ダイサー

  1. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  2. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
  3. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  4. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  5. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  6. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  7. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  8. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
  9. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  10. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  2. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  3. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  4. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  5. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  6. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  7. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  8. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  9. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
2026年3月
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