硬化装置

  1. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  2. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  3. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  4. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250
  5. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  6. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  7. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  8. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  9. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  10. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  1. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  2. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  3. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  4. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  5. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  6. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  7. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  8. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  9. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  10. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410
2026年3月
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