硬化装置

  1. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  2. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  3. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  4. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
  5. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  6. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  7. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  9. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  10. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  1. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  3. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410
  4. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…
  5. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  6. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  7. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  8. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
  9. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  10. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E
2026年3月
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