ダイサー
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クリーンオーブン ヤマト科学製 DE610-[M230609A01]
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6軸ロボットアーム ファナック製(FANUC)LR Mate 2…
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ワイヤーボンダ―(マニュアルボンダー)SMHP機工製 …
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イオンスパッタ装置 日立製<br>型式:E-1010 (M2011…
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冷却水循環装置(水冷チラー)オリオン機械製 RKS15…
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デジタルマイクロスコープ キーエンス VW-6000 …
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パーティクルカウンター リオン製<br>型式:KC-01B …
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ターボ分子ポンプ(TMP)アルカテル製 5081 –…
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インプリント装置-真空UV式 エンジニアリングシステ…
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ドライポンプ 樫山 NeoDry36E
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クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…
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マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…
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表面粗さ測定(魔鏡/透明体測定) レイテックス製 …
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高温恒温槽(イナートオーブン) ヤマト科学 DN-43…
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パーツフィーダー ダイシン製<br>型式:D-15KFW-03
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真空蒸着装置 日本電子製(JEOL)<br>型式:JEE-400
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