硬化装置

  1. ロータリーポンプ　ライボルト　SOGEVAC SV40-65 BIFC

  2. AOI基板外観検査装置　inspec製（インスペック）SX10…

  3. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…
  4. パーティクルカウンター_リオン_KC-01B

    パーティクルカウンター　リオン製<br>型式：KC-01B …

  5. デジタルマイクロスコープ　キーエンス　VW-6000 &#8…
  6. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  7. 超音波洗浄装置-2層式　カイジョー　HCW-202-25R
  8. ドライポンプ／メカブポンプ・樫山／アルバック・SD60V II／PMB001CM

    ドライポンプ／メカブポンプ　樫山製／アルバック製<…
  9. オートファインコーター（AUTO FINE COATER）_JOEL_JFC-1600

    スパッタ装置 – オートファインコーター　日本…

  10. RF電源　ノダRFテクノロジーズ　NR1N-15B

  1. 真空蒸着装置　アルバック　VPC-260-[M241210A02]

  2. マイクロ波電源　アドテック製　ARP Series-[M230622…

  3. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…
  4. 恒温恒湿槽

    恒温恒湿槽　エスペック製<br>型式：PR-2KT （M20121…

  5. プラズマクリーナー　ムサシノ電子製（FISCHIONE）　…

  6. プラズマ処理装置　神港精機　POEM

  7. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  8. 反射分光膜厚測定装置　大塚電子　FE-3000　

  9. 真空蒸着機　日本電子(JEOL)　JEE-420T

  10. 空冷チラー　ユニットクーラー　オリオン機械　RKS15…
2026年1月
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