集塵機

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  2. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  3. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  4. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  5. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  6. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  7. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  8. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  9. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  10. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  1. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…
  2. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  3. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  4. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  6. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  7. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  8. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  9. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  10. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…
2026年2月
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