集塵機

  1. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  2. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  4. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  5. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  6. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  7. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  8. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  9. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  10. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  2. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  3. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  4. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  5. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
  6. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  7. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  8. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  9. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  10. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
2026年1月
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