硬化装置

  1. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  2. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  3. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  4. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  5. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  6. 低温恒温槽　エスペック製　MC-711T

  7. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  8. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  9. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  10. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  1. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  2. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-4KP

  3. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  4. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  5. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  6. パルスユニット　アルバック　A2KH-25

  7. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  8. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  9. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  10. イオンゲージ　電離真空計　アネルバ　M-430HG
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