硬化装置

  1. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  2. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  3. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  4. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  5. デジタルマイクロスコープ　キーエンス　VW-6000 &#8…
  6. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  7. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  8. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  9. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  10. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  1. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  2. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  3. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  4. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  5. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  6. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  7. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
  8. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  9. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720
  10. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…
2026年3月
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