硬化装置

  1. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  2. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  3. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  4. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  5. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  6. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC
  7. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…

  8. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…
  9. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…
  10. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  1. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  2. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  3. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  4. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  5. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP
  6. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  7. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  8. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  9. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  10. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]
2026年4月
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