集塵機

  1. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  2. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  4. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  5. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  6. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…
  7. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  8. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH

  9. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J
  10. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  1. ターボ分子ポンプ　BOC EDWARDS　STP-300

  2. イオンゲージ　電離真空計　アネルバ　M-430HG

  3. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  4. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  5. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  6. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  7. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  8. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  9. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  10. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…
2026年5月
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