ダイサー

  1. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  2. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  3. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  4. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  5. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  6. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  7. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  8. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  9. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  10. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  1. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  2. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  3. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  4. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2
  5. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  6. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  7. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  8. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …

  9. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  10. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
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