ダイサー

  1. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…
  2. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  3. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  4. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  5. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  7. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  8. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  9. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  10. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  1. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
  2. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  3. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
  4. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  5. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  6. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  7. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  8. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  9. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  10. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…
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