硬化装置

  1. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  2. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  3. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  4. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  5. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  6. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  7. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  8. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  9. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  10. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  1. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  2. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  3. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  4. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  5. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  6. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  7. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  8. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  9. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  10. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
2026年4月
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