硬化装置

  1. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  2. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  3. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  4. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  5. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  6. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  7. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  8. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  9. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  10. 冷却水循環装置（空冷チラー）EYELA製　CA-3110 &#82…
  1. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  2. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  3. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  4. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  5. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  6. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  7. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  8. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
  9. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…
  10. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
2025年12月
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