硬化装置

  1. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  2. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  3. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  4. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  5. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  6. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  7. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  8. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  9. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  10. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  1. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  2. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  3. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  4. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  5. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  6. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  7. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  8. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  9. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
2026年4月
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