硬化装置

  1. 表面性試験機　HEIDON　TYPE:14FW

  2. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  3. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  4. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  5. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  6. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  7. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  8. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  9. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  10. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  1. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  3. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  4. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  5. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
  6. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
  7. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  8. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  9. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  10. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…
2026年1月
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