集塵機

  1. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  2. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  3. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  4. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  5. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  6. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  7. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  8. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  9. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  10. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  1. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  2. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  3. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  4. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  5. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  6. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  7. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  8. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  9. 真空乾燥機　アズワン　AVO-310V
  10. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
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