硬化装置

  1. 冷却水循環装置（水冷チラー）オリオン機械　RKED220…

  2. 超低温フリーザー　パナソニック　MDF-1156AT-[M2411…

  3. クイックコーター（スパッタ装置）サンユー電子製　S…

  4. 電離真空計　イオンゲージ　アネルバ M-922HG　測定…

  5. RF Plasma Generator　MKS/ENI　ELITE-300

  6. 垂直多関節産業用ロボットアーム　デンソーウェーブ…
  7. スクロールポンプ・アルバック・DIS-251

    スクロールポンプ　アルバック製（Ulvac）DIS-251

  8. レーザー顕微鏡　キーエンス　VK-9510

  9. スカラロボット（4軸）ヤマハ製　YK600XG

  10. 6軸ロボットアーム　ファナック製（FANUC）LR Mate 2…

  1. 高温恒温槽（イナートオーブン）　ヤマト科学　DN-43…

  2. 倒立顕微鏡　ニコン – Nikon　ECLIPSE TS100
  3. 高信頼性電源（CVCC）・菊水電子工業・PAN600-2A（M201222A01）

    高信頼性電源（CVCC）菊水電子工業製<br>型式：PAN60…

  4. 恒温恒湿槽　エスペック　LHL-114　

  5. ターボ分子ポンプ　PFEIFFER　SplitFlow 290／TC110

  6. 「HAST装置」高度加速寿命試験装置　エスペック　EHS…

  7. スピンコーター　ミカサ製　1H-360S

  8. プラズマCVD装置（プラズマ窒化装置）ワイエス工業製…

  9. パルスヒートユニット – 接合装置　AVIO　PHU-…

  10. 恒温恒湿槽　アドバンテック製　THR040FA-[M240209A1…
2026年4月
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