ダイサー

  1. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  2. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  3. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  4. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  5. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  6. ダイサー　ディスコ　DAD522

  7. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  8. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  9. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH

  10. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  1. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  2. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  3. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  4. チラー 冷却水循環装置　アズワン　LCT-450A

  5. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  6. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  7. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  8. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  9. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  10. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…
2026年5月
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