ダイサー

  1. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  2. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  3. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  5. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  6. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  7. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  8. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  9. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  1. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  2. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  3. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  4. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  6. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  7. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…
  8. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  9. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …
  10. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…
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