硬化装置

  1. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  2. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  3. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  4. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  5. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  6. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  7. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N

  8. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  9. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  10. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH

  1. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…
  2. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  3. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  4. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
  5. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  6. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  7. ターボ分子ポンプ　ファイファー　THM262/TC100
  8. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  9. マッチングコントローラー　AS-TECH　RC-11

  10. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100
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