株式会社未来産業技術研究所
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ダイサー ダイシングソーメーカー:ディスコ Disco 型式:DAD522最大ウェーハサイズ:6インチ(φ152.4mm)ダイシングとは、…
メーカー:Disco(ディスコ) 型式:DFD-2D/8(X軸)ストローク設定範囲:3"~8"Φ / ストローク:635mm / 切削有効ス…
スピンコーター ミカサ製 1H-360S
スカラロボット(4軸)ヤマハ製 YK600XG
冷却水循環装置(水冷チラー)オリオン機械 RKED220…
3Dプリンター Stratasys uPrint SE Plus
スクロールポンプ アネスト岩田 ISP-250C
イオンスパッタ装置(成膜装置)日立製 E-1020-[M22…
空冷チラー(冷却水循環装置)EYELA製(東京理化器械…
恒温器(防爆仕様)エスペック ESPEC LU-114
イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー JEOL…
DC電源 – スパッタ電源 EN-Technologies E…
FE-SEM 走査型電子顕微鏡 JEOL 日本電子 JSM-6700F
マイクロ波電源 アドテック製 ARP Series-[M230622…
ターボ分子ポンプ PFEIFFER SplitFlow 290/TC110
モーターポンプ 日機装 HT23C-B2
クライオポンプ アルバック製<br>型式:CRYO-U6H (…
RF Plasma Generator MKS/ENI ELITE-300
ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ バリアン HS…
走査電子顕微鏡(卓上SEM)日立ハイテク Miniscope …
空冷チラー ユニットクーラー オリオン機械 RKS15…
スクロールポンプ エドワーズ nXDS10i-[M240628A05]