硬化装置

  1. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  2. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  3. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  4. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  5. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  6. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…
  7. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  8. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  9. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  10. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…
  1. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  2. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  3. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  4. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  5. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  6. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
  7. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  8. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  9. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  10. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…
2026年4月
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