硬化装置

  1. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  2. 真空オーブン　ヤマト科学　ADP200

  3. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  4. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  5. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
  6. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  7. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  8. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  9. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  10. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  1. ターボ分子ポンプ　BOC EDWARDS　STP-300

  2. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  3. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  4. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  5. プログラムフリーザー　低温水槽　FUJIHIRA　ET-1N
  6. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  7. 電気マッフル炉　島津製作所　MP-15

  8. クリーンベンチ　日本エアーテック　KTV-840KS

  9. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  10. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…
2026年5月
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