ダイサー

  1. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]
  2. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  3. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  4. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  5. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  6. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  7. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…
  8. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  9. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  10. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  1. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  2. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  3. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  4. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  5. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  6. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  7. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  8. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  9. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  10. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250
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