ダイサー

  1. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  2. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  3. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  4. RF電源　RF POWER PRODUCTS　RF5S

  5. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  6. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…
  7. イオンスパッタ装置、日立、E1030

    イオンスパッタ装置　日立製　E-1030

  8. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  9. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  10. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH

  1. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH261/TC600

  2. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  3. サーモカップル真空計　アネルバ　MTG-012

  4. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-500B

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  6. RF電源　ADVANCED ENERGY　MDX pinnacle 12kW

  7. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  8. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  9. ウェハーマウンター　日東電工　M286N
  10. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
2026年6月
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