硬化装置

  1. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  2. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  3. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  4. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  5. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  6. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  7. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  8. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250
  9. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  10. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  1. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  2. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  3. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  5. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  6. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  7. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  8. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  9. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  10. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
2026年3月
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