硬化装置

  1. 倒立顕微鏡 ニコン – Nikon ECLIPSE TS100

  2. スクロールポンプ アネスト岩田 ISP-250C

  3. マイクロ波電源 IDX製 IMG-2503S-[M230622A03]

  4. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置 日立製<br>型式:E-1010 (M2011…

  5. レーザー顕微鏡 キーエンス VK-9510

  6. 空冷チラー(冷却水循環装置)EYELA製(東京理化器械…

  7. AOI基板外観検査装置 inspec製(インスペック)SX10…

  8. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ Messtek製 …

  9. 反射分光膜厚測定装置 大塚電子 FE-3000 

  10. 真空蒸着装置 アルバック VPC-410

  1. モーターポンプ 日機装 HT23C-B2

  2. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー JEOL…

  3. マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…

  4. DC電源 – スパッタ電源 EN-Technologies E…

  5. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  6. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置(UV照射装置) アイグラフィック製<…

  7. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ アルバック製<br>型式:CRYO-U6H (…

  8. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置 テクノビジ…

  9. 高真空排気装置 DIAVAC DA-A412Z

  10. スピンコーター ミカサ製 1H-360S

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