デジタルマイクロスコープ

  1. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  2. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  4. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  5. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  6. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  7. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  8. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  9. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
  10. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  1. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  2. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  3. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  4. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  5. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  6. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  7. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  8. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…
  9. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  10. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100
2026年3月
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