集塵機

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  2. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  3. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  4. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  5. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  6. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  7. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  8. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  9. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  10. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  1. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  2. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  3. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  5. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  6. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  7. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  8. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
  9. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
  10. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…
2025年12月
月 火 水 木 金 土 日
1234567
891011121314
15161718192021
22232425262728
293031