硬化装置

  1. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  2. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  3. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  4. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  5. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  6. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  7. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  8. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  9. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  10. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  1. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
  2. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  3. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  4. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  5. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  6. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  7. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
  8. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  9. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  10. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
2026年3月
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