ダイサー

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  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  4. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  5. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  6. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  7. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…
  8. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  9. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  10. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  1. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  2. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  3. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…
  4. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  5. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  6. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  7. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  8. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  9. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  10. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
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