硬化装置

  1. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  2. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  3. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  4. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  5. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  6. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  7. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP
  8. クリーンベンチ_日立_PCV1915BE2

    クリーンベンチ　日立製<br>型式；PCV1915BE2 （M210…

  9. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  10. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  1. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  2. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  3. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…
  4. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  5. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  6. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  7. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  8. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  9. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  10. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S
2026年2月
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