硬化装置

  1. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  2. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  3. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…
  4. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …
  5. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  6. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  7. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  8. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  9. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  10. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  1. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  2. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  3. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  4. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  5. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  6. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  7. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  8. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…
  9. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  10. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
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