集塵機

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  1. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
  2. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  3. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  4. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  5. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  6. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  7. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  8. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

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  9. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  10. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP
2026年3月
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