硬化装置

  1. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  2. ドライポンプ 樫山 NeoDry36E

  3. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ Messtek製 …

  4. 表面研磨機 BUEHLER MetaServ250

  5. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置 日立製<br>型式:E-1010 (M2011…

  6. エリプソメーター 溝尻光学工業 DVA-36L3

  7. 6軸ロボットアーム ファナック製(FANUC)LR Mate 2…

  8. 反射分光膜厚測定装置 大塚電子 FE-3000 

  9. マニュアルプローバー 日本マイクロニクス 705B-[M…

  10. ターボ分子ポンプ 島津製作所 TMP-803LM(O)

  1. マイクロ波電源 アドテック製 ARP Series-[M230622…

  2. 反射分光膜厚測定装置 大塚電子 FE-3000 

  3. ドライポンプ 樫山工業 – KASHIYAMA SDE1203…

  4. 倒立顕微鏡 ニコン – Nikon ECLIPSE TS100

  5. 真空蒸着装置 日本電子製(JEOL)<br>型式:JEE-400

  6. AFM – 原子間力顕微鏡 SII(現;日立ハイテク…

  7. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System ビジョンサ…

  8. 表面粗さ測定(魔鏡/透明体測定) レイテックス製 …

  9. プラズマ処理装置 神港精機 POEM

  10. 真空蒸着装置 アルバック VPC-410

2026年3月
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