硬化装置

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  2. RF電源　高周波電源　アドバンスエナジー　RFX-600A

  3. 真空凍結乾燥機　日本フリーザー　BFD-6F2

  4. イナートオーブン　エスペック　IPHH-202M-[M250215A…

  5. 紫外線照射機 – UVオゾン洗浄装置　テクノビジ…

  6. X線回析装置　BURKER ブルカー　D2 PHASER – […

  7. 空冷チラー（冷却水循環装置）EYELA製（東京理化器械…

  8. レーザー測定器　レーザー変位計　キーエンス　LT-95…

  9. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  10. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  1. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  2. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　TMH261/TC600

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  4. 真空排気装置　アルバック機工　VPC-050

  5. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  6. ドライポンプ　樫山　NeoDry7E

  7. イオンスパッタ装置（成膜装置）日立製　E-1020-[M22…

  8. 蒸着装置 – カーボンコーター　JEOL – …
  9. クリーンベンチ・日本医機械・VS-1600A

    バイオクリーンベンチ　日本医科器械<br>型式：VS-16…

  10. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…
2026年5月
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