ダイサー
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スパッタ装置 – オートファインコーター 日本…
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レーザー顕微鏡(超深度形状測定顕微鏡)キーエンス…
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イオンスパッタ装置 日立製<br>型式:E-1010 (M2011…
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ドライポンプ/メカブポンプ 樫山製/アルバック製<…
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パーティクルカウンター リオン製<br>型式:KM-33 …
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クリーンオーブン ヤマト科学製 DE610-[M230609A01]
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表面研磨機 BUEHLER MetaServ250
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紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置 テクノビジ…
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反射分光膜厚測定装置 大塚電子 FE-3000
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デジタルマイクロスコープ キーエンス製<br>型式:V…
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表面研磨機 BUEHLER MetaServ250
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高信頼性電源(CVCC)菊水電子工業製<br>型式:PAN60…
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赤外線ランプ加熱装置 アドバンス理工 QHC-P610CP
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スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
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超純水製造装置 ミリポア製 Mill-Q Integral 5 -[M…
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マイクロ波電源 アドテック製 ARP Series-[M230622…
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産業用多関節ロボット 三菱電機製<br>型式:RV-4FL-…
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ウェハー表面検査装置 Micro MAX System ビジョンサ…
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モーターポンプ 日機装 HT23C-B2
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パーツフィーダー ダイシン製<br>型式:D-15KFW-03
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