硬化装置

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  2. ヒュームフード（ドラフトチャンバー）ヤマト科学　M…

  3. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  4. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  5. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  6. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  7. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  8. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  9. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  10. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…
  1. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  2. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  3. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  4. ロータリポンプ　エドワーズ　E2M40
  5. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  6. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  7. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  9. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  10. 遠心エバポレーター　アズワン　CVE-2AS
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