硬化装置

  1. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  2. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  3. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  4. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  5. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  6. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  7. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  8. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  9. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  10. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  1. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  2. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  3. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  4. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  5. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  6. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…
  7. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  8. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  9. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  10. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
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