硬化装置

  1. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421(M210114A05)

    デジタルリンクアナライザー ANDO製(安藤)<br>型…

  2. レーザー顕微鏡(超深度形状測定顕微鏡)キーエンス…

  3. オイルフリースクロールコンプレッサー コベルコ E…

  4. ドライポンプ 樫山 NeoDry36E

  5. スピンコーター ミカサ製 1H-360S

  6. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ アルバック製(Ulvac)DIS-251

  7. マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…

  8. 恒温恒湿槽 アドバンテック製 THR040FA-[M240209A1…

  9. 冷却水循環装置(水冷チラー)オリオン機械 RKED220…

  10. 電離真空計 イオンゲージ アネルバ M-922HG 測定…

  1. 空冷チラー ユニットクーラー オリオン機械 RKS15…

  2. カーボンコーター 日本電子(JEOL) JEC-530

  3. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置(UV照射装置) アイグラフィック製<…

  4. 真空蒸着装置 アルバック VPC-260-[M241210A02]

  5. バイオクリーンベンチ ESCO BCB-4E7

  6. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ バリアン HS…

  7. 真空蒸着装置 日本電子製(JEOL)<br>型式:JEE-400

  8. レーザー顕微鏡 キーエンス VK-9510

  9. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ アルバック製(Ulvac)DIS-251

  10. 反射分光膜厚測定装置 大塚電子 FE-3000 

2026年4月
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