硬化装置

  1. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  2. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  3. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  4. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  5. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  6. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  7. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
  8. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  9. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  10. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…
  1. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  2. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  3. レーザー変位計　KEYENCE　LK-G5000／LK-H050

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  5. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250
  6. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  7. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  8. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  9. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  10. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z
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