硬化装置

  1. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  2. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…
  3. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  4. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  5. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  6. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  7. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  8. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  9. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  10. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  1. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  2. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  3. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
  4. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…
  5. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  6. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  7. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  8. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410
  9. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  10. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …
2026年2月
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