ダイサー

  1. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  2. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  3. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  4. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  5. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  6. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  7. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  8. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  9. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  10. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  1. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  2. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  3. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  5. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…

  6. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  7. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  8. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  9. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  10. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …
2026年4月
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