集塵機

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  2. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  3. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  4. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  5. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …

  6. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  7. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  8. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  9. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  10. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  1. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  2. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  3. 液晶重ね合わせ装置　中央精機　LCM-ST

  4. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  5. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  6. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  7. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle

  8. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  9. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  10. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2
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