硬化装置

  1. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  2. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  3. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  4. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  5. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  6. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  7. 表面性試験機　HEIDON　TYPE:14FW

  8. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  9. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  10. バンプボンダー　新川　SBB-110super – [M2309…

  1. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  2. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  3. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  4. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
  5. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  6. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  7. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  8. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  9. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
  10. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…
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