硬化装置

  1. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  2. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  3. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  4. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  5. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  6. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  7. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  8. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  9. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  10. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  1. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  2. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
  3. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  5. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  6. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  7. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  8. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
  9. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  10. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
2026年4月
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