ダイサー
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     非接触形状測定装置 ソニープレシジョン製<br>型式… 
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     スクロールポンプ アネスト岩田 DVSL-500CS1-[M231… 
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     産業用ロボットアーム(6軸多関節ロボット)デンソー… 
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     レーザー測定器 レーザー変位計 キーエンス LT-90… 
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     パーティクルカウンター リオン製<br>型式:KC-01B … 
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     プラズマCVD装置(プラズマ窒化装置)ワイエス工業製… 
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     冷却水循環装置(水冷チラー)オリオン機械 RKED220… 
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     レーザー顕微鏡(超深度形状測定顕微鏡)キーエンス… 
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     X線回析装置 BURKER ブルカー D2 PHASER – [… 
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     超低温フリーザー パナソニック MDF-1156AT-[M2411… 
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     空冷チラー ユニットクーラー オリオン機械 RKS15… 
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     マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240… 
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     クライオポンプ アルバック製<br>型式:CRYO-U6H (… 
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     チラー(外部開放系循環装置)ヤマト科学製<br>クー… 
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     スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター… 
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     恒温恒湿槽 エスペック製<br>型式:PR-2KT (M20121… 
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     スクロールポンプ エドワーズ nXDS10i-[M240628A05] 
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     恒温恒湿槽 アドバンテック製 THR040FA-[M240209A1… 
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     高信頼性電源(CVCC)菊水電子工業製<br>型式:PAN60… 
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     ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ バリアン HS… 
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