硬化装置

  1. 恒温恒湿槽　エスペック　PL-1J

  2. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP

  3. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…

  4. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  5. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…
  6. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  7. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  8. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  9. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  10. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  1. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  2. ドラフトチャンバー　オリエンタル技研　RCG-ST-1200E

  3. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  4. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  5. 四重極質量分析計（Q-MASS）　ファイファー　 QME200

  6. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  7. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  8. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  9. ドライポンプ　BOC EDWARDS エドワーズ　QDP40

  10. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …
2026年5月
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