硬化装置

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  4. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

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  5. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

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  7. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…
  8. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

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  9. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  10. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  1. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  2. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  3. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  4. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  5. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  6. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  7. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  8. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  9. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…
  10. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251
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