硬化装置

  1. イオンコーター・日立・E-1010

    イオンスパッタ装置　日立製<br>型式：E-1010 (M2011…

  2. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…
  3. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  4. 高温恒温槽　ハイテンプオーブン – エスペック…

  5. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  6. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  7. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  8. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  9. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  10. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  1. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  2. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  3. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
  4. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  5. ターボ分子ポンプ　島津製作所　TMP-803LM(O)

  6. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  7. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  8. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
  9. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  10. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
2026年2月
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