硬化装置

  1. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  2. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  3. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  4. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  5. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
  6. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  7. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  8. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  9. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  10. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  1. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  2. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
  3. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  4. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  5. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  6. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  7. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  8. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
  9. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  10. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
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