ダイサー

  1. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  2. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  3. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  4. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  5. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  6. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  7. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  8. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  9. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  1. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  2. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  3. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  4. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP
  5. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  6. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  7. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  8. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  9. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  10. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
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