硬化装置

  1. 真空凍結乾燥機　日本フリーザー　BFD-6F2

  2. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  3. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  4. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050
  5. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  6. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  7. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  8. RF電源　RFPP　RF20S

  9. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　MAG2000／MAG.DRIVE 200…

  10. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  2. チラー 冷却水循環装置　アズワン　LCT-450A

  3. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  4. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  5. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  6. ターボ分子ポンプ　BOC EDWARDS　STP-300

  7. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  8. FE-SEM 走査型電子顕微鏡　JEOL 日本電子　JSM-6700F
  9. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…
  10. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03
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