デジタルマイクロスコープ

  1. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  2. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…
  3. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  4. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  5. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  6. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  7. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  8. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  9. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  10. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  1. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  3. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  4. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
  5. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  6. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  7. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  8. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…
  9. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  10. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…
2026年1月
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