硬化装置

  1. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  2. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300
  3. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…
  4. イオンスパッタ装置、日立、E1030

    イオンスパッタ装置　日立製　E-1030

  5. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  6. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  7. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  8. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  9. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  10. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  2. ドライポンプ　Kashiyama　NeoDry15E

  3. 露光装置　日本電池　MAN250NLJ/MRL250SM

  4. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  5. 真空凍結乾燥機　日本フリーザー　BFD-6F2

  6. ターボ分子ポンプ　BOC EDWARDS　STP-300

  7. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-500B

  8. ロータリーエバポレーター　EYELA　N-1100　付属機器…

  9. RF電源　RFPP　RF10S

  10. イオンゲージ　電離真空計　アネルバ　M-430HG
2026年6月
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