硬化装置

  1. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  2. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  3. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  4. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  5. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  6. バンプボンダー　新川　SBB-110super – [M2309…

  7. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)
  8. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  9. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
  10. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  1. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  2. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
  3. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  4. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  5. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  6. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  7. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000
  8. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  9. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  10. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
2026年1月
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