硬化装置

  1. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  2. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  4. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  5. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  6. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
  7. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  8. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  9. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  10. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  1. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  2. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  3. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  4. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  5. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2
  6. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…
  7. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  8. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
  9. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410
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