硬化装置

  1. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  2. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  3. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  4. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  5. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…
  6. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  7. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  8. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  9. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  10. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  1. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  2. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  3. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  4. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  5. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  6. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  7. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  8. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  9. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  10. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …
2026年3月
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