デジタルマイクロスコープ

  1. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  2. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  3. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  4. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-90…

  5. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…
  6. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  7. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  8. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  9. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  10. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  1. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  2. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  4. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  5. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  6. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  7. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  8. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  9. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]
  10. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
2025年12月
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