硬化装置

  1. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  2. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  3. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  4. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  5. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  6. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  7. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  8. バンプボンダー　新川　SBB-110super – [M2309…

  9. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…
  10. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  2. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100
  3. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  4. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  5. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  6. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  7. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  8. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  10. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…
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