集塵機

  1. 真空蒸着装置　アネルバ　EVC-1701

  2. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…
  3. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  4. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  5. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  6. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  7. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  8. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  9. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  10. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  1. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  2. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  3. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  4. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  5. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
  6. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  7. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  8. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…
  9. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  10. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP
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