硬化装置

  1. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  2. イナートガスオーブン　光洋サーモシステム製　INH-9…

  3. 冷却水循環装置（空冷チラー）EYELA製　CA-3110 &#82…

  4. 協調ロボットアーム　オムロン　TM5-900

  5. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  6. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  7. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  8. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  9. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  10. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…

  1. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…

  2. ドライポンプ　アルバック製　LR90-[M240419A01]

  3. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  4. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  5. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  6. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  7. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  8. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  9. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
  10. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…
2025年11月
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