ダイサー

  1. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  2. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  3. 真空凍結乾燥機　日本フリーザー　BFD-6F2

  4. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  5. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  6. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  7. 低温恒温槽　エスペック製　MC-711T

  8. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  9. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  10. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  1. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  2. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  3. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  4. 四重極質量分析計（Q-MASS）　ファイファー　 QME200

  5. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  6. 遠心エバポレーター　アズワン　CVE-2AS

  7. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  8. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  9. ウェハーマウンター　日東電工　M286N

  10. サーモカップル真空計　アネルバ　MTG-012
2026年5月
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