集塵機

  1. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  2. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
  3. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  4. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  5. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  6. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…
  7. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  8. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  10. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  1. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  3. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  4. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  5. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  6. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  7. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  8. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  9. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  10. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
2026年3月
月 火 水 木 金 土 日
 1
2345678
9101112131415
16171819202122
23242526272829
3031