硬化装置

  1. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  2. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  3. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…
  4. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  5. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  6. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…
  7. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  8. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  9. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  10. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  2. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  3. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  4. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…
  5. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  6. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  7. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  8. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  9. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
  10. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…
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