硬化装置

  1. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  2. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  3. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  4. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  5. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  6. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  7. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  8. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  9. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  10. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  1. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  2. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  3. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
  4. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  5. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  6. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  7. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  8. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  9. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  10. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
2026年3月
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