硬化装置

  1. ワイヤーボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　…

  2. マニュアルプローバー　日本マイクロニクス　705B-[M…

  3. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  4. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  5. ダイボンダ―（マニュアルボンダー）SMHP機工製　型式…

  6. 恒温器（防爆仕様）エスペック ESPEC　LU-114

  7. クリーンオーブン　ヤマト科学製　DE610-[M230609A01]

  8. 光学ステージ　各種取り扱い　シグマ光機　駿河精機…
  9. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  10. 冷却水循環装置（空冷チラー）オリオン機械製　RKED9…

  1. モーターポンプ　日機装　HT23C-B2

  2. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  3. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…
  5. パーツフィーダー・ダイシン・D-15KFW-03

    パーツフィーダー　ダイシン製<br>型式：D-15KFW-03

  6. オートファインコーター（スパッタ装置）日本電子(JE…

  7. 赤外線ランプ加熱装置　アドバンス理工　QHC-P610CP
  8. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  9. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  10. 真空蒸着装置　日本電子製（JEOL）<br>型式：JEE-400
2026年4月
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