硬化装置

  1. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  2. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  3. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  4. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  5. バンプボンダー　新川　SBB-110super – [M2309…

  6. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  7. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  8. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  9. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  10. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  1. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  2. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
  3. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  4. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  5. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  6. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  7. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  8. 真空乾燥機　アズワン　AVO-310V

  9. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000

  10. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…
2026年1月
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