硬化装置

  1. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  2. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  3. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  4. デジタルマイクロスコープ　キーエンス　VW-6000 &#8…

  5. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  6. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  7. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  8. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  9. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  10. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  1. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  2. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  3. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…
  4. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  5. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)
  6. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  7. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  8. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  9. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  10. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
2026年3月
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