集塵機

  1. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  2. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
  3. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  4. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  6. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH

  7. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…
  8. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  9. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  10. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  1. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  2. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  3. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  4. 卓上型クリーンブース　アズワン　ピュアスペースPS0…

  5. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　TURBOVAC 361　（コント…
  6. イオンスパッタ装置、日立、E1030

    イオンスパッタ装置　日立製　E-1030
  7. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  8. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  9. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  10. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
2026年6月
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