硬化装置

  1. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  2. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  3. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  4. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  5. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  6. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  7. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  8. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  9. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  10. 走査電子顕微鏡（卓上SEM）日立ハイテク　Miniscope …

  1. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600
  2. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  3. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  4. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  5. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
  6. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  7. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  8. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  9. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  10. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …
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