ダイサー

  1. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  2. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  3. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  4. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  5. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  6. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  7. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  8. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  9. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  10. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  1. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  2. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  3. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  4. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  5. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  7. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  8. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  9. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  10. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530
2026年5月
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