硬化装置

  1. 水晶振動子膜厚コントローラー　アルバック　CRTM-70…

  2. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  3. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  4. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…
  5. パーティクルカウンター・リオン・KM-33

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KM-33 …
  6. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  7. チラー（高性能精密温調装置）HUBER製（英弘精機）UN…

  8. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  9. 真空排気システム　大阪真空製　TG220FVAB PUMPING U…

  10. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-90…

  1. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  2. バイオクリーンベンチ　ESCO　BCB-4E7

  3. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400

  4. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2
  5. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  6. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  7. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  8. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  9. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  10. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250
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