硬化装置

  1. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  2. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  3. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  5. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…
  6. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  7. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  8. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  9. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  10. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  1. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  2. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  3. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  4. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  5. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…
  6. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  7. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  8. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  9. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  10. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
2026年1月
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