硬化装置

  1. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  2. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  3. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…
  4. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  5. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  6. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  7. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…
  8. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …
  9. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  10. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…
  1. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  2. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  3. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  5. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  6. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  7. 真空乾燥機　アズワン　AVO-310V
  8. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  10. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
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