硬化装置

  1. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  2. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  3. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  4. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…
  5. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  6. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  8. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…
  9. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  10. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  1. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…
  2. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  3. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  4. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  5. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  6. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  7. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  8. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP
  9. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  10. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
2026年3月
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