ダイサー
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真空蒸着装置 アルバック VPC-260-[M241210A02]
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電離真空計 イオンゲージ アネルバ M-922HG 測定…
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AFM – 原子間力顕微鏡 SII(現;日立ハイテク…
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マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…
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冷却水循環装置(水冷チラー)オリオン機械製 RKS15…
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真空蒸着機 日本電子(JEOL) JEE-420T
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バンプボンダー 新川 SBB-110super – [M2309…
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冷却水循環装置(水冷チラー)オリオン機械 RKED220…
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真空蒸着装置 アネルバ EVC-1701
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イオンスパッタ装置 日立製<br>型式:E-1010 (M2011…
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恒温恒湿槽 アドバンテック製 THR040FA-[M240209A1…
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マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…
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恒温恒湿槽 エスペック製<br>型式:PR-2KT (M20121…
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バイオクリーンベンチ ESCO BCB-4E7
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紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置 テクノビジ…
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真空蒸着機 日本電子(JEOL) JEE-420T
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真空蒸着装置 日本電子製(JEOL)<br>型式:JEE-400
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プラズマCVD装置(プラズマ窒化装置)ワイエス工業製…
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スクロールポンプ エドワーズ nXDS10i-[M240628A05]
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クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…
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