デジタルマイクロスコープ

  1. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  2. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  3. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…
  4. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  6. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  7. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…
  8. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  9. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  10. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
  1. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  2. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  3. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  4. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  5. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  6. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
  7. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  8. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  9. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  10. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
2025年12月
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