硬化装置

  1. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  2. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  3. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  5. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  6. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  7. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  8. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B
  9. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  10. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  2. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  3. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  4. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  5. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  6. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
  7. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  8. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  9. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  10. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
2026年4月
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