硬化装置

  1. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  2. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  3. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  4. スパッタ装置（3元多層式）　アネルバ　L-250S-FH

  5. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  6. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  7. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  8. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  9. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  10. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  1. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH521/TC600

  2. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  3. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  4. 卓上型クリーンブース　アズワン　ピュアスペースPS0…

  5. 超音波洗浄装置　カイジョー　HCW-111-25

  6. 露光装置　日本電池　MAN250NLJ/MRL250SM

  7. パルスユニット　アルバック　A2KH-25

  8. 四重極質量分析計（Q-MASS）　ファイファー　 QME200

  9. サーモカップル真空計　アネルバ　MTG-012

  10. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
2026年5月
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