硬化装置

  1. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  2. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…
  3. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  4. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  5. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  6. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  7. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  8. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  9. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  1. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  2. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  3. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  4. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  5. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
  6. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  7. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  8. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  9. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  10. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…
2026年4月
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