ダイサー

  1. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  2. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  3. デジタルマイクロスコープ　キーエンス　VW-6000 &#8…

  4. ドライポンプ　樫山　NeoDry-30E
  5. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  6. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  7. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  8. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  9. 真空蒸着装置　アネルバ　EVC-1701
  10. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
  1. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  3. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  4. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  5. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  6. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  7. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…
  8. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…
  9. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  10. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
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