硬化装置

  1. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  2. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  3. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  4. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  5. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  6. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…
  7. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  8. バンプボンダー　新川　SBB-110super – [M2309…

  9. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  10. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  1. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  2. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  3. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  4. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  5. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  6. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  7. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…
  8. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  9. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  10. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
2026年2月
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