硬化装置

  1. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  2. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  3. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…
  4. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  5. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  6. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…

  7. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…
  8. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  9. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  10. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  1. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  2. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  3. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  4. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720
  5. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…
  6. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  7. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  8. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  9. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
  10. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…
2026年2月
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