集塵機

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  5. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  6. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  7. ロータリポンプ　エドワーズ　E2M40

  8. サーモカップル真空計　アネルバ　MTG-012

  9. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  10. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A
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