硬化装置

  1. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…
  2. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  4. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  5. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…
  6. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  7. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  8. デジタルマイクロスコープ　キーエンス　VW-6000 &#8…

  9. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  10. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  1. 真空乾燥機　アズワン　AVO-310V
  2. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  3. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  4. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  5. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
  6. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…
  7. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  8. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  9. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  10. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
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