硬化装置

  1. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  2. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  3. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  4. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  5. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  6. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  7. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  8. デジタルマイクロスコープ　キーエンス　VW-6000 &#8…

  9. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  10. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…
  1. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  2. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  3. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  4. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  5. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  6. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  7. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  8. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  9. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
  10. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…
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