硬化装置

  1. 高温恒温槽(イナートオーブン) ヤマト科学 DN-43…

  2. RF電源 高周波電源 アドバンスエナジー RFX-600A

  3. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着/スパッタ共用装置 サンユー電子製<br>型…

  4. 協調ロボットアーム オムロン TM5-900

  5. EPMA 電子線マイクロアナライザー 島津製作所 EPMA…

  6. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421(M210114A05)

    デジタルリンクアナライザー ANDO製(安藤)<br>型…

  7. ロータリーポンプ ライボルト SOGEVAC SV40-65 BIFC

  8. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ アルバック製(Ulvac)DIS-251

  9. バイオクリーンベンチ ESCO BCB-4E7

  10. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  1. スピンコーター ミカサ製 1H-360S

  2. 反射分光膜厚測定装置 大塚電子 FE-3000 

  3. 真空蒸着装置 アルバック VPC-260-[M241210A02]

  4. マスクアライナー 露光装置 ミカサ製 MA-20-[M240…

  5. レーザー顕微鏡 キーエンス VK-9510

  6. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置(UV照射装置) アイグラフィック製<…

  7. ロータリポンプ エドワーズ E2M40

  8. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System ビジョンサ…

  9. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー ダイシン製<br>型式:D-15KFW-03

  10. 空冷チラー ユニットクーラー オリオン機械 RKS15…

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