ダイサー

  1. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  2. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  3. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  4. RF電源　RFPP　RF20S

  5. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  6. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  7. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP
  8. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  9. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  10. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  1. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  2. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  3. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  4. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  5. ロータリーエバポレーター　EYELA　N-1100　付属機器…

  6. イオンゲージ　電離真空計　アネルバ　M-430HG

  7. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  8. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  9. RF電源　RFPP　RF10S

  10. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…
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