硬化装置

  1. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  3. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-90…

  4. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  5. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  6. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  7. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  9. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  10. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  1. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  2. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…
  3. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  4. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  5. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  6. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  7. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  8. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  9. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
  10. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…
2025年12月
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