硬化装置

  1. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  2. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  3. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  5. バンプボンダー　新川　SBB-110super – [M2309…

  6. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  7. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  8. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  9. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  10. 表面性試験機　HEIDON　TYPE:14FW

  1. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…
  2. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  3. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  4. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
  5. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  6. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  7. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  8. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  9. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  10. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
2025年12月
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