ダイサー

  1. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  2. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  3. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  4. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…
  5. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  6. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  7. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  8. ヒュームフード（ドラフトチャンバー）ヤマト科学　M…

  9. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  10. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  1. クリーンベンチ　日本エアーテック　KTV-840KS

  2. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  3. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  4. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  5. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  6. マッチングコントローラー　AS-TECH　RC-11

  7. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  8. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  9. ウェハーマウンター　日東電工　M286N

  10. 四重極質量分析計（Q-MASS）　ファイファー　 QME200
2026年5月
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