ダイサー
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ドライポンプ/メカブポンプ 樫山製/アルバック製<…
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恒温器(防爆仕様)エスペック ESPEC LU-114
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ドライエッチング装置 ナノテック製<br>型式:NCP-4…
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冷却水循環装置(空冷チラー)オリオン機械製 RKED9…
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AFM – 原子間力顕微鏡 SII(現;日立ハイテク…
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イオンスパッタ装置 日立製<br>型式:E-1010 (M2011…
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粒子径分布測定装置-粒度分布計 堀場製作所-HORIBA…
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倒立顕微鏡 ニコン – Nikon ECLIPSE TS100
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RF Plasma Generator MKS/ENI ELITE-300
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赤外線ランプ加熱装置 アドバンス理工 QHC-P610CP
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ドライポンプ 樫山工業 – KASHIYAMA SDE1203…
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電離真空計 イオンゲージ アネルバ M-922HG 測定…
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モーターポンプ 日機装 HT23C-B2
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マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…
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AFM – 原子間力顕微鏡 SII(現;日立ハイテク…
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超純水製造装置 ミリポア製 Mill-Q Integral 5 -[M…
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恒温恒湿槽 アドバンテック製 THR040FA-[M240209A1…
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高信頼性電源(CVCC)菊水電子工業製<br>型式:PAN60…
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DC電源 – スパッタ電源 EN-Technologies E…
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クライオポンプ アルバック製<br>型式:CRYO-U6H (…
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