硬化装置

  1. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  2. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  3. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-151/EI-151G（コ…
  4. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  5. 真空オーブン　ヤマト科学　ADP200

  6. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　MAG2000／MAG.DRIVE 200…

  7. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  8. 低温恒温槽　エスペック製　MC-711T

  9. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J
  10. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…
  1. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  2. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…

  3. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  4. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  5. クリーンベンチ　日本エアーテック　KTV-840KS

  6. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  7. ウェハーマウンター　日東電工　M286N

  8. パルスユニット　アルバック　A2KH-25

  9. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  10. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-151/EI-151G（コ…
2026年5月
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