株式会社未来産業技術研究所
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ダイサー ダイシングソーメーカー:ディスコ Disco 型式:DAD522最大ウェーハサイズ:6インチ(φ152.4mm)ダイシングとは、…
メーカー:Disco(ディスコ) 型式:DFD-2D/8(X軸)ストローク設定範囲:3"~8"Φ / ストローク:635mm / 切削有効ス…
ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ Messtek製 …
複合ガス検知器 MultiRAE IR(Multi-GAS MONITOR)…
DC電源 – スパッタ電源 EN-Technologies E…
イナートオーブン エスペック IPHH-202M-[M250215A…
ターボ分子ポンプ LEYBOLD MAG2000/MAG.DRIVE 200…
ターボ分子ポンプ PFEIFFER TMH521/TC600
ツインコーター JEOL製(日本電子)JEC-550 –…
エネルギー分散型X線分析装置 島津製作所 EDX-720
真空オーブン ヤマト科学 ADP200
RF電源 高周波電源 アドバンスエナジー RFX-600A
冷却水循環装置(空冷チラー)オリオン機械製 RKED9…
ドライポンプ BOC EDWARDS エドワーズ QDP40
AFM – 原子間力顕微鏡 SII(現;日立ハイテク…
高度加速寿命試験装置(HAST装置)エスペック EHS-4…
蒸着装置 – カーボンコーター JEOL – …
ドライポンプ 樫山 NeoDry36E
EPMA 電子線マイクロアナライザー 島津製作所 EPMA…
真空蒸着装置 日本電子製(JEOL)<br>型式:JEE-400
クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…
イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー JEOL…