デジタルマイクロスコープ

  1. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  2. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081-[M23041…
  3. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  4. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  6. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  7. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  8. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  9. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  10. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  1. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
  2. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  3. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  4. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  5. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  6. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  7. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  8. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  9. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  10. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
2025年11月
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