硬化装置

  1. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081-[M23041…
  2. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  3. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…
  4. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  5. 冷却水循環装置（空冷チラー）EYELA製　CA-3110 &#82…

  6. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  8. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  9. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
  10. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  1. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  2. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…
  3. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  4. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  5. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  6. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  7. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
  8. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  10. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250
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