硬化装置

  1. 真空蒸着・イオンスパッタ共用装置

    真空蒸着／スパッタ共用装置　サンユー電子製<br>型…

  2. AFM – 原子間力顕微鏡　SII（現；日立ハイテク…

  3. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  4. スクロールポンプ　アネスト岩田　DVSL-500CS1-[M231…

  5. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  6. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510
  7. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  8. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  9. カーボンコーター　日本電子(JEOL)　JEC-530

  10. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  1. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…
  2. 産業用多関節ロボット・三菱電機・RV-4FL-1Q

    産業用多関節ロボット　三菱電機製<br>型式：RV-4FL-…

  3. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  4. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  5. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…

  6. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  7. DC電源 – スパッタ電源　EN-Technologies E…

  8. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  9. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…
  10. クライオポンプ・アルバック・CRYO-U6H・M210320A04

    クライオポンプ　アルバック製<br>型式：CRYO-U6H （…
2026年4月
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