硬化装置

  1. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  2. デジタルマイクロスコープ　キーエンス　VW-6000 &#8…

  3. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  4. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  5. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  6. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…
  7. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  8. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  9. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  10. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…
  1. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  2. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  3. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  4. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  5. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  6. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…

  7. 真空乾燥機　アズワン　AVO-310V

  8. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  9. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  10. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
2026年1月
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