硬化装置

  1. マイクロ波発振器／電源　IDX　IMG-5202B
  2. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  3. プラズマクリーナー　サムコ　PC-300

  4. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  5. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  6. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
  7. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…
  8. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  9. エリプソメーター　溝尻光学工業　DVA-36L3

  10. 3Ｄプリンター　Stratasys　uPrint SE Plus

  1. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  2. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  3. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …

  4. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  5. 四重極質量分析計（Q-MASS）　ファイファー　 QME200

  6. 液晶重ね合わせ装置　中央精機　LCM-ST

  7. ロータリポンプ　エドワーズ　E2M40
  8. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
  9. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  10. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
2026年5月
月 火 水 木 金 土 日
 123
45678910
11121314151617
18192021222324
25262728293031