硬化装置

  1. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
  2. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  3. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  4. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410
  5. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  6. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  7. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  8. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  9. レーザー顕微鏡（超深度形状測定顕微鏡）キーエンス…

  10. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  1. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
  2. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  3. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  4. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  5. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  6. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…
  7. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  8. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  9. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
  10. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…
2026年3月
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