硬化装置

  1. 反射分光膜厚測定装置 大塚電子 FE-3000 

  2. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着/スパッタ共用装置 サンユー電子製<br>型…

  3. 協調ロボットアーム オムロン TM5-900

  4. プラズマCVD装置(プラズマ窒化装置)ワイエス工業製…

  5. DC電源 – スパッタ電源 EN-Technologies E…

  6. 冷却水循環装置(水冷チラー)オリオン機械製 RKS15…

  7. スクロールポンプ アネスト岩田 DVSL-500CS1-[M231…

  8. 6軸ロボットアーム ファナック製(FANUC)LR Mate 2…

  9. スクロールポンプ アネスト岩田 ISP-250C

  10. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター リオン製<br>型式:KM-33 …

  1. ドライポンプ アルバック製 LR90 – [M240419…

  2. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽 エスペック製<br>型式:PR-2KT (M20121…

  3. DC電源 – スパッタ電源 EN-Technologies E…

  4. カーボンコーター 日本電子(JEOL) JEC-530

  5. RF Plasma Generator MKS/ENI ELITE-300

  6. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ バリアン HS…

  7. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ 日本医科器械<br>型式:VS-16…

  8. マニュアルプローバー 日本マイクロニクス 705B-[M…

  9. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置 エスペック EHS…

  10. クイックコーター(スパッタ装置)サンユー電子製 S…

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