ダイサー

  1. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…
  2. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  3. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  4. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  5. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  6. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  7. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  8. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  9. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  10. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  1. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  2. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  3. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  4. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  5. マッチングコントローラー　AS-TECH　RC-11
  6. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  7. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-151/EI-151G（コ…

  8. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  9. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  10. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F
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