硬化装置

  1. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…
  2. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  3. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  4. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  5. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  6. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-90…

  7. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  8. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  9. ドライポンプ　樫山　NeoDry-30E

  10. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  1. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250
  2. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  3. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  5. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  6. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  7. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  8. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  9. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  10. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …
2025年11月
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