ダイサー
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クリーンオーブン ヤマト科学製 DE610-[M230609A01]
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イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー JEOL…
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エリプソメーター 溝尻光学工業 DVA-36L3
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ターボ分子ポンプ 島津製作所 TMP-803LM(O)
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多関節産業ロボット(6軸)ファナック製 型式M-10iA…
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6軸ロボットアーム ファナック製(FANUC)LR Mate 2…
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ドライポンプ 樫山 NeoDry36E
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エネルギー分散型X線分析装置 島津製作所 EDX-720
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AFM – 原子間力顕微鏡 SII(現;日立ハイテク…
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バンプボンダー 新川 SBB-110super – [M2309…
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表面粗さ測定(魔鏡/透明体測定) レイテックス製 …
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クライオポンプ アルバック製<br>型式:CRYO-U6H (…
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ターボ分子ポンプ PFEIFFER SplitFlow 290/TC110
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マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…
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DC電源 – スパッタ電源 EN-Technologies E…
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AFM – 原子間力顕微鏡 SII(現;日立ハイテク…
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ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ バリアン HS…
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スクロールポンプ エドワーズ nXDS10i-[M240628A05]
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真空蒸着装置 アルバック VPC-410
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産業用多関節ロボット 三菱電機製<br>型式:RV-4FL-…
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