硬化装置

  1. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  2. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  3. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  4. マスクアライナー（露光装置）canonキャノン製　PLA-…
  5. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  6. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  7. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  8. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  9. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  10. ターボ分子ポンプ排気システム　ファイファー　TSH071
  1. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  2. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  4. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  5. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  6. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  7. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
  8. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  9. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…
  10. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…
2025年9月
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