硬化装置

  1. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  2. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  3. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械製　RKS15…

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  5. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  6. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  7. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  8. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  9. 恒温恒湿試験器　エスペック　PWL-3KP

  10. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  1. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100

  2. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  3. ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ　バリアン　HS…

  4. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  5. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  6. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  7. スクロールポンプ　エドワーズ　nXDS10i-[M240628A05]

  8. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  10. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…
2026年4月
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