ダイサー

  1. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  2. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  3. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  4. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  5. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  6. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  7. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  8. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  9. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH

  10. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  1. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  2. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  3. スクリュウーコンプレッサー　コベルコ技研　SUKESAN…

  4. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  5. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
  6. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  7. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  8. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050
  9. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  10. 連続式リフロー炉　グローバル　AFD-101A
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