硬化装置

  1. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  2. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  3. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]
  4. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  5. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  6. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  7. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  8. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  9. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  1. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  2. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  3. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  4. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  5. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  6. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…
  7. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  8. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  9. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  10. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
2026年3月
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