集塵機

  1. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  2. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
  3. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  4. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  5. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  6. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  7. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  8. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus
  9. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…
  10. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  1. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  2. パルスユニット　アルバック　A2KH-25

  3. 液晶重ね合わせ装置　中央精機　LCM-ST

  4. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  5. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …

  6. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  7. ターボ分子ポンプ　BOC EDWARDS　STP-300

  8. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　HiPace700/TC400

  9. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  10. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…
2026年5月
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