ダイサー

  1. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
  2. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  3. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  5. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  6. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  7. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  8. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  9. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  10. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  1. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  2. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  4. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  5. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  6. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  7. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  8. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  9. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  10. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
2026年2月
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