ダイサー

  1. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  2. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  3. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  4. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  5. 真空蒸着装置　アネルバ　EVC-1701

  6. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  7. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  8. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  9. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  10. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  1. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  2. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  3. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  4. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  6. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  7. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  8. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  9. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  10. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
2025年12月
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