硬化装置

  1. 恒温器(防爆仕様)エスペック ESPEC LU-114

  2. 高真空排気装置 DIAVAC DA-A412Z

  3. 反射分光膜厚測定装置 大塚電子 FE-3000 

  4. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ アルバック製(Ulvac)DIS-251

  5. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400(M210108A04)

    ドライエッチング装置 ナノテック製<br>型式:NCP-4…

  6. ロータリーポンプ ライボルト SOGEVAC SV40-65 BIFC

  7. 粒子径分布測定装置-粒度分布計 堀場製作所-HORIBA…

  8. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421(M210114A05)

    デジタルリンクアナライザー ANDO製(安藤)<br>型…

  9. ドライポンプ 樫山 NeoDry36E

  10. 倒立顕微鏡 ニコン – Nikon ECLIPSE TS100

  1. 表面粗さ測定(魔鏡/透明体測定) レイテックス製 …

  2. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー JEOL…

  3. マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…

  4. 超純水製造装置 ミリポア製 Mill-Q Integral 5 -[M…

  5. 高温恒温槽(イナートオーブン) ヤマト科学 DN-43…

  6. レーザー顕微鏡 キーエンス VK-9510

  7. プラズマ処理装置 神港精機 POEM

  8. 電離真空計 イオンゲージ アネルバ M-922HG 測定…

  9. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System ビジョンサ…

  10. 真空蒸着装置 日本電子製(JEOL)<br>型式:JEE-400

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