集塵機

  1. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  2. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40
  3. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  4. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  5. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

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  7. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  8. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  9. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  10. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  1. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  2. パルスユニット　アルバック　A2KH-25

  3. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  5. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  6. ターボ分子ポンプ　BOC EDWARDS　STP-300

  7. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  8. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  9. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  10. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
2026年5月
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