硬化装置

  1. ツインコーター　JEOL製（日本電子）JEC-550 –…
  2. 非接触形状測定装置・ソニープレシジョン・YP21-T07

    非接触形状測定装置　ソニープレシジョン製<br>型式…

  3. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
  4. デジタルマイクロスコープ・キーエンス・VHX-100F(M210108A17)

    デジタルマイクロスコープ　キーエンス製<br>型式：V…

  5. 産業用ロボットアーム（6軸多関節ロボット）デンソー…
  6. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  7. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…

  8. 金型温調機　カワタ製　TW-75LD-[M230317A01]

  9. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  10. ドライポンプ　樫山　NeoDry36E

  1. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  2. マスクアライナー　露光装置　ミカサ製　MA-20-[M240…

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  4. 表面粗さ測定（魔鏡／透明体測定）　レイテックス製 …

  5. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  6. 表面研磨機　BUEHLER　MetaServ250
  7. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  8. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　
  9. マクロ検査装置VP、micro-MX System、VMB-1200P-M

    ウェハー表面検査装置 Micro MAX System　ビジョンサ…
  10. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…
2026年1月
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