ダイサー

  1. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  2. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  3. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  4. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  5. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  6. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  7. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  8. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  9. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…
  10. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  1. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  2. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  3. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  4. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  5. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  7. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  8. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  9. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  10. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
2026年4月
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