硬化装置

  1. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  2. スピンコーター　アクティブ　ACT-220AⅡ

  3. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  4. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…

  5. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  6. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  7. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  8. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C

  9. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  10. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  1. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  2. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKE-1…

  3. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  4. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  5. ターボ分子ポンプ　BOC EDWARDS　STP-300

  6. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  7. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  8. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  9. EPMA 電子線マイクロアナライザー　島津製作所　EPMA…

  10. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …
2026年5月
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