硬化装置

  1. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG
  2. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…
  3. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…
  4. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …

  5. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  6. ピエゾステージ/ドライバ/コントローラ　Messtek製　…
  7. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…
  8. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  10. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  1. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
  2. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  3. 高真空排気装置　DIAVAC　DA-A412Z

  4. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  5. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  6. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  7. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  8. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  9. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  10. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
2026年3月
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