硬化装置

  1. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  2. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  3. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  4. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
  5. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  6. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  7. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
  8. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  9. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  10. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  1. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  2. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  3. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  4. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  5. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  6. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  7. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  8. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  9. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  10. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
2026年3月
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