硬化装置

  1. デジタルリンクアナライザー・ANDO安藤・AE1421（M210114A05）

    デジタルリンクアナライザー　ANDO製（安藤）<br>型…

  2. スパッタ装置 – オスミウム・プラズマコーター…

  3. イオンミリング装置 – 断面ポリッシャー　JEOL…

  4. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  5. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  6. ドライポンプ　樫山工業 – KASHIYAMA　SDE1203…

  7. ドライポンプ　アルバック製　LR90 – [M240419…

  8. インプリント装置-真空UV式　エンジニアリングシステ…

  9. ターボ分子ポンプ（TMP）アルカテル製　5081 –…

  10. 多関節産業ロボット（6軸）ファナック製　型式M-10iA…
  1. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  2. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  3. 真空蒸着装置 – イオンプレーティング装置　島…

  4. エネルギー分散型X線分析装置　島津製作所　EDX-720

  5. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  6. 粒子径分布測定装置-粒度分布計　堀場製作所-HORIBA…

  7. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  8. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  9. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  10. 超純水製造装置　ミリポア製　Mill-Q Integral 5 -[M…
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