集塵機

  1. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  2. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  3. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  4. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
  5. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  6. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  7. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  8. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  9. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  10. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  1. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  2. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  3. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  4. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  5. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  6. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
  7. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  9. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  10. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
2026年4月
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