硬化装置

  1. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  2. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  3. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  4. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  5. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  6. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  7. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  8. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  9. スクロールポンプ　アネスト岩田　ISP-250C
  10. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  1. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…
  2. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  3. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  4. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  5. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  6. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…
  7. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  8. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  9. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…

  10. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
2026年4月
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