ダイサー

  1. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  2. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  3. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  4. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C
  5. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  6. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  8. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  9. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  10. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  1. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  2. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  4. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  5. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  6. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  7. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  8. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  9. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  10. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050
2026年4月
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