集塵機

  1. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  2. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  3. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  4. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  5. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  6. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  7. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…
  8. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  9. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081-[M23041…

  10. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  1. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  2. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  3. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  4. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  5. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
  6. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…
  7. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…
  8. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  10. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
2025年12月
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