ダイサー

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  2. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  3. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  4. ドライポンプ　Kashiyama　NeoDry15E

  5. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  6. RF電源　RF POWER PRODUCTS　RF5S
  7. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  8. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  9. マイクロ波電源／発振器　IDX　IMG-2503

  10. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　MAG2000／MAG.DRIVE 200…

  1. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  2. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  3. ターボ分子ポンプ　ファイファー　THM262/TC100
  4. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
  5. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  6. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F

  7. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  8. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  9. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100
  10. イオンスパッタ装置、日立、E1030

    イオンスパッタ装置　日立製　E-1030
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