硬化装置

  1. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  2. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  3. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  4. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  5. デジタルマイクロスコープ　キーエンス　VW-6000 &#8…
  6. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  7. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  8. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  9. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  10. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  1. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  2. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  3. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720
  4. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  5. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  6. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  7. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  8. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  9. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  10. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7
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