集塵機

  1. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  2. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  3. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  4. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  5. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  6. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  7. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  9. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  10. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  1. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  2. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  3. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  4. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  5. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  6. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  7. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…
  8. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
  9. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…
  10. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…
2026年4月
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