硬化装置

  1. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  2. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  3. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  4. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
  5. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  6. ダイサー　ディスコ　DAD522
  7. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  8. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…
  9. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  10. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  2. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  3. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  4. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  6. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  7. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  8. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…
  9. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  10. ロータリポンプ　エドワーズ　E2M40
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