硬化装置

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  2. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
  3. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  4. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  5. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  6. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  7. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　MAG2000／MAG.DRIVE 200…

  8. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  9. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  10. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3
  1. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  2. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  3. RF電源　RFPP　RF10S

  4. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  5. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  6. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  7. 電気マッフル炉　島津製作所　MP-15

  8. 四重極質量分析計（Q-MASS）　ファイファー　 QME200

  9. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　HiPace700/TC400

  10. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
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