集塵機

  1. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  2. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  3. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  4. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ
  5. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  6. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  7. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  8. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  9. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH
  10. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  2. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  3. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  4. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…
  5. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
  6. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  7. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  8. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  9. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  10. 連続式リフロー炉　グローバル　AFD-101A
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