硬化装置

  1. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
  2. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  3. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  4. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E
  5. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…
  6. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  7. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  8. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  10. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  1. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  2. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  3. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  4. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  5. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  6. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  7. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  9. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…
  10. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
2026年3月
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