硬化装置

  1. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  2. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…
  3. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  4. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  5. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
  6. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  7. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  8. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  9. 表面性試験機　HEIDON　TYPE:14FW

  10. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  1. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  2. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  3. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…
  4. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  5. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  6. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  7. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  8. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  9. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  10. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
2025年12月
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