硬化装置

  1. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081-[M23041…

  2. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  3. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  4. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  5. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  6. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  7. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  8. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  9. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  10. 真空蒸着装置　アネルバ　EVC-1701
  1. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  2. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  3. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  4. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  5. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
  6. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  7. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  8. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  9. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  10. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]
2025年11月
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