集塵機

  1. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  2. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  3. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  5. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  6. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  7. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  8. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  9. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  10. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114
  1. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  2. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  3. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  4. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  5. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  6. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  7. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  8. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  9. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  10. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530
2026年4月
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