硬化装置

  1. スカラロボット(4軸)ヤマハ製 YK600XG

  2. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置 ソニープレシジョン製<br>型式…

  3. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置 日立製<br>型式:E-1010 (M2011…

  4. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター リオン製<br>型式:KM-33 …

  5. マニュアルプローバー 日本マイクロニクス 705B-[M…

  6. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ Messtek製 …

  7. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421(M210114A05)

    デジタルリンクアナライザー ANDO製(安藤)<br>型…

  8. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着/スパッタ共用装置 サンユー電子製<br>型…

  9. 真空蒸着装置 アルバック VPC-410

  10. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  1. 真空蒸着装置 日本電子製(JEOL)<br>型式:JEE-400

  2. 高信頼性電源(CVCC)・菊水電子工業・PAN600-2A(M201222A01)

    高信頼性電源(CVCC)菊水電子工業製<br>型式:PAN60…

  3. 高真空排気装置 DIAVAC DA-A412Z

  4. AFM – 原子間力顕微鏡 SII(現;日立ハイテク…

  5. 恒温恒湿槽 アドバンテック製 THR040FA-[M240209A1…

  6. レーザー顕微鏡 キーエンス VK-9510

  7. 反射分光膜厚測定装置 大塚電子 FE-3000 

  8. ドライポンプ 樫山工業 – KASHIYAMA SDE1203…

  9. プラズマ処理装置 神港精機 POEM

  10. 真空蒸着機 日本電子(JEOL) JEE-420T

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