集塵機

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  7. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  8. 恒温槽 エスペック PH-402

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  10. レーザー測定器 レーザー変位計 キーエンス LT-95…

  1. 真空蒸着装置 日本電子製(JEOL)<br>型式:JEE-400

  2. イオンスパッタ装置(成膜装置)日立製 E-1020

  3. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ 日本医科器械<br>型式:VS-16…

  4. サーモカップル真空計 アネルバ MTG-012

  5. 光学防振台 明立精機 RHS-1209K4CL

  6. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー JEOL…

  7. ターボ分子ポンプ BOC EDWARDS STP-300

  8. マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…

  9. 恒温恒湿槽 エスペック PR-3J

  10. 恒温槽 エスペック PH-402

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