硬化装置

  1. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  2. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  4. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
  5. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  6. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  7. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…
  8. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  9. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  10. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  1. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  2. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  3. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  4. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  5. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
  6. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  7. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  8. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  9. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…
  10. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03
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