硬化装置

  1. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  2. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  3. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  4. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  5. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  6. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  7. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  8. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  9. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  10. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  1. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  2. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  3. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  4. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  5. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP
  6. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  7. クリーンベンチ　日本エアーテック　KTV-840KS
  8. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  9. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  10. 遠心エバポレーター　アズワン　CVE-2AS
2026年5月
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