硬化装置

  1. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  2. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]

  3. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  4. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…
  5. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  6. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  7. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  8. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  9. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  10. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  1. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …
  2. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  3. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
  4. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
  5. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  6. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  7. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  9. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  10. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
2026年3月
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