硬化装置

  1. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…
  2. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  3. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  4. バンプボンダー　新川　SBB-110super – [M2309…

  5. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  6. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  7. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  8. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  9. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  1. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  3. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  4. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  5. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  6. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  7. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  8. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …
  9. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  10. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
2026年2月
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