硬化装置

  1. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  2. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  4. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  5. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…

  6. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  7. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  8. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  9. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  10. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-410

  2. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  3. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  4. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  5. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  6. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530
  7. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  8. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…

  9. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP
  10. 紫外線照射装置・アイグラフィック・UB011-5A,B MH

    紫外線照射装置（UV照射装置）　アイグラフィック製<…
2026年4月
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