硬化装置

  1. RF電源　RFPP　RF20S

  2. 熱プレス機　TSK月島プラスチック　Lodestar20t

  3. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020

  4. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  5. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  6. リアルタイムスペクトラムアナライザ　テクトロニク…

  7. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  8. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  9. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  10. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  1. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  2. VOCセンサー　理研計器　VOC-121H

  3. 光学防振台　明立精機　RHS-1209K4CL

  4. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  5. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-151/EI-151G（コ…

  6. 露光装置　日本電池　MAN250NLJ/MRL250SM

  7. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  8. 液晶重ね合わせ装置　中央精機　LCM-ST
  9. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…
  10. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
2026年6月
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