株式会社未来産業技術研究所
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メーカー:onikaze 赤松電機製 型式:HVS-40 000処理風量:4.0/4.8 (m3/min) / 静圧 (Pa):690/980 (50/60Hz) 電動…
デジタルマイクロスコープ キーエンス製<br>型式:V…
反射分光膜厚測定装置 大塚電子 FE-3000
プラズマ処理装置 神港精機 POEM
AOI基板外観検査装置 inspec製(インスペック)SX10…
ドライポンプ アルバック製 LR90 – [M240419…
マイクロ波電源 IDX製 IMG-2503S-[M230622A03]
RF電源 ノダRFテクノロジーズ NR1N-15B
スカラロボット(4軸)ヤマハ製 YK600XG
表面研磨機 BUEHLER MetaServ250
デジタルリンクアナライザー ANDO製(安藤)<br>型…
クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…
恒温恒湿槽 アドバンテック製 THR040FA-[M240209A1…
電離真空計 イオンゲージ アネルバ M-922HG 測定…
ウェハー表面検査装置 Micro MAX System ビジョンサ…
チラー(外部開放系循環装置)ヤマト科学製<br>クー…
真空蒸着機 日本電子(JEOL) JEE-420T
真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置 島…
恒温恒湿試験器 エスペック PWL-3KP
真空乾燥機 アズワン AVO-310V
産業用多関節ロボット 三菱電機製<br>型式:RV-4FL-…