ダイサー

  1. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  2. 複合ガス検知器　MultiRAE IR（Multi-GAS MONITOR）…

  3. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  4. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  5. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　MAG2000／MAG.DRIVE 200…

  6. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  7. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  8. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  9. 真空オーブン　ヤマト科学　ADP200

  10. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  1. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  2. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  3. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  4. 高度加速寿命試験装置（HAST装置）エスペック　EHS-4…

  5. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  6. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  7. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  8. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  10. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
2026年6月
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