ダイサー
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空冷チラー ユニットクーラー オリオン機械 RKS15…
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スピンコーター ミカサ製 1H-360S
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反射分光膜厚測定装置 大塚電子 FE-3000
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非接触形状測定装置 ソニープレシジョン製<br>型式…
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イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー JEOL…
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高真空排気装置 DIAVAC DA-A412Z
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イナートガスオーブン 光洋サーモシステム製 INH-9…
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ダイボンダ―(マニュアルボンダー)SMHP機工製 型式…
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電離真空計 イオンゲージ アネルバ M-922HG 測定…
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バイオクリーンベンチ ESCO BCB-4E7
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蒸着装置 – カーボンコーター JEOL – …
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マイクロ波電源 アドテック製 ARP Series-[M230622…
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DC電源 – スパッタ電源 EN-Technologies E…
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マニュアルプローバー 日本マイクロニクス 705B-[M…
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赤外線ランプ加熱装置 アドバンス理工 QHC-P610CP
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高温恒温槽(イナートオーブン) ヤマト科学 DN-43…
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産業用多関節ロボット 三菱電機製<br>型式:RV-4FL-…
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エネルギー分散型X線分析装置 島津製作所 EDX-720
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真空蒸着機 日本電子(JEOL) JEE-420T
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