ダイサー

  1. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  2. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  3. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  4. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  5. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  6. 真空蒸着装置　アネルバ　EVC-1701
  7. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  9. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…
  10. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  1. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  2. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  3. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]
  4. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  5. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  6. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  7. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
  8. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…
  9. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03
  10. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
2025年11月
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