硬化装置

  1. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  2. RO純水製造装置　東洋紡エンジニアリング　TRO-60A

  3. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  4. RF電源　RF POWER PRODUCTS　RF5S

  5. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  6. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  7. ロックインアンプ　エヌエフ回路設計　5610B

  8. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  9. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  10. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  1. 真空凍結乾燥機　日本フリーザー　BFD-6F2

  2. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　HiPace700/TC400

  3. RF電源　RFPP　RF10S

  4. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40
  5. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  6. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  7. 検査用光源ユニット　ウシオ電機　Optical Modulex　…

  8. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…
  9. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  10. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH261/TC600
2026年6月
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