硬化装置

  1. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  2. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  3. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  4. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  5. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  6. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  7. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  8. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  9. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…

  10. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  1. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  2. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  3. ターボ分子ポンプ　LEYBOLD　TURBOVAC 361　（コント…

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  5. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B

  6. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  7. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  8. 遠心エバポレーター　アズワン　CVE-2AS

  9. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  10. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…
2026年5月
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