硬化装置

  1. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  2. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  3. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…
  4. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  5. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100
  6. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  7. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  8. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  9. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  10. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  1. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  2. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  3. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  4. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  5. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  6. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  7. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  8. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…
  9. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  10. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
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