硬化装置

  1. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  2. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  3. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  4. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  5. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  6. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…
  7. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  8. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  9. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  10. デジタルマイクロスコープ　キーエンス　VW-6000 &#8…

  1. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  2. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  3. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  4. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  5. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
  6. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  7. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  8. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  9. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  10. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…
2026年2月
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