硬化装置

  1. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R
  2. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  3. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  4. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  5. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  6. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC
  7. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  8. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]
  9. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  10. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…
  1. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  2. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  3. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  4. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  5. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  6. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  7. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  8. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  9. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  10. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
2025年12月
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