株式会社未来産業技術研究所
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ダイサー ダイシングソーメーカー:ディスコ Disco 型式:DAD522最大ウェーハサイズ:6インチ(φ152.4mm)ダイシングとは、…
メーカー:Disco(ディスコ) 型式:DFD-2D/8(X軸)ストローク設定範囲:3"~8"Φ / ストローク:635mm / 切削有効ス…
ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ Messtek製 …
プラズマCVD装置(プラズマ窒化装置)ワイエス工業製…
ツインコーター JEOL製(日本電子)JEC-550 –…
RF電源 RF POWER PRODUCTS RF5S
バイオクリーンベンチ ESCO BCB-4E7
6軸ロボットアーム ファナック製(FANUC)LR Mate 2…
イオンスパッタ装置 日立製 E-1030
紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置 テクノビジ…
冷却水循環装置(空冷チラー)オリオン機械製 RKE-1…
スパッタ装置(3元多層式) アネルバ L-250S-FH
ターボ分子ポンプ PFEIFFER TMH261/TC600
空冷チラー(冷却水循環装置)EYELA製(東京理化器械…
サーモカップル真空計 アネルバ MTG-012
スクロールポンプ アネスト岩田 ISP-500B
真空蒸着装置 アルバック VPC-260-[M241210A02]
RF電源 ADVANCED ENERGY MDX pinnacle 12kW
レーザー変位計 KEYENCE LK-G5000/LK-H050
EPMA 電子線マイクロアナライザー 島津製作所 EPMA…
ウェハーマウンター 日東電工 M286N
ウェハー表面検査装置 Micro MAX System ビジョンサ…