硬化装置

  1. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  2. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  3. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  4. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  5. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  6. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  7. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  8. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  9. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…
  10. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  1. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  2. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  3. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  4. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  5. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  6. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  7. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  8. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  9. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…
  10. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…
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