硬化装置

  1. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  2. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…
  3. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…
  4. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  5. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  6. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  7. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  8. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  9. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  10. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…
  1. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  2. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  3. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  4. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  5. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  6. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  7. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
  8. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  10. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…
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