硬化装置

  1. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  2. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  3. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  5. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  6. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  7. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300
  8. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  9. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  10. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  1. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  2. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  4. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  5. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  6. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…
  7. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  8. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110
  9. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…
  10. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…
2026年4月
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