硬化装置

  1. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  2. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  3. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  4. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  5. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  6. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  7. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  8. マイクロ波電源　IDX製　IMG-2503S-[M230622A03]
  9. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  10. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  1. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
  2. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  3. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  4. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  5. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  6. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  7. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  9. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  10. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
2026年2月
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