硬化装置

  1. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  2. バンプボンダー　新川　SBB-110super – [M2309…

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  4. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  5. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  6. 冷却水循環装置（空冷チラー）EYELA製　CA-3110 &#82…

  7. 真空蒸着装置　アネルバ　EVC-1701

  8. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  9. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  10. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  1. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
  2. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  3. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  4. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  5. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  6. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  7. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  8. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  9. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  10. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
2025年11月
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