硬化装置

  1. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-90…

  2. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  3. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  4. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…
  5. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  6. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  7. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  8. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  9. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  10. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  1. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  2. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  3. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…
  4. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  5. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  6. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  7. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  8. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E
  9. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  10. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
2025年12月
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