ダイサー

  1. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  2. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…

  3. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  4. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  5. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  6. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530
  7. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  8. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  9. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410
  1. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  2. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  3. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  4. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  5. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  6. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  7. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  8. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  9. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410
2026年4月
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