ダイサー

  1. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  2. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  3. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…
  4. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  5. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  6. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  7. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  8. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  9. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  10. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  1. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z
  2. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  3. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)
  4. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  5. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  6. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…
  7. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
  8. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  9. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  10. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…
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