硬化装置

  1. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  2. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  3. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  4. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R

  5. バンプボンダー　新川　SBB-110super – [M2309…

  6. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  7. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]
  8. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  9. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  10. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  1. エアー吸着マット　パイオニア風力機　AM-CB/PV1N-15…
  2. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…

  3. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2
  4. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  5. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  6. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250

  7. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…

  8. プラズマ処理装置　神港精機　POEM
  9. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…

  10. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T
2025年12月
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