ダイサー

  1. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  2. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  3. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  5. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  6. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  7. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  8. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  9. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…
  10. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  1. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z
  2. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  3. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  4. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
  5. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  6. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  7. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  8. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  9. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  10. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
2026年2月
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