ダイサー

  1. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  2. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  3. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  4. デジタルマイクロスコープ　キーエンス　VW-6000 &#8…

  5. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  6. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  7. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  8. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…
  9. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  10. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]
  1. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  2. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  3. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  4. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  5. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
  6. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  7. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  8. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  9. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  10. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
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