ダイサー

  1. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  2. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  3. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  4. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  5. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  6. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  7. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  8. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  9. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  10. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  1. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  3. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …
  4. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  5. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  6. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  7. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250
  8. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  9. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  10. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050
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