硬化装置

  1. ドライエッチング装置・ナノテック・NCP-400（M210108A04）

    ドライエッチング装置　ナノテック製<br>型式：NCP-4…

  2. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  3. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  4. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  5. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  6. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  7. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  8. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  9. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…

  10. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  1. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  2. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2
  3. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
  4. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  5. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  6. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  7. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  8. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…

  9. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…
  10. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…
2026年5月
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