硬化装置

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]
  2. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…
  3. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  4. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  5. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081-[M23041…

  6. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  7. 表面性試験機　HEIDON　TYPE:14FW

  8. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  9. オイルフリースクロールコンプレッサー　コベルコ　E…

  10. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  1. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250
  2. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
  3. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  4. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  5. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
  6. チラー（外部開放系循環装置）・ヤマト科学・品名：クールライン・型式：CLH610

    チラー（外部開放系循環装置）ヤマト科学製<br>クー…

  7. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…
  8. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  9. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  10. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
2025年11月
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