ダイサー

  1. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG
  2. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  3. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  4. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  5. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  6. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  7. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]
  8. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  9. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […
  10. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  1. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  2. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…
  3. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  4. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  5. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  6. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  7. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  8. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  9. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  10. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300
2026年4月
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