硬化装置

  1. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  2. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  3. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  4. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  5. デジタルマイクロスコープ　キーエンス　VW-6000 &#8…
  6. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…
  7. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  8. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  9. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  10. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  1. 実体顕微鏡　ニコン-Nikon　SMZ 1000
  2. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  3. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  4. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050
  5. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  6. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  7. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  9. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  10. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
2026年3月
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