーブン ヤマト科学製 DE610-[M230609A01]

  2. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ アルバック製(Ulvac)DIS-251

  3. ターボ分子ポンプ LEYBOLD MAG2000/MAG.DRIVE 200…

  4. 真空蒸着装置 アルバック VPC-260-[M241210A02]

  5. ドライポンプ 樫山 NeoDry36E

  6. 冷却水循環装置(空冷チラー)オリオン機械製 RKED9…

  7. スカラロボット(4軸)ヤマハ製 YK600XG

  8. 恒温恒湿槽 エスペック PL-4KP

  9. 6軸ロボットアーム ファナック製(FANUC)LR Mate 2…

  10. 真空排気システム 大阪真空製 TG220FVAB PUMPING U…

  1. チラー 冷却水循環装置 アズワン LCT-450A

  2. 表面粗さ測定(魔鏡/透明体測定) レイテックス製 …

  3. EPMA 電子線マイクロアナライザー 島津製作所 EPMA…

  4. エネルギー分散型X線分析装置 島津製作所 EDX-720

  5. ターボ分子ポンプ PFEIFFER SplitFlow 290/TC110

  6. 検査用光源ユニット ウシオ電機 Optical Modulex …

  7. マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…

  8. スピンコーター アクティブ ACT-220AⅡ

  9. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ アルバック製(Ulvac)DIS-251

  10. RF電源 ADVANCED ENERGY MDX pinnacle 10kW

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