集塵機

  1. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  2. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  3. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  4. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  5. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  6. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  7. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  8. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  9. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  10. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  1. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  2. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  3. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  4. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  5. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
  6. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…
  7. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…
  8. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  9. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  10. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…
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