ダイサー

  1. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  2. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  3. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…
  4. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  5. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  6. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  7. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  8. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  9. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  10. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP
  1. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  2. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  3. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  4. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  6. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  7. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  8. ロータリーエバポレーター　EYELA　N-1100　付属機器…

  9. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  10. 検査用光源ユニット　ウシオ電機　Optical Modulex　…
2026年5月
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