硬化装置

  1. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  2. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  3. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…
  4. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…
  5. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  6. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  7. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  8. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  9. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…
  10. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  1. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z
  2. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  3. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  4. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  5. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  6. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …
  7. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  8. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  9. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…
  10. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
2026年3月
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