硬化装置

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    ドライエッチング装置 ナノテック製<br>型式:NCP-4…

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    高信頼性電源(CVCC)菊水電子工業製<br>型式:PAN60…

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  3. ターボ分子ポンプ PFEIFFER SplitFlow 290/TC110

  4. オートファインコーター(スパッタ装置)日本電子(JE…

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  6. デジタル・エレクトロメーターDIGTAL ELECTROMETER …

  7. イオンスパッタ装置、日立、E1030

    イオンスパッタ装置 日立製 E-1030

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  10. プラズマCVD装置(プラズマ窒化装置)ワイエス工業製…

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