硬化装置

  1. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  2. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A
  3. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  4. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  5. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…
  6. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  7. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC
  8. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  9. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  10. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  1. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  2. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  4. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  5. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
  6. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  7. ロータリポンプ　エドワーズ　E2M40
  8. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
  9. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  10. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
2026年5月
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