硬化装置

  1. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  2. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  3. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081-[M23041…

  4. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  5. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  6. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  7. 冷却水循環装置（空冷チラー）EYELA製　CA-3110 &#82…

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  9. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  10. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  1. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  2. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
  3. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03
  4. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  5. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  6. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  7. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  8. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  9. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  10. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
2025年12月
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